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微型机械制造和装配是微型机械发展的关键,本文介绍了微型涡和微型齿轮 原理与特点,并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制,对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索,同时了说明了二者的应用前景。 相似文献
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文中介绍了当前国际上微型机械、微型机械电子学的发展现状与趋势。提出了进行以微米、纳米技术为基础的微机电一体化新技术研究的建议。 相似文献
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我们发现在标准CMOS工艺中有许多工艺可应用到微机械结构的制造中去.仅仅增加一步无需掩膜的KOH腐蚀工艺,用工业化3微米CMOS工艺(加拿大北方电讯电子有限公司提供)实现了许多微型桥、悬浮薄膜和螺旋弹簧微机械结构.我们的方法是:基于非常规的布 相似文献
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新型MEMS致冷器研究 总被引:1,自引:0,他引:1
刘少波 《电子工业专用设备》2004,33(1):21-25
微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件、低功耗的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用前景。 相似文献
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本文主要介绍日本东北大学电气通信研究所的荒井贤一教授和本田等人开展磁致伸缩薄膜驱动器的研究工作.他们把半导体集成电路制造技术应用于微机械加工中,试制成磁致伸缩型微驱动器.随着半导体集成电路技术发展起来的半导体微机械技术,实现微机械加工技术的研究正在广泛开展,最近已报道了在硅基片上制作成功微小发动机和各种微型机构的消息,在半导体以外的领域中也出现了很多微 相似文献
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金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东(中国科学院上海冶金研究所,上海200050)微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中,从而批量制造各种微型的机械零件,直至微型机械人。本文所介绍的金属... 相似文献
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