新型电阻(金属膜)专用镀膜机的研制

新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备。文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述，并将研制中的一些数据和关键部分予以阐明。     

多弧源磁控溅射多功能离子镀膜机的开发

本文系统地介绍了真空多弧源磁控溅射多功能离子镀膜机的开发情况、基本性能、主要特点、结构原理及采取的各种技术措施，评估了该设备的经济技术价值及开发者的良好心愿     

双室旋转磁控溅射镀膜机的研制

本文叙述了双室旋转磁控溅射镀膜机的结构、工作原理和主要性能，并对磁场强度、充气压强、放电电压、电流等工作参数以及沉积速率的影响进行了一系列实验，从而选择了该机的最佳运动参数．     

KZC—磁控溅射镀膜机电源的研究

本文介绍KZC—磁控溅射镀膜机电源的组成，工作原理和具有自动起动功能及抑 制系统振荡的良好动态特性。文中详述了“自适应电流调节器”、“电流截止负反馈”、 “触发电路”、“给定积分器和电压调节器”。该电源为磁控溅射镀膜设备实现自动控制 提供了方便。     

TRC—2020型磁控溅射镀膜机低温泵的设计考虑

本文从溅射镀膜的要求出发，设计出符合溅射镀膜要求的 ＺＤＢ—２００低温泵。在分析低温抽气机理的基础上，提出了ＺＤＢ—２００型制冷机低温泵的主要参量。为此，在设计一、二级冷阵中，既考虑，到冷阵结构的一合理性，又要考虑冷阵温度分布的均匀一致，同时对如何提高致冷机的致冷效率也进行了讨论。     

非晶硅太阳电池和HLRB—TD6A非晶硅太阳电池镀膜机

文章简述了国内外非晶硅太阳电池的发展及通常用于沉积含氢非晶硅（ａ－Ｓｉ：Ｈ）薄　　　　　　　　膜的　ＰＣＶＤ工作原理。详尽叙述了　ＨＬＲＢ－ＴＤ６Ａ非晶硅太阳电池镀膜机的结构和　　　　　　　　设计特点。该机设计合理，本底真空度高，电场、气流、温度分布均匀，无各室间不同　　　　　　反应气体的交叉污染，沉积的Ｐ、Ｉ、Ｎ型ａ－Ｓｉ：Ｈ材料性能极佳，是在聚酯膜、不锈　　　　　　　　钢带等柔性衬底上连续沉积ａ－Ｓｉ　：Ｈ太阳电池的理想设备。     

低阻值空气标准电阻的研制

采用多只4端钮低值精密电阻并联制作的低阻值空气标准电阻,其电流端可直接并接,而电位端由于接线电阻影响较大,不能直接并接,通过在各单个电阻的电位端串接平衡电阻,然后再并接,可有效消除接线电阻的影响,从而研制出温度系数极小、温度范围很宽的空气电阻.     

ZG—15型卷绕镀膜机感应加热式蒸发源的设计

感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜，近年来在日本得到了广泛 地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广，本文在介绍了感应加热式蒸发源加 热蒸发原理的基础上，对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参数计算及感 应源的电气原理等方面作了详尽地论述。文中最后还就蒸发源有关的设计问题，诸如坩 埚与蒸镀辊的距离、坩埚之间的布置及输电导线的设计等问题做了介绍，并且指出了这 种蒸发源在运转过程中应注意的几个问题。     

多功能复合离子镀膜机的研制

详细介绍了一台我院新近研制的多功能复合离子镀膜机.该机配有柱弧源、电磁控大面积弧源、小多弧源,使得在不同材质的工件上原位连续镀制各种多层膜及复合化合物膜;偏压电源采用我院自行开发的叠加式直流脉冲偏压开关电源,使用该电源可有效控制基体温度,实现远离平衡态的低温沉积镀膜工艺;全部控制及工艺流程采用PLC(可编程控制器)自动控制,具有成本低、效率高、膜系质量优、工艺可重复性好等特点.用该设备开发的一些功能膜复合工艺已获得实际应用,取得了良好的使用效果.     

ZZ—3200J型高真空镀膜机的研制

本文叙述ＺＺ－３２００Ｊ型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。     

手持式导电膜方块电阻测试仪系列的研制

本文介绍用于导电膜方块电阻（面电阻）（Ω／□）测试的手持式仪器系列中的ＸＸ－１型,ＸＸ－２型仪器。着重阐述仪器的设计思想,应用原理和关键部分的设计,该系列测试仪是导电薄膜（ＩＴＯ膜等）制造厂家和器件（液晶显示器等）制造厂家的理想仪器。     

太阳能集热管的镀膜设备──DJT—800型磁控溅射镀膜机的研制

前言 本机用于镀制真空玻璃太阳能集热管选择性吸收薄膜。是生产太阳能集热管不可缺少的新型设备。 太阳能是取之不尽用之不竭的巨大天然能源。直接利用太阳能是开发新能源的主要途径之一;是一项节省可燃性能源、发展工农业生产、改善人民生活具有深远意义的重要措施。近年来,太阳能的利用引起了各国的高度重视,并开展了广泛的研究。一些先进国家,如美、澳、日、德等国研究颇有成效,现已转入应用之中。 我国对太阳能利用的研究,虽起步较晚,但现已取得初步成效。其中,真空玻璃太阳能集热管是研究单位较多的重点项目。因这种集热管不仅在炎热…     

DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机研制成功

机械工业部沈阳真空技术研究所为沈阳市玻璃计器厂研制的太阳能集热管磁控溅射镀膜机,经过一年的工业运行,性能良好。最近通过了技术鉴定。 DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机是生产太阳能集热管的专用设备,适用于镀制太阳能集热管选择性吸收表面的光学薄膜。 太阳能集热管的热效率,主要取决于选择性吸收膜层的质量。目前,我国均采用化学电镀法镀制膜层,这种方法存在着工艺不够稳定,废品率高,膜层质量差,原材料消耗大,成本高,污染环境,危害工人健康等缺点。而应用磁控溅射镀膜机镀制太阳能集热管选择性吸收膜层,彻底实现了工艺革新,完…     

塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制

本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备 ITO膜的设备及成膜过程的一些工艺问题进行了探讨