辐射温度计检定方法的浅谈

本文对检定辐射温度计所使用的标准器和检定装置的技术条件做了归纳和比较。详细介绍了检定前的准备工作、检定项目和检定步骤,总结了检定固有误差的方法和数据处理。     

检定工作用辐射温度计应该注意的问题

结合辐射温度计的检定规程,着重介绍检定过程应注意的问题,并提出了解决的方法。     

基于弹性夹具的辐射温度计检定装置研究

针对目前工作用辐射温度计检定工作存在的问题,提出一种基于弹性夹具的高重复性精度的辐射温度计检定装置。通过介绍装置结构和使用方法,阐明利用弹性夹具固定被检温度计具有更高的灵活性和通用性,以及“一副夹具安装一台被检,共用一个检定台”方式具有更高的机械化程度和工作效率。通过检测和试验结果表明,该装置重复性精度高。     

一种窄带辐射温度计智能标定及检定系统

文章描述了由串行电可改写擦除存储器（ＥＰＲＯＭ）、ＲＳ－２３２通讯口和个人计算机（ＰＣ）组成的窄带辐射温度计标定检定系统。系统除了能够在标定过程中自动完成仪器的标定,给出听输出误差分布、提高仪器的速度以外,在检定时还可以通过修改检定参数很容易地修正仪器的各种源移量,使被检测仪器无需作入动或调整即可重新使用。     

测量距离影响辐射温度计检定结果的实验研究

针对测量距离对辐射温度计检定结果的影响进行了实验研究,给出了几种所选择的常用的辐射温度计的实验数据和分析图表。确定了辐射温度计的最佳测量距离是在离开黑体辐射源靶面0.3~0.5 m范围内。     

干湿温度计检定方法研究

在18世纪,欧洲科学家已经发明了能够适用各种特殊环境的空气温度、湿度测量仪器,这种仪器就是这里我们要说的干湿温度计,它是通过两个相同的温度计组成的,其中一个温度计作为空气气温测量仪器,也就是干球温度计,而另外一个则用湿润的纱布裹住,然后将其置放在蒸馏水中,也就是湿球温度计。本文就干湿温度计的具体应用原理、方法做了简单分析,并指出了工作中需要注意的事项。     

温度计的检定方式和方法

温度计在使用中受氧化,时效,内应力等因素的影响,其示值将发生变化。因此,温度计必须定期进行检定。     

发射率对辐射温度计检定结果的影响分析

在环境温度一定情况下,主要通过计算黑体辐射源发射率、辐射温度计发射率设定分别对特定响应波长辐射温度计测量结果修正值的大小,分析和讨论了在计量检定工作中发射率对辐射温度计测量结果的影响大小,并阐述了在结果计算中对它们进行修正的必要性和重要性。     

辐射源尺寸效应实验方案设计

在进行辐射温度计的校准时,辐射源尺寸效应会给校准结果带来影响,需设计一套实验方案,完成辐射源尺寸效应实验,以便在辐射温度计的校准中减小源尺寸效应的影响.本文重点讨论了适合本实验室的实验方案设计、实验过程及结果分析.同时对辐射温度计的校准给出了指导意见.     

高温表面温度计校验仪研制及性能验证

介绍了一种高温表面温度计校验仪,适应于50~700℃较高温度范围内的表面温度计校准。对校验仪的温度均匀度和稳定性进行了测试。该校验仪表面热板具有ф50mm的均匀温度场,在最高使用温度时表面温度均匀度小于2℃,温场稳定性小于1℃/10min。对高温状态下表面温度校验仪的不确定度进行了评估,校准数据表明该校验仪可用于高温表面温度计的校准。     

基于LabVIEW实现固定发射率辐射温度计校准的温度修正

在辐射温度计检定中,根据规程要求,需要将辐射温度计的发射率设置为1,而在实际校准辐射温度计的过程中发现大量发射率固定且不为1的情况,同样有用户要求校准后给出不同发射率下的辐射温度计修正值,为实现宽波段任意固定发射率辐射温度计在校准过程中的修正值计算,文章使用LabVIEW的两分法迭代实现Plank公式的积分算法,有效提高校准过程的自动化程度,文章用实例说明了两分法与普通步进算法的效率区别,从而高效的实现了任意波段、任意发射率、任意温度点的温度修正值计算。     

固定发射率工作用辐射温度计校准方法研究

讨论分析了用于校准固定发射率工作用辐射温度计的原理。在校准中,应用辐射面源是必要的,其发射率应与温度计的固定发射率一致,以保证温度量值传递的准确性,并分析了由于两个发射率的不一致而带来的温度误差,给出了在不同温度下由发射率偏离而引起的温度误差计算式。在发射率为0.95、温度为700 K的情况下,最大误差可以达到15 K。如果实际测量对象的发射率与温度计的固定发射率相同,则可以直接测量出被测对象的真实温度。     

环境温度对红外辐射式体温计读数的影响

本简要介绍了所研制的红外辐射式体温计的构成及标定实验方法；研究了环境温度对体温计的影响；并在实验基础上提出了采用分段标定及对环境温度补结果进行修正的方法，提出了测量精度。     

基于G-M制冷机的低温温度计标定系统

基于G-M制冷机设计搭建了一套低温温度计自动标定系统,该标定系统通过温控仪和PLC编程完成自动化控温、数据的记录处理以及数据输出等一体化的标定流程。将经过国外标定的硅二极管半导体温度计作为标准温度计,利用比较分度的方法对PN结温度计进行了标定。在获得温度特性曲线的同时进行了误差分析,发现该系统不仅可以在4.2~100 K低温温区达到较高的标定精度,同时系统的自动化使标定时长缩短,标定效率提高。     

A Summary of Lightpipe Radiation Thermometry Research at NIST

During the last 10 years, research in light-pipe radiation thermometry has significantly reduced the uncertainties for temperature measurements in semiconductor processing. The National Institute of Standards and Technology (NIST) has improved the calibration of lightpipe radiation thermometers (LPRTs), the characterization procedures for LPRTs, the in situ calibration of LPRTs using thin-film thermocouple (TFTC) test wafers, and the application of model-based corrections to improve LPRT spectral radiance temperatures. Collaboration with industry on implementing techniques and ideas established at NIST has led to improvements in temperature measurements in semiconductor processing. LPRTs have been successfully calibrated at NIST for rapid thermal processing (RTP) applications using a sodium heat-pipe blackbody between 700 °C and 900 °C with an uncertainty of about 0.3 °C (k = 1) traceable to the International Temperature Scale of 1990. Employing appropriate effective emissivity models, LPRTs have been used to determine the wafer temperature in the NIST RTP Test Bed with an uncertainty of 3.5 °C. Using a TFTC wafer for calibration, the LPRT can measure the wafer temperature in the NIST RTP Test Bed with an uncertainty of 2.3 °C. Collaborations with industry in characterizing and calibrating LPRTs will be summarized, and future directions for LPRT research will be discussed.     

低温温度计标定系统的研究

研制了一套适用的低温温度计标定系统,并用比较分度方法对铑铁温度计进行标定,其标定精度满足了中性束注入系统的技术诊断要求.     

基于激光跟踪仪折射补偿的三维模体定位精度原位检测方法

提出了基于激光跟踪仪折射补偿的三维模体定位精度原位检测方法,建立了ADM和IFM测距误差补偿与靶球空间位置坐标求解模型,进行了理论模型验证实验与三维模体定位精度检测对比实验,实现了激光跟踪仪在玻璃介质下的高精度测量。实验结果表明:X、Y、Z坐标补偿前后的平均偏差分别由3.410mm、0.407mm、1.732mm减小到0.022mm、0.015mm、0.035mm,相邻点距离的平均偏差由0.266mm减小到0.017mm,与空气中激光跟踪仪的测量精度相当。在此基础上,以无玻璃遮挡的悬挂式检测方法为基准,两种方法测得的定位误差基本吻合。最后,利用蒙特卡洛法分析得到相邻点距离测量误差的标准差为0.012mm,满足检测要求。