砷烷的纯化技术研究进展

砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、Ga As、Ga As P生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。     

砷烷的气相色谱分析

砷烷是半导体生产和科学研究中的重要原材科,不但可应用于半导体外延膜N型掺杂和扩散工艺,还可以应用于离子注入工艺。同时,它对于砷化镓薄膜的制备,也是很重要的材料。砷烷是一种剧毒的易燃无色气体,具有令人厌恶的类似大蒜的气味,是溶血性毒物。由于它有剧毒,且易燃,虽然在实际工     

砷烷的合成与纯化

砷烷是重要的电子特气之一,是半导体工业中不可缺少的基础材料.由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高,净化难度大等因素,在国内的安全大背景下,很少有企业愿意冒风险开展此类工作.在此,列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展.     

砷烷／磷烷监测报警仪的研制

基于火焰光度法原理工作的砷烷/磷烷监测报警仪可对半导体及电子工业生产中使用的砷烷/磷烷进行TLV级的监测报警,对砷烷的最小检测浓度为0.004×10~(-6),对磷烷的最小检测浓度为0.003×10~(-6),响应时间不大于30s。该仪器不仅检测灵敏度高,响应速度快,抗干扰能力强,而且性能稳定,可连续自动监测,操作简便,能满足现场监测要求。     

高纯砷烷的合成与开发进展

砷化氢(AsH3)是一种重要的电子特气,它主要用于N型半导体的掺杂、离子注入、化学气相沉积(CVD)等。AsH3的工业合成主要有化学合成法和电解合成法2种,后者可在恒定浓度条件下制备AsH3。为满足电子工业所需的高纯度需求,需要对其进行精制。AsH3的精制方法主要包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等,它们均能满足各自不同的需求。同时介绍了AsH3的国内外经济概况和产品标准。     

特种气体贮运,应用,安全与特性——硅烷,砷烷,二氯二氢硅

特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称Ｓｉｌａｎｅ；Ｍｏｎｏｓｉｌａｎｅ；Ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｈｙｄｒｉｄｅ分子式ＳｉＨ４１物化性质硅烷是一种无色...     

电子气体：一种亟待解决的关键微电子材料

分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法.     

锗烷合成工艺及用途概述

锗烷主要用于半导体、光伏太阳能和集成电路行业,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料.主要介绍了锗烷的合成方法：化学还原法、电化学反应法、等离子合成法.同时介绍了锗烷的性质和用途.     

微电子学用高纯砷烷、磷烷或硅烷混合物中痕量杂质的气相色谱分析

介绍的分析方法是测定含有H_2或Ar的PH_3、AsH_3或SiH_4混合气中的痕量O_2、N_2、CO、CO_2和C_1～C_4的碳氢化合物。此法用化学法除去PH_3、AsH_3或SiH_4,然后用气相色谱分离,在低温下用13X分子筛富集痕最成份,再用TCD和FID检测。检测极限值估计O_2和N_2为0.5vpm;CO和CO_2为0.1vpm,碳氢化合物为0.01vpm。用同一个扑集柱进行吸附富集与解吸分离,可在同一个流程中,对所有感兴趣的痕量杂质进行分析。测量结果总的相对标准误差,估计在±22％左右。     

超高纯度硝酸银制备工艺原理的探讨

照相用超高纯度硝酸银可用于生产高感光度的黑白与彩色感光材料。在超高纯度硝酸银中的各种杂质含量应限止在（ng)纳克级。特别是其中的（Hg)汞杂质的活性将严重地损害到卤化银颗粒的感光中心，以及影响到产品的稳定性与保存性。为此，笔者对于2000年以前有关照相用硝酸银制备的历史文献约为150篇参考文献做了系统的检索以后，根据（Hg)汞元素与汞盐的化学物理特性，在本文中探讨几种消除（Hg)汞杂质的不同生产工艺原理与方法。同时，又对于大批量工业生产装置的发展历史进行研究以后，再提出一些改进意见，包括：待申请的专利技术。     

超纯氢生产的新方法

简介了当前国内外生产超纯氢的三种方法及优缺点。提出了以高纯氢为原料,采用Pu-8新型吸附剂,高压低气速纯化直接灌充钢瓶下生产超纯氢的新方法。     

超纯氨(99.99999%)净化技术的最新研究进展

随着LED的飞速发展,作为重要原材料的高纯氨的纯度已达到7 N(99.99999%),传统的净化方法已成为初级预处理手段。介绍了当今世界最先进的氨净化方法,旨在提高我国超纯氨国产化水平,以满足中国LED生产的需要。     

国内高纯气体应用现状

阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为＂零点气＂的应用。     

纯气中杂质成分综合分析的方法研究

论述了放电离子化检测器在高纯气体杂质成分分析中的应用。     

高纯气体包装气瓶及定期检验技术

介绍高纯气体气瓶结构类型,制造工艺以及使用特点。简述了国内目前不同结构类型气瓶检验方法,以及目前检验方法对于高纯气瓶检验存在的问题。结合国外高纯气瓶检验方法以及高纯气瓶失效模式,制定适应于不同结构高纯气体气瓶的检验方法,该检验方法对于高纯气体气瓶检验具有科学性和经济性。该类型检验方法的实施,有效保障高纯气体气瓶安全运行。     

照相用高纯硝酸银的开发和生产

本文简述了国内外照相用硝酸银的发展情况，较详尽地阐述了天津远大感光材料公司开发和生产照相用高纯硝酸银的情况、工艺特点、生产工艺流程和达到的水平。     

对高纯气体标准物质中微量或痕量杂质分析的要求

阐述了对高纯气体产品质量监测的重要性并分析了影响高纯气体质量监测准确性的各种因素（掌握正确的取样技术;配备高气密性、不产生交叉污染的配气和测量装置;选择高灵敏度的监测方法;建立完善的质量保证体系）。     

低温吸附法生产高纯氢浅析

采用低温吸附法生产高纯氢,在国内已是很成熟的方法。但实际上仍然有许多问题影响着装置不能正常稳定地生产。该文就生产过程中出现的一些问题进行了浅析。