化学气相淀积反应器中成核与成膜控制

基于气溶胶动力学和化学反应动力学,建立了化学气相淀积(CVD)反应器中普适动力学方程,导出了CVD反应器中超细颗粒粒径分布谱函数和薄膜淀积速率的计算方法;研究了操作参数对钛酸丁酯高温裂解过程中成核与成膜的影响.用成核与成膜竞争判据——H准数,研究了CVD反应器中成核与成膜的控制策略.     

有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅰ)——冷壁反应器模型及有限元解

建立了冷壁化学气相淀积反应器的数学模型,用Galerkin有限元方法对模型予以求解.计算中考虑了温度对物性参数的影响及自然对流因素,计算值和实验结果基本上一致.     

在线化学气相淀积法镀硅膜玻璃的理论研究

本文论述了多晶薄膜在玻璃基片上淀积的原理及主要影响因素，阐明了膜膜淀积的总速率是由玻璃基片的表面反应速率和反应剂分子扩散到玻璃表面的扩散速率决定的。硅烷浓度，玻璃板运动速率等因素也是重要影响参考。     

有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅱ)——热壁反应器模型及反应器中流动及传递过程的分析

分析了热壁化学气相淀积反应器在流型、温度和浓度分布以及淀积速率等方面与冷壁反应器的异同,探讨了流动特性、传递过程和反应器几何尺寸对淀积过程的影响,为淀积不同薄膜时反应器的选型及设计提供了方法和依据.     

有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅰ)——冷壁反应器模型及有限元解

建立了冷壁化学气相淀积反应器的数学模型,用Galerkin有限元方法对模型予以求解.计算中考虑了温度对物性参数的影响及自然对流因素,计算值和实验结果基本上一致.     

有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅱ)——热壁反应器模型及反应器中流动及传递过程的分析

分析了热壁化学气相淀积反应器在流型、温度和浓度分布以及淀积速率等方面与冷壁反应器的异同,探讨了流动特性、传递过程和反应器几何尺寸对淀积过程的影响,为淀积不同薄膜时反应器的选型及设计提供了方法和依据.     

粉煤灰及其复肥对土壤物理性质和重金属淀积的影响

为了探讨粉煤灰及其复合肥对不同类型土壤物理性的影响 ,研究其施用后对土壤、农作物产品是否会造成污染等问题 ,我们在田间肥效试验的同时 ,作了粉煤灰及其复合肥施用后土壤容重、土壤含水量等项目的测定和土壤、籽粒采集、化验工作 ,本文介绍试验结果。1　材料与方法试验处理为 :( 1)空白 (对照ＣＫ) ( 2 )普通复肥 5 0ｋｇ/亩 ( 3 )粉煤灰复肥 5 0ｋｇ/亩 ( 4)普通复肥 5 0ｋｇ 粉煤灰 10 0ｋｇ/亩。土壤容重、含水量测定安排在供试作物生长发育过程中进行 ,土壤重金属测定样是在供试作物收获后一周内按五点取样法取混合土样备用 ,籽粒…     

低压化学蒸气淀积(LPCVD)反应器的模拟和分析

本文利用低压化学蒸气淀积(LPCVD)反应器中衬底间隙内的扩散-反应过程和环形通道内的质量、热量传递过程的数学模型对片内和片间均匀性问题进行了分析。结果表明:片内均匀性h和片内效率因子n均可用体积变化准数和扩散准数的函数表示。合理设置管外加热装置,可改善片间均匀性或提高反应气流的转化率。这些结果可用于指导低压化学蒸气淀积反应器的设计和操作参数的选择 ,