| 基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究 |
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| 引用本文： | 佘东生 杨一柳 魏泽飞 王晓东 王立鼎. 基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究[J]. 仪器仪表学报, 2015, 36(8): 1892-1900 |
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| 作者姓名： | 佘东生 杨一柳 魏泽飞 王晓东 王立鼎 |
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| 作者单位： | 1.渤海大学工学院锦州121013；2. 渤海大学计算机基础教研部锦州121013；3.大连理工大学机械工程学院大连116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51305191)项目资助 |
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| 摘 要： | 为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数,本文提出了一种以高压电容空气放电为手段,以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式,并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等参数与激振装置激励能力的关系。设计并研制了可应用在室温环境中的MEMS微结构动态测试装置,并在此基础上研制了高温环境微结构动态测试系统,系统中使用基于激波的底座冲击激励装置对微结构进行激励,采用激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应信号。分别测试了两种尺寸的单晶硅微悬臂梁在室温~500℃温度环境下的动态特性,结果表明微悬梁的谐振频率随温度的升高而减小,并呈近似线性关系,与其他研究人员的研究结果有很好的一致性,验证了基于激波的底座冲击激励方法的可行性。
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| 关 键 词： | MEMS动态特性测试；激波；底座激励；微悬臂梁；高温环境 |
Study on the impact base excitation method based on shockwave for MEMS microstructures |
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| She Dongsheng,Yang Yiliu,Wei Zefei,Wang Xiaodong,Wang Liding. Study on the impact base excitation method based on shockwave for MEMS microstructures[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 36(8): 1892-1900 |
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| Authors: | She Dongsheng Yang Yiliu Wei Zefei Wang Xiaodong Wang Liding |
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| Affiliation: | 1. College of Engineering, Bohai University, Jinzhou 121013, China; 2. Research and Teaching Institute of College Computer Science, Bohai University, Jinzhou 121013, China; 3. School of Mechanical Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China |
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