提高CCD尺寸测量分辨力的解调测量法

CCD尺寸测量普遍采用脉冲计数法,即一个脉冲代表一个光敏元间距,为了提高测量的固有分辨力,Purll,D.C.提出了解调测量的设想。本文对此方法进行了理论分析并提出了工程实现方法,最后介绍了采用这一方法的实验结果。