基于显微图像处理的MEMS运动测量方法

为实现对MEMS的高精度运动测量,采用了基于显微图像处理的运动测量方法.在该方法中,针对特定的MEMS器件,首先将其放置在显微镜下摄取其可动部位的运动录像,由运动录像获取显微图像序列;然后针对MEMS自身结构的特点,设计有效的显微图像处理方法提取其运动位移,由位移最终获取MEMS器件的运动轨迹.基于上述方法,以微加速度计为例,根据其结构和运动特点,提出一种具有亚像素级精度的像素平移法提取其运动位移,将稳态位移的检测结果与理论值对比,得到检测结果为理论值的90.21%.检测结果与理论值良好的一致性,初步验证了方法的有效性.     

基于模糊图像合成技术的MEMS平面微运动测试技术

随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求，捡测技术在其中的重要性越来越大．基于机器微视觉的MEMS动态测试系统．利用模糊图像合成技术对MEMS的平面微运动特性参数进行提取和分析．利用图像处理方法对MEMS谐振器做扫频和扫压测量，获得了MEMS器件的平面微运动特性，并对测量结果进行了分析和讨论．由实验结果可以看出，这种方法有较高的测量精度，测量重复性误差为100nm．     

利用二次曲线拟合的CCD图像亚像素提取算法

在图像测量系统中，测量系统的精度与边缘提取的精度成正比关系，普通算法的精度为像素级，现在最常用的亚像素算法是重心法。本文提出了一种利用二次曲线拟合方法的亚像素边缘提取算法，介绍了算法的推导过程，并给出了实验结果。     

一种用于零件定位系统的亚像素边缘检测方法

本文简要介绍了基于计算机视觉的长条形杆件测量系统方案，并说明在该系统中零件图像边缘提取对测量精度起着至关重要的作用。本文结合工程实际在传统亚像素边缘检测方法基础上，提出垂直占空比亚像素边缘提取方法。该算法具有算法简单、效率高、边缘提取准确的特点，已成功用于长条形杆件测量系统中。     

基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量

动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义．提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用于MEMS平面运动测量．该综合算法把标准化协方差相关法、亚像素步长相关法、曲面拟合法、序惯相似性检测算法和单纯形法有机结合,综合运用各算法的优点,达到了提高亚像素定位速度和精度的目的．通过位移测量实验和对硅微陀螺仪质量块面内振动及谐振频率的测量,验证了该综合算法的可行性和有效性．     

一种小模数齿轮边缘检测效果评价方法

利用机器视觉评定小模数齿轮精度时,在齿轮整体图像中提取的边缘特征信息不能直接描述图像中的单独目标,需要后续识别算法去适应局部的多变特征.为此提出一种基于特征图像的边缘检测效果评价方法来获取丰富的局部图像信息,用于评定小模数渐开线齿轮视觉测量系统中轮廓提取的精度.首先根据齿轮图像中渐开线齿廓边缘的函数特性建立特征图像模型;然后使用基于Zernike矩的亚像素边缘检测算法获取小模数渐开线齿轮特征图像的边缘;最后结合构建特征图像的标准函数,量化特征图像的边缘检测结果与标准函数间的偏差,用以评价边缘检测的效果.实验表明,运用小模数齿轮的特征图像评价基于Zernike矩的亚像素边缘检测算法,渐开线齿廓的检测精度优于0.58pixel.     

光伏电池边缘检测算法研究

为了满足晶硅光伏电池视觉印刷高精度边缘定位要求,本文提出了一种改进的亚像素边缘定位算法.该算法首先应用Sobel算子和线性插值得到边缘垂直方向上新的边缘图像;最后对插值的边缘图像使用改进的灰度矩算子,得到的亚像素边缘.同时本文进行改进亚像素检测算法与传统亚像素检测算法的精度及鲁棒性对比实验.结果表明:本文算法比传统亚像素定位算法有着更好的定位精度和鲁棒性,直线检测精度能达到1μm;在高噪声污染的图像有着较高的检测精度,其标准差为0.195μm.     

基于LOG-Zernike算子的快速图像测量

图像测量技术,一个很重要的方面就是图像的边缘检测定位,而边缘定位的准确与否又直接影响到测量的精度.常用的检测算法都是像素级的,对测量要求较高的场合无法满足要求.定位速度一直是边缘检测算法的一大瓶颈,本文正是在保证一定精度的前提下,研究了快速图像测量算法,即运用LOG算子先对工件进行快速边缘定位,在此基础上采用zernjke矩法将精度提高到亚像素级.为了得到实际的测量尺寸,应用块规进行了系统标定并进行了一系列测量实验,实验结果表明该方法定位精度接近于Zernike矩法,且算法的运行对间大约在1.5s左右.     

基于亚像素边缘的摄像机标定板特征提取算法

目的在视觉测量领域,摄像机的标定精度是最终测量精确度的决定性因素,为了提高标定板特征的提取精度,提出一种基于亚像素边缘的提取方法。方法针对圆点标定板,首先采集标定板图像,对图像进行处理,获取像素级别边缘,然后以边缘像素点为中心,取3×3的数字窗口计算梯度方向,在梯度方向上进行像素点灰度的双曲正切拟合,获取亚像素级别边缘,最后对亚像素边缘按照圆形进行拟合,求得圆心坐标。结果实验表明算法的分辨率达到0.03个像素,精度可达0.1个像素。结论该算法具有稳定可靠,精度高,运算速度快等特点,能够应用于图像拼接和分割,特征提取和摄像机标定等领域。     

光笔式视觉坐标测量中基于曲线拟合的图像处理方法

提出了光笔式视觉坐标测量中被测特征点像面坐标的提取方法。依据数字图像处理理论并结合测量系统中被测特征点的成像特点,给出了图像预处理过程及实际处理结果;采用基于灰度质心法的径向截面扫描法对图像边缘进行亚像素级检测;应用平面内任意位置椭圆的最小二乘曲线拟合法对椭圆形光斑中心的像面坐标进行了提取,实验结果表明该方法的提取精度为0.1个像素。     

基于小波变换的图像边缘检测算法的研究

在对经典的图像边缘检测算法深入分析的基础上,进一步完善了基于小波变换的边缘检 测算法.随尺度增加,边缘和噪声的小波幅值表现出不同变化特性,从而在低信噪比的信号中检测出噪声和边缘.实验结果表明,基于小波变换的图像边缘检测算法能够比其它算法保留更多的图边缘信息,鉴别出伪边缘,其精度能够满足基于图像处理技术的各种质量检测系统的要求.     

分形与小波相结合的鲁棒性数字水印算法

为了提高图像水印算法的鲁棒性,提出了一种分形与小波相结合的鲁棒性数字水印算法。该算法按密钥把水印信息转化为自相似分形图;对宿主图像进行离散Haar小波变换,然后将分形后的二值水印图像嵌入到Haar小波低频子带。仿真实验证明,该算法对噪声J、PEG压缩、剪切、平滑滤波等图像失真处理,均具有很好的鲁棒性。     

A diffraction-based optical method for the detection of in-plane motion of lamb waves

This paper describes a laser optical technique that allows the detection of in-plane motion of Lamb waves. This interference-based laser optical technique includes a tiny square indentation with a width of about 30 micron on the sample surface and a relatively simple optical arrangement. The current technique is applied for the detection of in-plane motions of Lamb waves propagating in a 70-micron thick brass plate. Measurement of So mode dominated by in-plane motion in the low fd (frequency times thickness) regime is successfully demonstrated with the current technique. With the indentation replaced by a microreflector in a microelectromechanical (MEMS) structure, this technique is applicable for the detection of in-plane motion in MEMS structures.     

基于双伸缩因子映射的小波分形图像压缩编码方法

本文基于小波变换研究了分形图像压缩系统.根据小波系数的能量分布特性,给出了新的小波树定义与分类方法,并在小波域内建立了具有双伸缩因子的压缩映射.在将新的压缩映射应用于图像编码过程时,结合小波嵌入式零树编码思想给出了新的小波分形图像压缩方法.数值实验给出了本文方法与已有方法的比较.     

小波分析在图像处理中的应用

本文介绍小波分析在图像处理中的应用,有多尺度边缘检测、图像识别、图像分割.边缘检测包括可去除多余边缘的一般灰度图像实例,彩色肿瘤图像的边缘提取,汉字放大.图像识别中,对于汉字或字母的识别,是将二维图像信号降维后再进行小波分解,通过计算各层次的分形维数形成特征向量从而可以进行识别;仿射变换后的汉字或其它图像可用多尺度小波的仿射不变函数进行对比识别.最后介绍了两种图像分割算法,首先利用基于能量分析的方法将纹理部分和平滑部分先分开,然后再利用基于奇异性分进行细分,得到最终分割的结果.     

基于Daubechies小波的图像边缘检测技术

利用Daubechies正交小波变换的性质,通过Mallat多尺度分析方法对图像进行小波变换,把图像分解成低频轮廓,水平高频、垂直高频和斜线高频四个部分。针对图像边缘主要集中在高频部分,该文先保持小波变换后的高频小波系数,同时对低频小波系数进行再次小波变换,提取出次高频信号的边缘信息。最后对保留下来的高频小波系数和次高频小波系数进行逆变换获取最大边缘信息。     

小波变换在图象边缘提取中的应用

详细介绍了小波变换在图象边缘提取中的优越性，在参考大量文献的基础上，小结中出常用于边缘提取的小波函数及其提取的边缘的方法与效果。得出在图象边缘提取中高斯函数一阶导数是一种常用的且较有效的小波函数最后给出用高斯函数一阶导数对静态物体边缘提取的计算机模拟。     

利用频闪成像方法进行微机电系统的计量

为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动。系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源,有效冻结MEMS器件的面内和离面运动,能在从静止状态到1MHz很宽的频率范围内对MEMS器件进行表征,达到了纳米级分辨力。通过实验对一个微谐振器进行了三维运动测量,在扫频和扫幅两种工作模式下,配合强大的数据分析软件,给出器件运动的幅频和相频特性曲线,为分析器件的动态性能提供了可靠数据。     

基于边缘检测的邻域加窗图像去噪算法

针对目前图像去噪算法中,消除噪声的同时又破坏边缘细节信息的问题,本文提出了结合边缘检测及邻域加窗的新算法.该算法采取平稳小波基以保持相位不变性,对低频和高频子带进行边缘检测,并将检测后的边缘信息选择后融合,即可得到原图像近似的边缘信息.依据小波方向性特点和层内相关性原理,对不同的子带在非边缘信息处采用不同的模板进行加窗处理.实验结果表明,该方法在降低了图像噪声的同时又尽可能地保留了图像的细节,较好地复原了图像.