非稳腔运转的准分子激光器

设计了一正支望远镜非稳腔准分子激光器，与稳定腔相比，非稳腔激光的发散角垂直方向缩小了五倍，水平方向缩小了十倍。     

用混合型非稳腔改善准分子激光的输出特性

通过远场光束质量测量,比较了稳定腔、平行平面腔和混合型非稳腔的输出特性。实验结果表明对于高增益的准分子激光,采用部份透射镜作耦合输出的混合型非稳腔可以使准分子激光的发散角减小到毫弧度量级。     

准分子激光器

准分子激光器对于紫外区来讲目前仍仅限于稀有气体(氦、氪、氩)和稀有气体，卤化物。其中较实用的有稀有气体氟化物（氟化氩、氟化氪、氟化氦)，其不但在实验中应用，并发展为商品，本文考虑到实用性，只对放电激励的氟化氪激光器进行论述。     

准分子激光器

本文介绍准分子激光器发展简史和国外动向。对稀有气体、稀有气体氧化物、金属蒸汽稀有气体、稀有气体单卤化物准分子激光器的一般原理、能级结构、辐射谱和动力学过程等作了分析。最后讨论了可能的应用和发展趋势。     

准分子激光器

一、引言自1960年世界上第一台激光器问世以来,激光器的波长已经从远红外延伸到真空紫外。在紫外波段,准分子激光器是最有前途的激光器。 1975年首先由Velazco和Setser提出稀有气体卤化物准分子激光器的方案。同年,用电子束泵浦的XeF、XeCl、XeBr、ArF激光器的研制文章公开发表。在随后的几年里,准分子激光器有了较快的发展。仅在开始的两年内,实验室就达到单脉冲能量大于100 J,平均     

准分子激光器

所谓准分子就是受激态的原子(分子)和基态原子(分子)结合而形成的分子。由不同的两个原子(分子)形成准分子时,还往往分成复合受激态和异质准分子。一般准分子的基态是分解状态,基态与准分子态之间,会发生宽线宽跃迁(束缚-自由跃迁)。有时也有基态呈现弱结合的例子(XeF等),但最近,只要与激光有关,即使激发复合物的基态是结合状态,也不加区别地统称为准分子。将准分子的束缚-自由跃迁用于激光器的建议,几乎是和激光振荡的实现同时提出来的，但巴索夫等人首次得到准分子激光器振荡，却比较晚，是一九七○年。首次准分子激光振荡是用强电子束照射液Xe得到的，此后采用了高压气体。研制激光核聚变用的新型激光器的要求及CO2激光器等的高压气体激励技术的发展，促使准分子激光器取得迅速的进展。目前，准分子激光器已发展到一定的深度和广度。     

非稳激光腔的动态性能

本文分析了含有类透镜介质非稳腔的输出特性,讨论了激活介质热焦距、腔长、腔镜曲率的扰动对输出性能的影响,给出常用非稳激光腔的分析结果及其有用的计算公式.     

非稳腔在小型TEA CO2激光器中的应用

在研制的火花阵列式紫外光预电离小型TEA CO2激光器中,应用平凸非稳腔,在放电体积为180×60×11.5mm3,主放电电容为0.028μF,充电电压为20kV的条件下,获得了210mJ的基模激光输出.     

高效率准分子激光器

电子综合研究所激光研究室研制成功振荡效率高达2.9%的自动预电离型放电激励KeCl准分子激光器。准分子激光器应用最为重要的是要求激光装置具有高度的可靠性。最近发展的准分子激光技术，大幅度改善了以往装置的性能，可望显著提高它的可靠性。     

KrCl准分子激光器

本文报导了横向放电泵浦高气压KrCl准分子激光器的实验结果。使用HCl:Kr:He=2.5:160:1500混合气体,总气压2～2.5atm,在14cm~3激活区中获得输出6mJ、体能密度0.4J/l、电效率0.12％。使用NF3:Ar:He=2.7:270:1500混合气体时,观测到ArF激光输出。     

市售准分子激光器

一、前言十年以来,准分子激光器经历了可谓飞速而成功的发展,成了在研究中被广泛采用的激光系统。这种系统近来也因其一些极其有趣的应用而挤进了市售激光器市场。原因有二:第一,准分子激光器是优质激光系统,制作和操作成本低,可靠性高,输出的平均功率和峰功率都很高(目前各约10~2和10~7W);第二,准分子激光器的光子能量高(如为6、4、5…eV),波长短,这使它在各种应用中是市售激光器中的佼佼者。准分子激光器在极端非热条件下可导致电离、电子激励及化学键破坏。     

氩准分子激光器

半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等，对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要求正在增高。最近，电子束激发氩准分子激光器已在这个波长区获得相当高的功率振荡。     

微加工准分子激光器

微加工准分子激光器准分子激光器用作材料微加工和表面修整中的光刻紫外辐射源。目前，世界上有十多家公司和企业致力于准分子激光器的设计生产。业已广告亮相的激光器类型达７０多种。１９９２年的销售量，达到约３５００万美元［‘］。业已生产几种激光器的辐射波长：１...     

苏联的准分子激光器

苏联人描述了在紫外区输出的三种气体放电激光器:XeF、ΧeCl和KeF。并说，他们首先观察到的是308.16和307.92毫微米 的XeCl的受激发射。而从XeF、ΧeCl和KrF获得的能量分别为2.1和0.5毫焦耳。 脉冲持续时间相应为15.10和17毫微秒。     

大功率脉冲准分子激光器

圣地亚哥的Helionetics公司已演示了迄今为止所报道的功率最大的脉冲准分子激光器，该激光器每秒能产生100个脉冲，每个脉冲发出的能量超过1焦耳。电子激发的氯化氙激光器产生3080埃的紫外辐射,它经频率转换后可以变成蓝绿光，用于潜艇的水下通讯。该公司计划生产一台商品型激光器供半导体加工使用。