| 性能指标驱动的半导体生产线动态派工方法 |
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| 引用本文： | 贾鹏德,吴启迪,李莉.性能指标驱动的半导体生产线动态派工方法[J].计算机集成制造系统,2014,20(11). |
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| 作者姓名： | 贾鹏德 吴启迪 李莉 |
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| 作者单位： | 同济大学电子与信息工程学院,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目(61034004).Project supported by the National Natural Science Foundation |
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| 摘 要： | 为了求解不确定生产环境下的半导体生产线调度问题,提出一种基于极限学习机的性能指标驱动的动态派工方法。首先通过半导体生产线仿真系统仿真,得到所需样本,进而通过极限学习机建立半导体生产线性能指标预测模型;然后通过预测出的性能指标,结合生产线的实时状态信息,学习产生调度过程中的动态派工规则算法所需的最佳系数,驱动生产线派工决策,使其性能指标趋向预测值,最终达到提高生产线整体性能的目的。通过仿真平台验证了该方法能够有效提高生产线的性能指标。
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| 关 键 词： | 半导体制造 性能指标驱动 调度方法 工况 极限学习机 |
Objective-driven dynamic dispatching rule for semiconductor wafer fabrication facilities |
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| JIA Peng-de,WU Qi-di,LI Li.Objective-driven dynamic dispatching rule for semiconductor wafer fabrication facilities[J].Computer Integrated Manufacturing Systems,2014,20(11). |
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| Authors: | JIA Peng-de WU Qi-di LI Li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor manufacturing objective-driven dispatching rule working condition extreme learning machine |
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