| 电容检测型微机械陀螺的信号检测电路 |
| |
| 引用本文： | 莫冰,谭晓昀,刘晓为.电容检测型微机械陀螺的信号检测电路[J].仪器仪表学报,2005,26(8):2127-2129. |
| |
| 作者姓名： | 莫冰 谭晓昀 刘晓为 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 |
| |
| 摘 要： | 微弱输出信号的检测技术是微机械陀螺研制中的关键技术之一.提出了一种适用于电容检测型微机械陀螺的信号检测电路并分析了其对噪声的抑制能力.此电路用积分电路检测微小电容变化量,并进一步采用开关相敏解调电路对信号全波检测,能检测到aF量级的电容变化,可以实现陀螺0.05(°)/s的分辨率.
|
| 关 键 词： | 微机械陀螺 积分器 相敏解调 噪声 |
A Detecting Circuit for Signal of Micromachined Gryoscope with Capacitive Detection |
| |
| Mo Bing,Tan Xiaoyun,LIU Xiaowei.A Detecting Circuit for Signal of Micromachined Gryoscope with Capacitive Detection[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2005,26(8):2127-2129. |
| |
| Authors: | Mo Bing Tan Xiaoyun LIU Xiaowei |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
