激光——CCD厚度检测系统的研究

本文简述了激光三角法的厚度测量原理并设计了测量系统。在信号处理部分采用了一种新的ＣＣＤ信号边沿提取技术并给出了整个检测系统的框图，分析了影响检测精度的主要因素并提出了解决方法。由本系统实验的最终结果表明，该检测系统有很高的测量分辨率，达到了很高的测量精度及重复性精度。