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正压漏孔校准装置优化设计 总被引:1,自引:0,他引:1
针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限.采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02 K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度.在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1 mm的精密细活塞及适用的动密封结构.可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量级.通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率. 相似文献
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基于Visual c++技术,设计了应用于ITERCICC导体的气密性检测控制系统。利用计算机的串口通信功能,实现了漏率实时采集、实时绘图显示和数据同步保存的功能,达到了整个检漏过程的自动化控制目标。极大的提高了真空检漏的工作效率。 相似文献
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