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非制冷红外焦平面探测器及其技术发展动态
引用本文:冯涛, 金伟其, 司俊杰. 非制冷红外焦平面探测器及其技术发展动态[J]. 红外技术, 2015, (3): 177-184.
作者姓名:冯涛  金伟其  司俊杰
作者单位:1. 北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室,北京 100081; 北方广微科技有限公司,北京 100089
2. 北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室,北京,100081
3. 中国空空导弹研究院光电器件研究所,河南 洛阳,471009
基金项目:国家自然科学基金重点项目,编号61231014;教育部博士点基金优先发展项目,编号20131101130002。
摘    要:非制冷红外焦平面探测器是热成像系统的核心部件。介绍了非制冷红外焦平面探测器的工作原理及微测辐射热计、读出电路、真空封装三大技术模块,分析了影响其性能的关键参数。与微测辐射热计设计相关的重要参数包括低的热导、高的红外吸收率、合适的热敏材料等;读出电路的传统功能是实现信号的转换读出,近年来也逐渐加入了信号补偿的功能;真空封装技术包括了金属管壳封装、陶瓷管壳封装、晶圆级封装和像元级封装。列举了国内外主要厂商的非制冷红外焦平面探测器的技术指标及近年来的最新技术进展,总结了非制冷红外焦平面探测器的技术发展趋势。

关 键 词:非制冷红外  焦平面探测器  微测辐射热计  读出电路  真空封装

Uncooled Infrared FPA--A Review and Forecast
FENG Tao, JIN Wei-qi, SI Jun-jie. Uncooled Infrared FPA--A Review and Forecast[J]. Infrared Technology , 2015, (3): 177-184.
Authors:FENG Tao  JIN Wei-qi  SI Jun-jie
Affiliation:FENG Tao;JIN Wei-qi;SI Jun-jie;MOE Key Laboratory of Optoelectronic Imaging Technology and System,Beijing Institute of Technology;North Guangwei Technology Inc.;China Airborne Missile Academy;
Abstract:
Keywords:uncooled infrared  FPA detector  micro-bolometer  ROIC  vacuum package
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