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| TiN/TiCN多层调制结构薄膜的结构和力学性能研究 | |
| 作者单位： | ;1.辽宁工程技术大学材料科学与工程学院;2.天津师范大学物理与材料科学学院 |
| 摘 要： | 以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成,不存在a-C结构。随着调制周期的减小,物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长,出现了(111)晶面生长织构,其纳米硬度和弹性模量逐渐增大,在调制周期λ=0.15μm时达到最大值,分别为35.56GPa和436.2GPa。 |
| 关 键 词： | TiN/TiCN多层膜薄膜 复合离子镀 调制周期 结构 力学性能 |
Study on Microstructure and Mechanical Properties of TiN/TiCN Multilayer Modulation Structure Films |
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| Keywords: | |
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