质子交换铌酸锂波导MMI光功分器

利用三维非旁轴近似光束传输法对退火质子交换铌酸锂渐变折射率分布波导中的自镜像效应进行分析与模拟.在此基础上,利用退火质子交换技术在X切Y传铌酸锂衬底上进一步制作了1×8 MMI光功分器.测试表明器件实现了1路分成8路的光功分功能.     

质子交换铌酸锂波导的退火工艺

介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。     

质子交换铌酸锂波导的退火工艺

介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺，比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性．     

铌酸锂退火质子交换光波导的有限元法分析

本文用有限元(Ｆｉｎｉｔｅ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｍｅｔｈｏｄｓ－ＦＥＭ)的数值计算方法分析了铌酸锂晶体中的退火质子交换(Ａｎｎｅａｌｅｄ Ｐｒｏｔｏｎ Ｅｘｃｈａｎｇｅｄ－ＡＰＥ)光波导,并给出了对应于不同退火时间的铌酸锂光波导的有限元精确数值分析结果．     

z-切割铌酸锂质子交换平板波导的退火过程研究

研究了退火质子交换LiNbO3平板波导的制作和表征 ,应用“选择零元法”研究了退火后折射率分布 ,建立了波导参数和制作条件的联系 ,获得了导波层的色散关系 ,所得到的表征结果对退火质子交换波导在光子器件中的应用提供了有用信息     

焦磷酸质子交换LiNbO3光波导制备技术研究

采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和波导特性的实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件。测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,采用循环迭代法拟合折射率分布。结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述。     

低损耗退火质子交换光波导弯曲损耗分析

波导弯曲部分是出现波导辐射损耗最大的地方，所以在设计弯曲波导时，有必要对波导的这部分进行优化设计处理。该文利用电磁场理论，完成对余弦形分支光波导弯曲部分损耗的数学建模．最后针对铌酸锂基片上，用退火质子交换法生成的分支光波导进行数值仿真。     

铌酸锂波导质子交换温度控制及折射率分布研究

针对铌酸锂波导质子交换的精确控制提出了一种预热-反应方法,建立了质子交换温控模型,并对该模型进行了PID控制参数整定和温度波动误差分析,在此基础上研究了质子交换过程中温度波动对H⁺浓度纵向分布的影响。采用预热-反应方法制作了波导样本,实验测试了其折射率纵向分布,并与传统工艺制作的波导样本测试结果进行对比,验证了所提方法对质子交换精确控制的有效性。实验表明:预热-反应方法折射率分布同理论计算折射率分布结果吻合更好。     

可调谐高分子MMI光波导功率分配器的研究

设计了一种基于多模干涉(MMI)波导结构的可调谐功率分配器,利用高分子含氟聚酰亚氨材料的热光效应,调节多模波导中局部区域的折射率,可实现两单模输出导模的输出功率比在较大范围内连续可调谐.BPM防真证实了这一结果.     

Compact and Economical MMI Optical Power Splitter for Optical Communication

A 1 X 8 GaAs/GaAlAs optical power splitter based on a MultiMode Interference (MMI) coupler is presented. The input and output single mode waveguides are optimized by the Discrete Spectral Index Method (DSIM) and a moderate square spot on the output in deepetched rib waveguides is obtained. The fabrication tolerance has been analyzed by the Finite Difference Beam Propagation Method (FDBPM). The device was fabricated by the dry etching technique and the near-field output obtained. The device shows polarization-insensitive, large fabrication tolerance, low theoretical excess loss and low power imbalance.     

Compact and Economical MMI Optical Power Splitter for Optical Communication

The challenge in optical access networking is bringing the optical fibers to the end-users as close as possible.One way to realize iteconomically is to employ the Passive Dou-ble Star(PDS) topology[1 ] .Therefore,itis necessary to use...     

采用多模输入/输出波导的多模干涉型SOI分束器

一个适用于光纤通信系统中的1×8多模干涉功率分束器被设计并通过ICP刻蚀方法成功研制.这种基于SOI材料的功率分束器是采用多模波导作为输入/输出波导;经过光束传播方法模拟,该器件显示出了优良的性能.测试结果表明,在1550nm波长处器件的传波损耗低于0.80dB,损耗均匀性为0.45dB,而且偏振相关损耗低于0.70dB.器件的尺寸只有2mm×10mm.     

An Efficient MMI SOI Splitter with Multimode Input/Output Waveguides

A 1×8 multimode interference power splitter with multimode input/output waveguides in SOI material is designed by the beam propagation method and fabricated by the inductive coupled plasma etching technology for use in fiber optics communication systems.The fabricated device exhibits low loss and good coupling uniformity.The excess loss is lower than 0.8dB,and the uniformity is 0.45dB at the wavelength of 1550nm.Moreover，the polarization dependent loss is lower than 0.7dB at 1550nm.The device size is only 2mm×10mm.     

退火质子交换LiNbO3光波导低损耗耦合分析

利用光束传播法分析了退火质子交换铌酸锂光波导模场参数随波导宽度、深度和表面折射率改变的变化情况,指出波导模场受这些参数的综合影响,并讨论了波导结构参数对光纤．波导耦合效率的影响。结果表明,要实现最佳耦合,不同模场直径的光纤对波导结构参数的要求是不同的,这可供相应波导器件的设计和制备参考。     

H:LiNbO3光波导

铌酸锂晶体具有良好的光声和电光性质，因而基于铌酸锂的集成光学器件已引起人们的广泛关注。质子交换法是一种制备铌酸锂光波导的重要方法。质子交换铌酸锂光波导具有制作工艺简单，折射率增量大，抗光折变能力强及可实现单偏振激励等特点。本文对质子交换铌酸锂光波导的制作工艺、波导特性及其应用进行了讨论，并指出目前应加强质子交换光波导、质子交换生长动力学和交换工艺的研究。     

新的质子源质子交换制作的Z切LiNbO3光波导特性

研究了用己二酸和苯甲酸的不同混合摩尔比作为质子源交换制作的Z切LiNbO3光波导的表面折射率改变、波导深度、折射率分布等光学特性。结果表明，在交换温度为230℃，交换时间为6h时，混合摩尔比较高时，波导为β4相；较低时，为β3相。在β4相时，混合摩尔比越大，波导的表面折射率改变和波导的深度越大；在β3相时，不同的混合摩尔比交换的波导光学特性差别不明显。用双晶X射线衍射法对单苯甲酸和混合摩尔比为60％制作的光波导进行X射线衍射。以上结果对波导器件的制作及理解波导折射率改变的物理机制提供了一些有用的信息。     

GaAs 1×4光功分器的制作

本文在ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ外延材料上设计和制作了ＭＭＩ型１×４光功分器。文中首先给出器件的基本工作原理和特点,随后主要讨论器件制作中的ＧａＡｓ材料的干法刻蚀工艺,最后给出器件测试结果。