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| 基于显微视觉的宏/微双重驱动微动台的自动标定 | |
| 引用本文： | 于保军,张玮,王红东,杨志刚. 基于显微视觉的宏/微双重驱动微动台的自动标定[J]. 吉林大学学报(工学版), 2008, 38(6): 1326-1331 |
| 作者姓名： | 于保军 张玮 王红东 杨志刚 |
| 作者单位： | 1. 吉林大学,机械科学与工程学院,长春,130022;长春工业大学,机电学院,长春,130012 2. 吉林大学,机械科学与工程学院,长春,130022 3. 长春科技创业服务中心,长春,130012 |
| 摘 要： | 提出了基于压电技术的微操作系统的自动标定方法,采用混合式步进电机直接驱动的宏动平台,实现系统大行程宏动定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动的微动平台和精密光栅,实现亚微米级的分辨率和定位精度,通过以上两部分实现定位机构的全闭环反馈控制,采用显微视觉反馈获取微动台操作器在图像中的位置信息进行标定。实验结果表明:系统的动态和稳定性能良好,自动标定运算速度快,运行速度达到11 frame/s,实现了对系统的精确标定,标定精度达到0.1μm。 |
| 关 键 词： | 仪器仪表技术 宏微双重驱动 压电技术 精密定位 显微视觉 自动标定 |
| 收稿时间： | 2007-07-19 |
Automatic calibration of macro-micro dual-drive micromotion stage based on micro-vision |
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| YU Bao-jun,ZHANG Wei,WANG Hong-dong,YANG Zhi-gang. Automatic calibration of macro-micro dual-drive micromotion stage based on micro-vision[J]. Journal of Jilin University:Eng and Technol Ed, 2008, 38(6): 1326-1331 | |
| Authors: | YU Bao-jun ZHANG Wei WANG Hong-dong YANG Zhi-gang |
| Affiliation: | 1.College of Mechanical Science and Engineering,Jilin University, Changchun 130022,China; 2.School of Mechatronic Engineering, Changchun University of Technology,Changchun 130012,China; 3.The Science and Technology Carve Out Service Center of Changchun, Changchun 130012,China |
| Abstract: | An automatic calibration technique based on the piezoelectric technology(PZT) micro-operation system was presented.Long travel macro-motion positioning is realized by a hybrid step motor.Submicron resolution and positioning precision are realized by a micro-stage driven by PZT which is mounted on a macro-stage as well as a high resolution optical linear encoder.A closed-loop control was achieved by both of the above-mentioned positioning systems.Micro-vision feedback was integrated into the closed-loop syst... |
| Keywords: | techonology of instrument and meter macro-micro dual-drive piezoelectric technology(PZT) precision positioning micro-vision auto calibration |
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