激光对吸附在Si(111)7×7和Si(100)2×1表面上的C60的不同作用

本文利用超高真空扫描隧道显微镜(UHV STM),在室温下研究沉积了约0.005ML的C60分子的Si(111)7×7和Si(100)2 × 1再构表面在波长为266nm的激光束轰击前后的表面形貌的变化.结果表明,在266nm的激光作用下,Si(111)7×7表面上的C60分子保持完好,表面缺陷明显增加,但并没有完全破坏7×7再构形貌;而Si(100)2×1表面上的C60分子却被打碎,样品表面变得杂乱无章.     

一种采用BiCMOS工艺的SiGe HBT基区生长方法

为抑制SiGeHBT基区生长过程中岛状物生成,降低位错密度,基于渐变温度控制方法和图形外延技术,结合BiCMOS工艺,研发了在Si衬底上制备高质量Si1-xGex基区的外延生长方法。通过原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线双晶衍射(XRD)测试,显示所生长的Si1,Gex基区表面粗糙度为0.45nm,穿透位错密度是0.3×103～1.2×103cm-2。,在窗口边界与基区表面未发现位错堆积与岛状物。结果表明,该方法适宜生长高质量的SiGeHBT基区,可望应用于SiGeBiCMOS工艺中HBT的制备。     

生长于Si(111)上的氮化硅薄膜表面结构

利用扫描隧道显微镜 ( STM)等分析手段 ,我们对 Si( 1 1 1 )在 NH3气氛下氮化后的表面结构进行了研究 .Si( 1 1 1 )在 1 0 75K暴露于 NH3后 ,表现所形成的氮化硅存在周期为 1 .0 2 nm的(“8/3× 8/3”)再构 ,当温度提高到 1 1 2 5K以上时 ,表面出现周期为 3.0 7nm的超结构 .这两种表面超结构都可以形成“8× 8”低能电子衍射花样 .系统的研究证明 3.0 7nm超结构是在 Si( 1 1 1 )表面形成晶态 β- Si3N4 薄膜 ( 0 0 0 1 )表面的 4× 4再构 ,而 1 .0 2 nm周期是 Si( 1 1 1 )表面未获得有效氮化的一种结构     

Si(113)表面的原子结构

利用LEED研究了Si(113)表面的原子结构.清洁表面是采用离子轰击和退火方法制备的.实验发现:当温度高于600℃时表面为1×1结构,随着温度缓慢下降,表面原子结构发生1×1(?)3×1(?)3×2的可逆相变.     

用脉冲激光把稀土元素Yb引入硅单晶中

用Q开关Nd:YAG脉冲激光辐照淀积在Si上的稀土元素Yb,当输出能量密度≥6.0J/cm~2时,成功地把Yb引入Si中.用二次离子质谱(SIMS)分析指出进入Si中Yb的表面浓度为3 ×10~(11)/cm~3,在离表面 0.75μm处,浓度仍有 7 ×10~(19)/cm~3.     

THE STUDY OF Si(100)AND(111)SURFACES AND Ni MOLECULAR BEAM EPITAXY ON THEM BY RHEED

Clean Si(100)and(111)surfaces produced by the Ar~+ ion bombardment and high temperatureanealing techniques,and the epitaxial growth of Ni on them at room temperatue using molecular beammethod are studied by reflection high energy electron diffraction(RHEED).On the basis of experimentresults,Si(111)7×7 and its negative zone RHEED pattern,Si(100)2×1,Si(111)19~(1/2)×19~(1/2)Ni and Si(100)4×2Ni structures have been obtained,and the lattice structure of nickel silicides produced by epitaxy withlow growth rate(0.15-0.5per min)is the same as that of silicon substrate.     

ZnO纳米棒与Si(111)和Si(100)衬底的外延关系(英文)

运用热蒸发技术在Si(111)和Si(100)基片上制备了ZnO纳米棒。SEM表征显示,ZnO纳米棒的直径约100nm,长度均匀,大约3μm;XRD表征发现ZnO纳米棒沿[0001]晶向择优生长。通过实验结果与理论分析得出:对于Si(111)基片上的样品,大部分ZnO纳米棒沿6个对称方向生长,而且与基片之间的夹角为54.7°,ZnO与Si(111)的外延关系为[0001]ZnO‖[114]Si,[0001]ZnO‖[4]Si,[0001]ZnO‖[141]Si,[0001]ZnO‖[4]Si,[0001]ZnO‖[411]Si,或[0001]ZnO‖[4]Si。对于Si(100)基片上的样品,大部分ZnO纳米棒沿4个对称方向生长,与基片之间的夹角为70.5°,其外延关系为[0001]ZnO‖[114]Si,[0001]ZnO‖[4]Si,[0001]ZnO‖[14]Si,或[0001]ZnO‖[14]Si。通过比较分析得出Si基片可以控制ZnO纳米棒的生长方向。     

Si(111)-(3~(1/2)×3~(1/2))R30°-Ga表面原子结构

利用自动张量低能电子衍射 (ATL EED)定量地研究 Si(111) - (3× 3) R30°- Ga重构表面的原子结构 .证实了 Ga原子吸附在 T4位即第二层 Si原子所对的空位上 ,同时给出了表面最顶层 7个原子层的详细坐标 .可靠性因子 RVHT=0 .143表明理论计算和实验符合得非常好 .     

《应用激光》2002年(第22卷)总目次

·激光加工与工业应用·激光诱导放电打孔实验研究 1　 2…………………约束层的厚度和柔性对激光冲击强化效果　的影响 1　 7………………………………………脉冲YAG激光诱导化学沉积金属Ag和Au　 1　 1 5激光快速熔疑 40Cr钢表面硬度与残余应力　研究 1　 1 9…………………………………………Al3 1 9激光表面合金化 2　 73…………………………镁合金成品件的激光多层涂敷 2　 76………………激光熔敷Cr2Ni3Si/Cr3Si金属硅化物复合　材料涂层耐磨性研究 2　 80………………………TiAl金属间化合物合金碳元素脉冲激光表面　合金化及…     

Si中注Pb的红外瞬态退火

用背散射-沟道效应研究了Si中注Pb并进行红外瞬态退火的辐照损伤及杂质分布.注入能量为350KeV,剂量为1×10~(17)及5×10~(15)/cm~2.实验表明高杂质浓度区中的杂质沉淀和晶格应力能抑制晶体的外延生长.当外延生长停止后,表面形成多晶结构,杂质沿晶粒边界向表面扩散.