| 一种半导体自动化制造系统中的死锁避免 |
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| 引用本文： | 滕少华,伍乃骐.一种半导体自动化制造系统中的死锁避免[J].计算机集成制造系统,2003,9(1):25-32. |
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| 作者姓名： | 滕少华 伍乃骐 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机电工程系,广东,广州,510090 |
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| 摘 要： | 在半导体自动化制造TRACK系统中，由于没有缓冲空间，死锁避免更加困难，保守策略大大降低资源利用率，而路径的柔性为获得更有效的死锁避免策略提供了可能性，本文采用面向资源的着色Petri网建模，基于该模型并利用路径柔性，提出一个系统无死锁的充分条件，并给出相应的控制规律，依据该规律，系统中任务的个数不受限制，并能处理多晶片类型，最后，给出一个说明方法的实用实例。
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| 关 键 词： | 半导体自动化制造系统 死锁避免 Petri网 控制策略 |
| 文章编号： | 1006-5911(2003)01-0025-08 |
| 修稿时间： | 2002年3月4日 |
Deadlock Avoidance for an Integrated Equipment in Semiconductor Fabrication |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor fabrication Petri nets deadlock avoidance |
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