用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器

传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍 ,并给出了传统检波器与MEMS加速度传感器野外数据采集的具体实例     

机械密封膜压测量方法综述

对现有机械密封端面膜压测量方法进行了总结,提出了微型压力传感器法、薄膜压敏电阻式压力传感器法、MEMS微传感器法等新的测量方法,并探讨了其可行性。通过分析比较,认为微型压力传感器法可适用于近期的机械密封实验中,薄膜压敏电阻式压力传感器法和MEMS微传感器法具有很高的研究价值。     

基于微机电系统的数字检波器研制和性能分析

对微机电系统（MEMS）数字检波器的结构和性能进行了简要介绍，对MEMS数字检波器的室内检测系统的组成、标定和测量方法等方面进行了描述。在江苏油田进行了MEMS数字检波器野外试验，以测试MEMS传感器的性能。试验结果表明，用MEMS数字检波器采集的资料，浅层的信噪比、分辨率和波组特征比传统检波器的要好，深层能量较弱；在室内进行了三分量MEMS数字检波器和超级检波器的对比试验，结果表明，数字检波器的频率响应要优于超级检波器，阻尼低于超级检波器；在四川达州进行的三分量MEMS数字检波器野外试验表明，三分量MEMS数字检波器的灵敏度较低，不能分辨深层弱信号；在山东煤田的试验中，三分量MEMS数字检波器的灵敏度提高了3倍，记录的总体面貌没有很大改观，但检波器对小于10Hz的面波信号有响应。     

一种电容式传感器信号调理电路的设计

与常规检波器不同,MEMS电容式加速度传感器所获得的是地震信号变化引起的电容的变化量.为了将这个电容的变化量转换为电压信号输出,而且使该传感器能有效接收到深层反射回来的微弱信号,我们设计了一种电容式传感器的调理电路.本文对组成该调理电路的接口电路、放大电路、低通滤波电路进行了详细地分析,并对调理电路的性能进行了实际检测.     

DSU3采集单元串音测试的不确定性和可能的改进思路

DSU3采集单元在不同的环境下串音测试的结果存在很大差异,很难对其是否符合规范要求作出判断,DSU3的串音测试存在不确定性。原因是DSU3在进行串音测试时,125Hz正弦波测试信号是直接加在MEMS传感器上的,但此时MEMS传感器除了接收测试信号外,还会接收环境噪声信号,从而造成串音测试数据随环境噪声而变化的弊端。本文对串音测试不确定性的原因进行了分析,并据此提出了改进串音测试不确定性的思路:在各地震放大器输出信号中,只提取频率为125Hz的数据进行串音计算,就可以大大降低环境噪声对串音测试的影响,较为单一地反映道间串音的高低。     

MEMS数字检波器简介及指标分析

本文简要介绍了MEMS数字检波器的发展历史、工作原理、应用领域。重点对用于石油地震勘探的MEMS数字检波器进行了指标分析,并就一些比较容易混淆的概念进行了解释。     

石油勘探MEMS传感器的研究

用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式，并详细地介绍了该产品的主要技术指标。     

微电子-机械系统传感器及其应用

微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或曰微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应。文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项。     

微机电系统纳米摩擦学研究进展

随着微型机电系统（MEMS）的快速发展，MEMS摩擦学已成为纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能，稳定性和寿命起着决定作用。因此研究MEMS的微观摩擦学性能至关重要，综述了近年来国内外MEMS摩擦学研究的新进展。介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性，包括环境条件，材料处理，表面改性，分子薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况，提出了当前相关研究的几个重要问题。     

一种MEMS检波器设计及其性能测试

与常规的动圈式检波器不同,目前物探行业使用的DSU等数字式MEMS检波器无法采用传统的检波器性能测试仪进行性能参数测试。为研究MEMS检波器性能参数测试方法和性能特点,采用一种高性能MEMS加速度计芯片SF1500S,设计了一个模拟信号输出的MEMS检波器,设计了配套的数据采集器和处理软件,并对其进行频率特性、畸变等性能测试。