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| 固态压阻传感器 | |
| 引用本文： | 柳继昌.固态压阻传感器[J].仪器仪表与分析监测,1986(1). |
| 作者姓名： | 柳继昌 |
| 摘 要： | 一、引言所谓固态压阻传感器,即传感器的核心部分—传感元件,是一种扩散硅应变元件。该应变元件是采用集成电路的扩散工艺,把硼杂质掺入硅片而形成压敏电桥制成的。测量原理是利用压阻效应, 敏感元件受压时,电阻发生变化,输出电信号。早在1932年美国布利戈曼和阿朗就对晶体压阻效应发生兴趣,同年阿朗发表了铋单 |
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