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气敏薄膜传感器SnO2:Sb的制备及性能研究 总被引:8,自引:0,他引:8
利用等离子体化学气相沉积制备了SnO2∶Sb导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对NO2气体的气敏性,并进行了理论分析。 相似文献
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主要介绍了半导体气敏传感器和电化学固体电解质气敏传感器的工作原理和应用技术,重点阐述了气敏传感器的性能改善方式和输出电压获取方式。通过几种应用实例表明:这两种类型的气敏传感器具有测量精度高、所需试样少、响应快等特点,有广泛的应用领域。 相似文献
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半导体气敏元件 总被引:1,自引:0,他引:1
吴义炳 《机械工程与自动化》2005,(1):105-107
首先介绍半导体气敏元件的工作原理,然后从制备工艺、基材现状、测量方法三方面进行了综述。 相似文献
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本文在二氧化锡薄膜中掺入适量D_Y,测量了它的丙酮气敏反射光谱,发现相对于纯二氧化锡薄膜,其气敏光谱范围大大扩宽。并测试由S_nO_2:D_Y膜造成的光纤传感装置性能,解释了它的机理。 相似文献
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采用直流磁控溅射法制备SnO2掺杂的TiO2薄膜,700℃退火后得到对丙酮具有良好选择性和灵敏度的气敏元件.将具有ARM7内核的LPC2131作为微控制器,设计测量丙酮气体浓度的测试电路.当外界气体浓度发生变化时,采样电路测量出气敏元件的电阻值,然后经过微控制器LPC2131处理、分析后,通过nRF905无线收发模块来实现系统的数据传输.该系统具有无线数据传输功能,且灵敏度高,抗干扰强,功耗低,电路设计简单,可广泛应用于时丙酮气体浓度进行实时、远程监控的场所. 相似文献
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R. B. Ugryumov A. V. Shaposhnik V. S. Voishchev 《Instruments and Experimental Techniques》2004,47(3):352-357
A technique and laboratory setup for measuring the low-frequency current noise of semiconductor gas-sensitive structures in a spectral range of 0.001–100 Hz are described. The setup allows noise measurements at sample temperatures of 20–450°C at various compositions of the gas phase and different bias voltages of the transport current. A method for selecting the bias-voltage value and a technique for preparing samples for noise measurements that appreciably increases (by 20–50%) the reproducibility of measurement results are described. An example of studying the noise of gas sensors based on SnO2–Pt–Pd in a neutral medium (argon), atmospheric air, and a mixture of air and acetone vapors is presented. 相似文献
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一氧化氮(NO)是一种含有可以调控不断生长的生物学过程的非共享电子对的气体自由基,它由一氧化氮合成酶家族的L-精氨酸所形成。NO在人体内分布广泛,是帮助机体抵抗心血管疾病与其他疾病的信号分子。缺乏NO可能导致糖尿病、心血管疾病与其他疾病,而补充NO可预防和逆转此类疾病。NO是非常小的分子,十分活泼,半衰期短,它可以进入细胞,并向周围的细胞发出交流信号。但是,要准确检测其在生物体中的含量很困难。目前直接用于一氧化氮检测的方法不多,电化学方法尤其是电化学传感器是应用广泛的一类方法,由于其操作简单,灵敏度高,选择性好,已成为现代生物医学中研究一氧化氮的重要工具。本文主要综述近年来NO电化学传感器的研制及其在生物医学中的应用。 相似文献
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In2O3纳米材料的制备及其气敏特性的研究 总被引:10,自引:0,他引:10
文中采用溶胶-凝胶法合成了In2O3纳米粉体,确定其晶体结构并掺入Co3O4、Au等掺杂剂制成烧结式器件,该器件对CO气体具有较高的灵敏度,良好的响应恢复特性和选择性。 相似文献
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文中采用溶胶 -凝胶法合成了In2 O3纳米粉体 ,确定其晶体结构并掺入Co3O4 、Au等掺杂剂制成烧结式器件 ,该器件对CO气体具有较高的灵敏度 ,良好的响应恢复特性和选择性 相似文献
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电阻式半导体气体传感器 总被引:3,自引:0,他引:3
综合介绍了电阻式半导体气体传感器的特性,重点对电阻式半导体气体传感器的工作原理、制作方法和加速传感器响应的措施进行了较为详细的阐述。综合该领域国内外研究现状,展望了电阻式半导体气体传感器的发展方向。 相似文献
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通过失效形式,分析了半导体P-N结温度传感器的失效机理,介绍了为降低内应力而进行的设计和工艺改进。 相似文献
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流速对半导体气体传感器响应的影响分析 总被引:2,自引:0,他引:2
半导体气体传感器被广泛应用在电子鼻系统中用于检测可燃性气体。然而,半导体气体传感器对环境变化非常敏感,从而影响电子鼻识别目标气体浓度的精度。文章通过实验研究了气体流速对传感器响应曲线及特征参数的影响,研究结果表明,流过传感器的流速对传感器的动态响应和稳态响应都有影响。流速越大,传感器的响应时间和恢复时间越短,灵敏度越高,基线电压越小,不同传感器的稳态响应电压受流速的影响趋势不同。流量小于200 sccm时,传感器受流速变化的影响较大,当流量大于500 sccm以后,传感器受流速变化的影响已越来越小。 相似文献