一种利用变通的离子散射谱测量进行浓度定标的二次离子质谱深度剖析定量方法

本工作利用一台不作任何较大改动的ＣＡＭＥＣＡ－ＩＭＳ－３ｆ扇形磁铁型二次离子质谱仪对传统的离子散射谱（ＩＳＳ）分析技术进行了适当的变通，并对二次离子质谱分析（ＳＩＭＳ）的深度剖析谱进行了浓度定标。在保留ＳＩＭＳ分析高灵敏度、高深度分辨率的前提下，实现了对块体样品中的掺杂元素的ＳＩＭＳ定量深度剖析。通过与离子注入机标称的注入剂量及卢瑟福背散射的定量分析结果相比较，本方法的定量准确度一般好于１０％。而精确度则好于５％。本文对该方法的背景、基本原理、实验方法，准确度及优缺点等进行了较详细的讨论。     

二次离子质谱学的最新进展：第9届国际二次离子质谱学会议评述

二次离子质谱学（ＳＩＭＳ）以其很高的灵敏度、很宽的动态范围和优良的深度分辨已逐步发展成为一种重要而有特色的表面分析手段。本文结合第９届国际二次离子质谱学会议（ＳＩＭＳ－ＩＸ）对ＳＩＭＳ的最新进展作一个简要评述，范围包括ＳＩＭＳ的各个方面：基础研究、仪器发展、定量分析、应用以及后电离技术等。     

二次离子质谱的一次离子光学系统

二次离子质谱仪作为一种强大的表面分析工具,在表面分析领域有着非常广泛的应用。本文报道了一种用于二次离子质谱仪的一次离子光学系统,它可以对电子轰击电离源产生的一次离子进行有效的加速与聚焦,形成稳定的、能量在0～5kV范围内连续可调的离子束流。同时,该光学系统可以在两种聚焦模式下工作,产生两种不同性能的离子束流。实验结果表明,采用电子轰击电离源作为一次离子源的条件,该离子光学系统能够将离子束聚焦至直径为20μm的束斑,其一次离子束流密度最高可达到503.2mA/cm2,可以实现对一般样品(如材料或生物样品)的表面成分分析。     

几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术

本文简要叙述法国CAMECA公司 ,德国IONTOFGmbH公司新型的NanoSIMS5 0IMSWFIMSSCUITRATOFSIMSIV型二次离子质谱的特色 ,着重介绍这些仪器改进过的和新增加的仪器部件的原理、性能及功用     

煤的二次离子质谱数据解析1

作为全面认识煤的二次离子质谱数据与结果的开始,本文展示了典型煤样的低质量端的二次离子质谱图。利用了含四位小数的准高分辨数据在1至20质量数据区域确定了20种正离子组成;在1至31质量数区域确定了26种负离子组成。其中,简单氮氢离子─—H3N （m／z17．0272）、H4N （m／z18．0355）、H2N-（m／z16.0187）、HN-（m／z15．0107）,以及破氮组成离子CN-（m／z26．0036）等许多离子的组成,在煤的二次离子质谱及激光电高质谱中均属于首次检出。本文还对同类化学组成形成正离子与负离子的差异,以及对合同位素组成离子的同位素比值利用的潜力,进行了详细讨论。     

SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析

采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较高,既给出钠离子在钝化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了钠离子的分布特点。     

邻近铀微粒的二次离子质谱测量干扰研究

二次离子质谱(SIMS)测定铀微粒同位素比时,邻近微粒间可能产生干扰.在IMS-6f型SIMS上开展U350和U0002铀微粒在不同间距、不同测量顺序下铀同位素比测量研究,结果表明,微粒间距超过22 μm(U350)和35 μm(U0002)时,微粒的234U/238U、235U/238U、236U/238U测定结果与...     

硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析

本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究。通过对样品进行预溅射的方法,氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm~3、2.0e16atoms/cm~3。     

砷化镓抛光晶片表面沾污的二次离子质谱分析

在砷化镓工艺过程中,很多失效问题与表面的沾污有关,二次离子质谱分析是表面分析的有力手段,本文提供一种用二次离子质谱分析检测砷化镓表面钠、钾和铝的沾污水平的测试方法。     

元素硫侵染金表面的二次离子质谱团簇离子

团簇离子在从原子到分子,从二维表面到三维固体这样的物种序列中占有独特的位置。许多团簇系列,包括稀有金属、金属卤化物和半导体材料等均进行过不同程度的研究。通常人们十分关注团簇离子的结构和反应活性。不同质谱方法包括不同电离方法或配套的其它物理方法曾被用于团簇离子的研究,近年来二次离子质谱也成为研究团簇离子的重要手段。     

钢铁厂平炉尘单颗粒物中无机元素的二次离子质谱研究

The deposition of steel plant's aerosol collected by a low pressure impactor on aluminum foils were analyzed by SIMS. The results show many metal elements, including some rare metal elements.     

平炉尘单颗粒物中多环芳烃的二次离子质谱研究

The aerosols from the Steel Plant collected by a low pressure impactor on aluminum foils have been analyzed by static secondary ion mass spectrometry (SIMS). The study has characterized a series of polycyclic aromatic hydrocarbons (PAHs) absorbed on the individual particle.     

二次离子质谱(SIMS)分析技术及应用进展

二次离子质谱 ( SIMS)比其他表面微区分析方法更灵敏。由于应用了中性原子、液态金属离子、多原子离子和激光一次束 ,后电离技术 ,离子反射型飞行时间质量分析器 ,离子延迟探测技术和计算机图像处理技术等 ,使得新型的 SIMS的一次束能量提高到 Me V,束斑至亚μm,质量分辨率达到 1 5 0 0 0 ,横向和纵向分辨率小于 0 .5μm和 5 nm,探测限为 ng/g,能给出二维和三维图像信息。 SIMS能用于矿物、核物质、陨石和宇宙物质的半定量元素含量和同位素丰度测定 ,能鉴定出高挥发性、热不稳定性的生物大分子 ,能进行横向和纵向剖析 ,能进行单颗粒物、团蔟、聚合物、微电子晶体、生物芯片、生物细胞同位素标记和单核苷酸多肽性分型 ( SNP)测定 ,能观测出含有 2 0 0 0碱基对的脱氧核糖核酸 ( DNA)的准分子离子峰。以SIMS在同位素、颗粒物、大分子、生物等研究领域的应用为重点 ,结合实例 ,对 SIMS仪器和技术进展进行了综述     

宋代黑釉茶盏油滴的飞行时间二次离子质谱表征

本研究利用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)表征典型黑釉茶盏釉面上银色反光斑纹,即华北油滴。高分辨质谱测定油滴的主要成分是氧化铁,由显微拉曼光谱确定其矿物形式是赤铁矿(α-Fe₂O₃)。二次离子质谱(SIMS)离子成像进一步揭示：该赤铁矿呈六方柱晶体(约2～10μm);近百余枚这样的晶体自组织分散排列构成类似雨滴状的斑纹(约120μm);与其形貌互补的是含硅、铝、钙、钠等元素的碱性石灰质釉质。SIMS深度剖析发现,α-Fe₂O₃晶体的连续深度不小于5μm。基于SIMS表征结果,还探讨了赤铁矿沉积薄膜状镜铁矿(α-Fe₂O₃)引起华北油滴呈银色与镜面反射现象的原理,以及TOF-SIMS在表征和研究古瓷方面的潜力和局限。     

第十六届国际二次离子质谱学会议概况

第十六届国际二次离子质谱学会议（The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMSXVI）于2007年10月29日至11月2日在日本西部滨海城市金泽（Kanazawa）召开。     

二次离子质谱中Cu-S链状结构的形成与表征

高性能静态二次离子质谱以其超高灵敏度直接分析固体表面和微区及其离子成像功能为特色。在材料科学等领域已获得了广泛的应用。另一方面,该仪器所特有的超高真空环境和通过一次束(电离)向表面提供能量的特征,使它又象一个通常难以获得的化学实验室。因此,它在表面化学和团簇结构等基本探索方面也愈来愈受到重视。