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描述了采用离子注入、低温慢降温热处理和背面磷吸杂等方法在高阻(111)N型硅片上研制高性能PIN光电二极管的工艺技术,测量并分析了光电二极管的I-V、C-V和光灵敏度等性能.有源区面积为16mm×17mm的二极管样品在全耗尽偏置电压下(Vd=70V),环境温度为25℃时的暗电流和端电容典型值分别达到≤5nA和≤120pF.探测器在波长区域(380~500nm)的光谱响应典型值:400nm为0.26A/W,500nm为0.33A/W.量子效率在400~900nm光谱范围内达到70%~80%.对于紫外光至蓝光区域,该器件是一种理想的光探测元件. 相似文献
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紫外和蓝光区域硅PIN光电二极管 总被引:2,自引:1,他引:2
描述了采用离子注入、低温慢降温热处理和背面磷吸杂等方法在高阻(111)N型硅片上研制高性能PIN光电二极管的工艺技术,测量并分析了光电二极管的I-V、C-V和光灵敏度等性能.有源区面积为16mm×17mm的二极管样品在全耗尽偏置电压下(Vd=70V),环境温度为25℃时的暗电流和端电容典型值分别达到≤5nA和≤120pF.探测器在波长区域(380~500nm)的光谱响应典型值:400nm为0.26A/W,500nm为0.33A/W.量子效率在400~900nm光谱范围内达到70%~80%.对于紫外光至蓝光区域,该器件是一种理想的光探测元件. 相似文献
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PIN光电二极管电路模型的研究 总被引:4,自引:1,他引:4
本文给出一个完整的PIN光电二极管(PD)电路模型。该模型适于在开发OEIC电路模拟软件中采用.它可用于直流、交流、瞬态分析.该模型的有效性通过与已报道的实验结果进行比较得到证实。 相似文献
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PIN结构自扫描光电二极管列阵 总被引:2,自引:0,他引:2
从自扫描光电二极管列阵(SSPA)的工作原理出发,提出采用外延、离子注入、推阱的技术,研究一种新颖的高响应度的PIN结构的SSPA器件,详细的分析了工艺设计方案和实验方法,最后提供了样品的测试参数。 相似文献
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用于电路模拟的PIN雪崩光电二极管模型 总被引:2,自引:0,他引:2
针对PIN结构的特殊性,作了适当的合理近似,考虑了p,n区少子扩散,i区载流子漂移,给出一个完整的PIN雪崩光电二极管电路模型。该模型适于在开发OEIC电路模拟软件中采用,亦可加到现有电路模拟软件中。它可用于直流、交流、瞬态分析。该模型完全适用于PIN结构光电二极管。 相似文献
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PIN结光电二极管的工艺原理和制造 总被引:3,自引:0,他引:3
PIN结构的二极管是一种特殊的电荷存储二极管,由于功耗小速度快等优点而被广泛应用.PIN结构的光电二极管是一种常用的光电探测器.本文阐述了PIN结构的光电二极管的器件特性和工艺制程,指出工艺过程中存在的问题. 相似文献
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本文给出一个新的PIN光电二极管的等效电路模型,该模型基于速率方程和微波端口特性并在TMS(TsinghuaMicrowaveSpice)中完成,可以进行线性、非线性信号分析和噪声分析。利用该模型对其非线性谐波特性进行了预测,模拟结果表明和文献数值求解结果基本一致,最后讨论了适用于金属-半导体-金属(MSM)光电二极管的修正模型. 相似文献
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PN二极管是一种常用的光电探测器,其中PIN光电二极管因其体积小、噪声低、响应速度快、光谱响应性能好等特点已作为一个标准件广泛应用于红外遥控接收领域。文章基于半导体材料的光吸收特性和光电效率转换原理,同时结合减反射膜理论,对PIN光电二极管进行研究,通过衬底材料的合理选择,对减反射膜折射率及厚度进行对比实验,验证了SiN膜层较SiO2膜有着更为良好的减反射效果,可以有效提升光敏器件的光电转换效率,同条件下器件的光生电流得到提升,为今后光电器件的生产、开发应用提供了参考。 相似文献
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硅光电二极管快中子和氧离子的辐照效应 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了硅光电二极管经快中子(注入剂量为10^11cm^-2,能量2.45MeV)和O^+++(注入剂量为10^10cm^-2,能量12MeV)辐照后光电参数的变化规律,并通过光谱光电流的变化,对辐照损伤的空间分布进行了分析。结果表明,两种辐照垃引起器件的光电流下降,暗电流增加,在本实验条件下,快中子造成的损伤轻微且均匀地分布在整个器件体内,而O^+++,辐照损伤区集中在器件表面附近,其损伤国快中子 相似文献
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实验研究了不同脉冲能量的飞秒激光诱发硅PIN光电二极管瞬态响应信号的特性。发现了探测器响应瞬态响应信号相继出现了三个明显的相位,深入讨论了飞秒激光诱发的高注入载流子在瞬态响应信号演化过程中所起的作用。结果表明,高注入载流子产生的空间电荷屏蔽效应是导致瞬态响应信号呈现三个相位的主要因素,它导致瞬态响应信号的持续时间主要取决于载流子双极扩散的速度。增加飞秒激光的脉冲能量会进一步延长探测器瞬态响应信号的持续时间。因此,飞秒激光会削弱探测器的工作性能,尤其是在高速信号探测中的工作性能。 相似文献