高密度柔性集成电路基板的表面氧化缺陷检测 |
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引用本文: | 胡跃明,李璐,罗家祥.高密度柔性集成电路基板的表面氧化缺陷检测[J].计算机集成制造系统,2020,26(9):2379-2387. |
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作者姓名: | 胡跃明 李璐 罗家祥 |
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作者单位: | 华南理工大学自动化科学与工程学院,广东广州 510640;精密电子制造装备教育部工程研究中心/广东省高端芯片智能封测装备工程实验室,广东广州 510640;华南理工大学自动化科学与工程学院,广东广州 510640;精密电子制造装备教育部工程研究中心/广东省高端芯片智能封测装备工程实验室,广东广州 510640;华南理工大学自动化科学与工程学院,广东广州 510640;精密电子制造装备教育部工程研究中心/广东省高端芯片智能封测装备工程实验室,广东广州 510640 |
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基金项目: | 国家科技重大专项;国家自然科学基金;广州市南沙区技术攻关资助项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 柔性集成电路基板 颜色特征 表面氧化 缺陷检测 |
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