聚酰亚胺微型阀及其加工工艺

在回顾微型阀发展并分析单晶硅微型阀和多晶硅微型阀加工工艺基础上,提出一种聚酰亚胺微型被动阀,分析聚酰亚胺的材料性能,设计微型阀结构和加工工艺流程,成功地制造出聚酰亚胺微型阀,测试该阀性能,讨论加工过程中的一些关键工艺。     

微型机械的现状与发展

介绍了国际上微型机械研究工作发展特点与趋势以及我国微型机械研究工作现状,提出了近期发展战略的建议。     

多晶硅微机械零件的制作及测试

探讨利用硅表面微细加工工艺制造微型机械的方法，制作了微涡轮，微传动齿轮，微螺旋弹簧和微凸轮传动机构等微机械结构，实现了齿轮的啮合传动，微弹簧扭转及微凸轮传动机构的运动。对多晶硅材料的机械物理性能，微机械系统动力学特性进行了测试分析。     

纳米技术与微型机械

纳米技术及微型机械被认为２１世纪的核心技术，本文介绍了微型机械的概念，加工技术，材料技术以及与其相关的一些纳米技术的应用。     

纳米技术 微型机械和延年益寿

介绍了21世纪世界科技发展的一个重要方向——电子技术、计算机和机械走向纳米级的微型化,同时具有超越的功能。它不但会影响机械,而且将影响医药、环境、健康以致延长人的寿命。     

纳米技术及其在微型机械中的应用

纳米技术及微型机械被认为是２１世纪的核心技术。文中介绍了纳米技术及微型机械的基本概念及纳米加工技术、纳米材料技术、纳米摩擦学等纳米技术在微型机械中的应用。     

一种对微型元件行之有效的力学量检测方法

论述了对微型结构（微型触觉传感器敏感单元）的静态,动态加载方法和用光纤式麦克尔迩干涉仪对其力学参数（应变,固有频率,振型等）的检测方法,并与有限元计算做了对比,通过结果比较和误差分析,为微型触觉传感器敏感单元的优化设计和应用提供依据和支持。     

微型机械的特点,研究现状和应用

简明地叙述了微型机构的特点,综述了微型机构在国内外的研究现状,强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要地位,列举了微型机械应用的典型实例,最后对我国在九五期间发展微型机械提出了一些建议。     

MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究

简要叙述了微电子机械系统(MEMS)研究中的多单元综合体--微型系统,包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论,并提出了一些超前的设想     

微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究

微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础.本文介绍微型机械运动参数测试仪的工作原理和关键技术,并对仪器的精度进行了分析.     

微型泵和微型阀的进展

微型泵、阀及微量流体控制系统由于其广泛的应用前景，成为微型机械研究中一活跃的分支。本文着重介绍微型泵、阀的研究现状，论述微型泵、阀的结构设计，致动原理及其实现性能等。     

硅微热致动泵的关键加工工艺

提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。     

微小机械的研究现状和动向

介绍了微小机械的发展现状及国外在这方面的最新研究成果,对微小机械的研究方向提出了见解。