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针对微惯性器件中平面S型等线宽弹簧的弹性系数理论计算公式尚未完善,利用力学能量法,推导出了弹性系数理论公式。在平面S型等线宽弹簧基础上,提出了S型渐变线宽弹簧并推导出了弹性系数理论计算公式。利用ANSYS仿真软件验证公式的正确性。分析得到在集中力作用下,弹性系数相对误差小于3%;在惯性力作用下,其平均相对误差小于5%。分析表明,S型渐变线宽弹簧具有变形量与应力分布均匀、抗高过载的特性。研究结果为微惯性器件的优化设计提供了一定的理论参考。 相似文献
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悬臂梁的物理性能参数尤其是弹性系数对MEMS中微器件的性能有着重要的影响.根据材料的弹性小变形原理,分析了不同加载方式对悬臂梁弹性系数的影响.结果表明:悬臂梁在不同加载方式下,具有不同的弹性系数.其中,当其承受端部、中部集中栽荷时,分别获得最小、最大弹性系数值.为满足不同应用要求,设计合理的加载方式提供了参考. 相似文献
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设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS( micro-electro-mechanical system)惯性开关,应用ANSYS10.0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析,得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线,并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数( klevel和kvertic)的影响规律.文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径,具有工程实际应用价值,特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据. 相似文献
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MEMS用平面弹簧结构形状与刚度关系的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
平面微型弹簧是微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中一种常用的弹性元件.在平面微型弹簧的设计与应用中,弹簧的刚度系数是其一个非常重要的参数.弹簧的刚度系数是由弹簧的形状、结构、尺寸和弹簧的材料确定的.利用材料力学的能量法,研究平面微型弹簧基本结构、形状和其刚度系数的关系,为设计平面微型弹簧提供理论指导. 相似文献
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