微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2011国际会议综述

2011年2月20日至23日,第6届IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会（IEEE-NEMS 2011）在台湾高雄市召开,来自世界各地的300多位专家、学者齐聚一堂,分享其在微纳米科技领域的最新研究成果。本文选取微流体技术与芯片实验室、生物医学MEMS器件、纳米新材料奇妙特性及其应用、新型传感器执行器及其系统等4个角度,详细介绍了微纳米科技领域的研究现状,并对其发展趋势进行了分析。     

微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2021国际会议综述

2021年4月25~29日,由厦门大学、北京大学、电子科技大学联合举办的第十六届IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会(IEEE-NEMS 2021)于福建厦门顺利召开,共有来自全球各地的500多名微纳米科技领域专家学者与会分享最新研究成果。本文从纳米生物技术与纳米医学、微纳米传感器/驱动器和系统、纳米材料、微纳米与分子制造等4个角度介绍本次大会所展现的最新成果,并总结展望未来微纳米技术的发展趋势。     

微纳米分子系统研究领域的最新进展——IEEE NEMS 2013国际会议综述

2013年4月7日至10日,第八届IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会(IEEE-NEMS2013)在中国苏州市召开[1-2],来自世界各地的360多位专家、学者齐聚一堂,就微纳研究领域的微/纳米制造和计量、微/纳米传感器、执行器和系统、纳米医学、微/纳流体、生物芯片、纳米材料、碳纳米管、石墨烯器件、微纳传热器件、能量采集器等多个方向展开了学术讨论和交流,充分展示了国内外在以上研究领域的最新研究成果、热点和动态,并对其发展趋势进行了分析。NEMS 2013国际会议的成功举办表明,以微/纳米分子系统等为代表的研究领域已成为高科技的重要代表,并极大地影响着世界的发展和人类生活。     

微纳米分子系统研究领域的最新进展--IEEE NEMS 2013国际会议综述

2013年4月7日至10日，第八届IEEE国际纳米/微米工程及分子系统大会(IEEE-NEMS 2013)在中国苏州市召开[1-2]，来自世界各地的360多位专家、学者齐聚一堂，就微纳研究领域的微/纳米制造和计量、微/纳米传感器、执行器和系统、纳米医学、微/纳流体、生物芯片、纳米材料、碳纳米管、石墨烯器件、微纳传热器件、能量采集器等多个方向展开了学术讨论和交流，充分展示了国内外在以上研究领域的最新研究成果、热点和动态，并对其发展趋势进行了分析。NEMS 2013国际会议的成功举办表明，以微/纳米分子系统等为代表的研究领域已成为高科技的重要代表，并极大地影响着世界的发展和人类生活。     

第十二届固态和集成电路技术国际会议第一次征文通知

正http://www.ICSICT.com2014年10月28-31日,桂林第十二届IEEE固态和集成电路国际会议(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology,IEEE ICSICT)将于2014年10月28—31日在桂林召开,本次会议由IEEE北京分会主办,并得到了IEEE EDS及SSCS学会、IET和     

第一次征文通知 第十二届固态和集成电路技术国际会议

正http://www.ICSICT.com2014年10月28-10月31日,桂林第十二届IEEE固态和集成电路国际会议(IEEE ICSICT-International Conference on Solid-state and Integrated Circuit Technology)将于2014年10月28日~10月31日在桂林召开,本次会议由IEEE北京分会主办,并受到了IEEE EDS及SSCS学会、IET、CIE等国内外多家学术组织的支持。     

第一次征文通知

正第十二届固态和集成电路技术国际会议http://www.ICSICT.com2014年10月28-10月31日,桂林第十二届IEEE固态和集成电路国际会议(IEEE ICSICT-International Conference on Solid-state and Integrated Circuit Technology)将于2014年10月28日~10月31日在桂林召开,本次会议由IEEE北京分会主办,并受到了IEEE EDS及SSCS学会、IET、CIE等国内外多家学术组织的支持。     

第十二届固态和集成电路技术国际会议第一次征文通知

正http://www.ICSICT.com2014年10月28–31日,桂林第十二届IEEE固态和集成电路国际会议(International Conference on Solid-state and Integrated Circuit Technology,IEEE ICSICT)将于2014年10月28–31日在桂林召开,本次会议由IEEE北京分会主办,并得到了IEEE EDS及     

第一次征文通知 第十二届固态和集成电路技术国际会议

正http://www.ICSICT.com2014年10月28-31日,桂林第十二届IEEE固态和集成电路国际会议(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology,IEEE ICSICT)将于2014年10月28-31日在桂林召开,本次会议由IEEE北京分会主办,并得到了IEEE EDS及SSCS学会、IET和CIE等国内外多家学术组织的支持。     

半导体与微电子技术

Y2002-63586 03277372001年IEEE纳米技术会议录=2001 1st IEEE confer—ence on nanotechnology(会,英]/IEEE Robotics and Au-tomatlon Society.—571P.本会议录收集了于2001年10月28-30日在夏威夷Maui召开的纳米技术会议上发表的104篇论文,内容涉及纳米磁学,纳米光刻,纳米加工,纳米电路,纳米     

Micro and nano structures of carbonised polymer through pyrolytic transformation from polymer structures

Micro and nano structures of carbonised polymers resulting from the pyrolytic transformation of polymer structures are presented. Polymers have become increasingly popular as materials for micro/nano electromechanical systems (MEMS/NEMS), especially for chemical or biological application. Focus is on the transformation of polymer structures into carbonised structures using a pyrolysis process. Combination of this pyrolysis process with conventional MEMS/NEMS fabrication technology could provide various fine structures of carbonised polymer. Carbonised polymers have advantages over conventional carbon materials, with respect to compatibility with MEMS, because they can be transformed directly from a polymer structure. Three-dimensional micro and nano free-standing structures of carbonised polymer as typical MEMS/NEMS structures are reported. Micro molding process is used to demonstrate a unique polymer structure to be pyrolysed. Furthermore, EB lithography technology is employed for the patterning of polymers in addition to UV photolithography which is used by previous researches. A 100 nm wide bridge structure is designed as nano structures. In addition, the presented structures of carbonised polymer are expected to be applied to micro and nano functional devices such as electrochemical sensors by making the best use of their carbon-like features     

操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用

在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题。这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向。本文归纳和总结了微/纳米操作技术方面的最新研究进展,并按照各种微/纳米镊的工作原理进行分类,分别对基于机械、水力学、电、磁、声、光、热以及这些效应的组合发展起来的微/纳米操作技术进行了评述,特别介绍了其中的一些典型应用。可以看到,微/纳米镊技术的发展,将给微小世界的研究和应用增添更多强有力的工具。     

谐振式微光学陀螺仪谐振微腔的最新进展

基于Sagnac效应的谐振式微光学陀螺(Resonant Micro-Optical Gyros, RMOG)在集成化、小型化和灵敏度等方面具有巨大潜力,在微纳卫星姿态控制、机器人控制、医学诊断和检测仪器等领域中具有广阔的应用前景,成为近年来研究的热点。谐振微腔作为谐振式微光学陀螺的核心敏感元件,其光学特性与陀螺系统的性能息息相关,谐振腔的研究进展已经严重制约到谐振式微光学陀螺的发展,目前可以通过集成光学技术、微纳光学加工技术和新型材料的应用来减小谐振腔的重量和尺寸,降低成本和功耗,增加系统的可靠性和性能指标。结合期刊会议和相关研究机构披露的信息,简要介绍了谐振式微光学陀螺的发展现状、基本原理以及谐振微腔的特征参量,列举了近期国内外谐振微腔的各种新型结构设计并分析了不同结构的特点与潜力,此外还综述了近期国内外制作谐振微腔的新型材料并总结了不同材料的光学特性,初步探讨了谐振式微光学陀螺敏感单元谐振微腔的后续发展方向和技术发展途径。     

石墨烯微纳结构加工技术的研究进展

简单介绍了石墨烯独特的光电子性质,说明实现其在光电子器件中应用的有效方法是进行微纳加工。接下来对主要的石墨烯微纳加工技术——掩膜光刻、转移压印以及激光直写和干涉进行详细阐述,通过实例对每种加工技术的关键步骤和特点进行说明,并分析比较了不同加工技术的优缺点。然后对近期出现的转移压印辅助光刻和飞秒直写辅助转移压印技术的加工流程进行详细介绍,阐述将两种加工技术相结合应用于石墨烯微纳结构加工的优势。最后,简单展望了石墨烯微纳加工未来的发展趋势,指出需进一步研究的问题,对如何更好地实现石墨烯微纳结构的加工提出一些建议。     

Synthesis and Applications of Stimuli‐Responsive DNA‐Based Nano‐ and Micro‐Sized Capsules

Stimuli‐responsive, drug‐loaded, DNA‐based nano‐ and micro‐capsules attract scientific interest as signal‐triggered carriers for controlled drug release. The methods to construct the nano‐/micro‐capsules involve i) the layer‐by‐layer deposition of signal‐reconfigurable DNA shells on drug‐loaded microparticles acting as templates, followed by dissolution of the core templates; ii) the assembly of three‐dimensional capsules composed of reconfigurable DNA origami units; and iii) the synthesis of stimuli‐responsive drug‐loaded capsules stabilized by DNA?polymer hydrogels. Triggers to unlock the nano‐/micro‐capsules include enzymes, pH, light, aptamer?ligand complexes, and redox agents. The capsules are loaded with fluorescent polymers, metal nanoparticles, proteins or semiconductor quantum dots as drug models, with anti‐cancer drugs, e.g., doxorubicin, or with antibodies inhibiting cellular networks or enzymes over‐expressed in cancer cells. The mechanisms for unlocking the nano‐/micro‐capsules and releasing the drugs are discussed, and the applications of the stimuli‐responsive nano‐/micro‐capsules as sense‐and‐treat systems are addressed. The scientific challenges and future perspectives of nano‐capsules and micro‐capsules in nanomedicine are highlighted.     

先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展

微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用。该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述。     

Laser Micro/Nano-Structuring Pushes Forward Smart Sensing: Opportunities and Challenges

Post-pandemic era poses an imperative demand on progressive sensing devices whose performance largely relies on the morphologies and structures of sensing materials. Despite substantial efforts and advances that have been made in sensing materials with different micro/nanoscale dimensionalities, it is still challenging to couple micro/nano platforms with sensing materials together for the precise and scalable production of high-performance sensors toward practical application scenarios. Owing to noncontact, precise, and high-efficiency features, laser micro/nanofabrication offers a promising solution to achieve high-quality micro/nano sensors with novel functionalities in a relatively short time. Herein, this review begins with a glance over the development of micro/nano-structured sensors and briefly discusses the importance of laser micro/nanostructuring technology for micro/nano-engineering of the sensors. Next, representative processing methods are elaborated in detail from a laser-pulse-type point of view, with potential applications toward chemical, physical, and biological targets based on different sensing mechanisms summarized. Finally, the perspectives on the opportunities and challenges of laser micro/nanostructuring strategies and materials for micro/nanosensors are presented.     

基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究

提出了聚焦离子束注入（focused ion beam implantation,FIBI）和聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀（gas assisted etching,GAE）相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参数与离子注入深度的关系。当镓离子剂量大于1.4×1017ion/cm2时,聚焦离子束注入层中观察到均匀分布、直径10～15nm的纳米颗粒层。以此作为XeF2气体反应的掩膜,利用聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀（FIB-GAE）技术实现了多种微纳米级结构和器件加工,如纳米光栅、纳米电极和微正弦结构等。结果表明该方法灵活高效,很有发展前途。