共查询到20条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
为寻求一种防止因表面污染而导致钛膜吸氢能力下降的途径,用表面分析方法检测样品表面状态,用质谱仪测量样品吸氧能力,研究了表面状态和吸氢能力的相互关系。采用在钛膜上淀积钯膜(蒸发或溅射)的方法,可使受碳、氧污染的钛膜吸氢能力得以恢复。这种钯/钛复合结构在吸氢能力上对碳、氧污染并不灵敏。对样品的近费米能级处的占有电子态密度(densityofstate,DOS)的测量证明,凡吸氢能力良好的样品,DOS呈峰形结构。具有抗污染能力的钯/钛结构,其DOS因污染而导致的变化很小,而无抗污染能力的钛膜,其峰形结构受污染作用而消失。这种峰形结构能提供氢分子解离吸附过程中所需的电子。 相似文献
2.
钯对钛膜吸氢能力的抗污染作用的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为寻求一种防止因表面污染而导致钛膜吸氢能力下降的的途径,用表面分析方法检测样品表面状态,用质谱仪测量样品吸氢能力,研究了表面状态和吸氢能力的相互关系。采用在钛膜上淀积钯膜的方法,可使受碳,氧污染的钛膜吸氢能力得以恢复。这种钯/太复合结构在吸氢有力上对碳,氧污染并不灵敏 相似文献
3.
在钼基底上蒸镀钛膜,用乙炔(C2H2)在钛膜表面引入碳污染,用X射线光电子谱和俄歇电子谱研究钛膜表面的碳的化学状态,以及表面的碳污染对钛膜吸氢能力的影响。实验发现,碳在钛表面以两种到三种化学状态存在。碳在钛表面将使钛膜的吸氢能力下降,而且不同化学状态的碳对钛膜吸氢能力的影响也不同。实验结果表明,呈TiC状态的碳是降低钛膜吸氢能力的主要因素,其原因是它使解离吸附位置减少。 相似文献
4.
为了研究氢离子束轰击Mo-Si多层膜界面的情况,采用氢离子束(能量150eV)轰击Si表面,即Si与Mo之界面。再用Kr离子束溅射刻蚀,并用俄歇电子能谱(AES)分析。实验结果说明氢离子束对Si表面轰击能有效防止界面混杂效应(intermixingeffect)。进而说明这是制备软X射线多层膜反射镜过程中解决界面混杂问题的有效途径。 相似文献
5.
为了研究氢离子束轰击Mo-Si多层膜界面的情况,采用氢离子束(能量150eV)轰击Si表面,即Si与Mo之界面,再用Kr离子束溅射刻蚀,并用俄歇电子能谱(AES)分析,实验结果说明氢离子束对Si表面轰击能有效防止界面混杂效应,进而说明这是制备软X射线多层膜反射镜过程中解决界面混杂问题的有效途径。 相似文献
6.
表面氧污染的钛膜,其吸氢能力比清洁钛膜降低达数倍之多。在厚度d为40nm,表面氧污染的钛膜表面上,重新蒸镀一层极薄的(约1.2nm)清洁钛膜,吸氢、释氢的测量表明其吸氢能力得到恢复。另外,还对其他四块不同厚度的钛膜,在表面清洁及氧污染的条件下,分别进行了吸氢能力实验。实验结果证实:氧污染降低钛膜吸氢能力的原因是使钛膜上氢分子解离的位置减少,而不是扩散阻挡层的作用。 相似文献
7.
表面氧污染影响钛膜吸氢量的机理 总被引:1,自引:0,他引:1
表面氧污染的钛膜,其吸氢能力比清洁钛膜降低达数倍之多,在厚度d为40nm,表面氧污染的钛膜表面上,重新蒸镀一层极薄的(约1.2nm)清洁钛膜,吸氢,释氢的测量表明其吸氢能力得到恢复。另外,还对其他四块不同厚度的钛膜,在表面清洁及氧污染的条件下,分别进行了吸氢能力实验,实验结果证实,氧污染降低钛氢能力的原因是使钛膜土氢分子解离的位置减少,而不是扩散阻挡层的作用。 相似文献
8.
碳污染对钛膜吸氢能力影响的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在钼基底上蒸镀钛膜,用乙炔在钛膜表面引入碳污染,用X射线光电子谱和俄歇电子谱研究钛膜表面的碳的化学状态,以及表面的碳污染对钛吸氢能力的影响。实验发现,碳在钛表面以二种到三种化学状态存在。碳在钛表面将使钛膜的吸氢能力下降,而且不同化学状态的碳对钛膜吸氢能力的影响也不同。实验结果表明,呈TiC状态的碳是降低钛膜吸氢能力的主要因素,共原因是它使解离吸附位置减少。 相似文献
9.
10.
11.
12.
13.
用核反应分析方法,对等离子体基脉冲偏压沉积DLC膜的氢分布和氢含量进行了较系统的研究.结果表明,用等离子体基脉冲偏压沉积技术可获得较低氢含量的DLC膜;其氢含量范围约为6at%~17at%,且氢沿膜厚是均匀分布的,随等离子体密度及离化率降低,DLC膜的氢含量增加,荷能离子对生长表面的轰击具有较强的析氢作用,工作气体中引入氢气促进DLC膜中氢的析出. 相似文献
14.
在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及有一定量氧污染的钛膜进行了吸氢、释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使钛膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使氢解离为原子的几率降低。 相似文献
15.
在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及有一定量氧污染的钛膜进行了吸氢、释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使太膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使氢解离为原子的几率降低。 相似文献
16.
简述了中空纤维膜分离原理、开车步骤,分析了中空纤维膜氢回收系统标定数据,指出存在的问题,并进一步对比分析了加氢干气直接作为制氢原料和用中空纤维膜氢回收系统的非渗透气作为制氢原料的优缺点. 相似文献
17.
分析近年来国内外质子交换膜氢燃料电池气体扩散层相关专利的申请情况,反映目前质子交换膜氢燃料电池气体扩散层产业的发展情况,为质子交换膜氢燃料电池气体扩散层生产技术及研发提供参考。借助Incopat数据库,利用质子交换膜氢燃料电池气体扩散层及含义相似的关键词进行公式检索,对质子交换膜氢燃料电池气体扩散层历年相关专利申请趋势、申请人、技术分布和法律状态等检索结果进行解析。结果表明:我国质子交换膜氢燃料电池气体扩散层相关专利与国外相比,虽然存在专利申请数偏低的问题,但正处于蓬勃发展的时期。我国现有的质子交换膜氢燃料电池气体扩散层相关专利申请的关键核心技术偏少、专利转化率低,有较大的创新和发展空间。针对质子交换膜氢燃料电池气体扩散层相关专利申请存在的问题,应加强质子交换膜氢燃料电池气体扩散层相关生产技术创新,提高质子交换膜氢燃料电池气体扩散层的质量,加大高质量产品的开发投入,提高科技成果转化率,加快质子交换膜氢燃料电池气体扩散层相关企业的专利布局。 相似文献
18.
在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及表面一定量氧污染的钛膜进行了吸氢,释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使钛膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使H2解离为原子的几率降低。 相似文献
19.
20.
微波ECR—CVD低温SiNx薄膜的氢含量分析 总被引:1,自引:0,他引:1
利用红外光谱技术研究了微波电子回旋共振(ECR)等离子体化学气相沉积(CVD)法在低温条件下制备的SiN。膜的键的结构和氢含量,分析了微波 功率和后处理条件对膜含量的影响及其成因,提出适当提高微波功率是降低微波ECR-CVD低温SiNx膜中氢含量的可能途径。 相似文献