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应用概率论提高CCD尺寸测量的分辨力

引用本文：	郭彦珍,尹国鑫.应用概率论提高CCD尺寸测量的分辨力[J].仪器仪表学报,1988(2).

作者姓名：	郭彦珍尹国鑫

作者单位：	陕西机械学院 (郭彦珍)，陕西机械学院(尹国鑫)

摘要：	CCD 尺寸测量直接采用脉冲计数法的主要缺点是分辨力差。本文提出一种基于概率论的动态多周期采样平均测量法,可以使测量分辨力提高一个数量级,从而使测量精度显著的提高。本文论述了测量原理及方法,介绍了实验结果。
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