在先进移动设备上应用MEMS传感器

MEMS传感器包括加速度计、陀螺仪、磁力计、压力传感器和麦克风,因其具有低成本、小尺寸、低功耗、高性能等特性,近几年来被大量集成到便携设备中。     

MEMS传感器现状及应用

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。     

MEMS传感器的真空密封技术

文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法，提出了一种真空密封方法的设想。     

电容式MEMS压力传感器的优化设计

由于MEMS压力传感器的制作过程中存在着许多不可控因素,例如,制备环境、工艺误差、设备误差等,因此,整个MEMS压力传感器的稳健优化设计是极其重要的。本文对电容式MEMS压力传感器进行优化设计,以期为后续研究开发电容式MEMS压力传感器奠定必要的基础依据。     

室内导航带来智能手机新商机,MEMS传感器加速系统融合

在智能手机性能配置全面提升的基础上,MEMS传感器进一步拓展出增强实境、定位服务、行人航位推算系统等先进功能。这些新的功能反过来又加速了MEMS传感器的系统融合趋势。双核/四核处理器、多任务处理操作系统、高灵敏度GPS接收器、3G/4G无线通信、高像素摄像     

MEMS运动传感器继续

运动感应器件实际上并不是什么新事物。自从上世纪五十年代开始,运动感应器件已在宇航和军用领域广泛用于导航应用。MEMS版本的加速度计和陀螺仪则是最近开发的新产品,可以极大地降低器件的成本和尺寸。与军用的高精度器件不同,MEMS型的加速度计和陀螺仪主要用于车载和很多消费类电子产品。或者更具体地说,从上世纪九十年代开始,MEMS加速度计已被作为碰撞传感器广泛用于轻型车的安全气囊。从该应用之后,很多产品都开始采用运动传感器件。最新同时也是最引人注目的例子是任天堂的Wii游戏控制器以及苹果公司的iPhone及iPod都采用了MEMS运动传感器。     

MEMS压力传感器及其应用

简述MEMs压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。     

压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的。     

压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性.使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的.     

MEMS传感器在汽车电子中的应用

阐述了MEMS(微机电系统)的技术与市场特征,从加速度传感器、陀螺仪和压力传感器等多个方面,分析了MEMS传感器在汽车安全与舒适驾驶中的应用。     

多传感器车载GPS组合导航仪数据采集模块

对多传感器智能组合导航仪的数据采集模块进行了设计，利用51单片机作为核心部件构架整个模块。给出了系统框图、原理图设计。介绍了GPS数据格式以及陀螺仪信号形式、速度传感器信号特点，利用数据通信原理的知识将3个数据信号有机地融合，从而创造性地定义了传输数据的格式，并采用了特别设计的传送方式。采用51汇编语言进行了软件的程序编制，并在单片机仿真环境下调试通过，已在硬件环境下试运行。整个系统运行正常，达到设计要求。     

用于MEMS传感器的三阶∑-△调制器设计

提出一种基于CIFB结构的新型三阶2-1级联∑-△调制器,设计了各级参数和数字校正电路,分析了积分器运算放大器的压摆率对信号带宽的影响;利用Matlab Simulink,对该调制器进行行为级仿真.在过采样率为128、输入信号带宽为50 kHz时,可达到93.8 dB的信噪比和15.30住的精度.该结构具有输入信号低失真的优点,可用于MEMS传感器的数据处理电路.     

MEMS智能传感器技术的新进展

CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段。综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智能传感器,展现了MEMS智能传感器的应用需求、技术特点、传感器新材料和新结构、电子学新架构、设计拓扑、关键技术突破和测试结果。同时也对MEMS智能传感器的工艺和封装技术的最新进展进行了陈述。从设计、工艺和封装等方面分析了当前MEMS智能传感器总的发展趋势,并提取了主要技术创新亮点。     

微型多传感器MEMS模块

LSM330模块整合一个3轴数字陀螺仪、一个3轴数字加速度计和两个嵌入式有限状态机（finite State machine）,达两个可编程电路可在模块内部实现自定义运动识别功能。可编程状态机可让模块识别特定的运动或手势,并启动相关的操作或应用。     

MEMS传感器弥补GPS的不足

精密导航功能通常易与汽车、飞机、船舶联系在。一起,但事实上,在工业和医疗领域,导航功能同样得到广泛应用,从工厂机械和手术机器人到应急响应跟踪。     

加速创新步伐的MEMS传感器

近年来,传感器市场持续保持增长,其增速超过15％.特别是MEMS传感器依靠独特的技术优势,逐渐成为改变电子产品设计理念的幕后推手.     

新型集成压力与温度MEMS传感器

本文提出一种MEMS传感器,单片集成温度和气压的检测单元。该传感器采用SOI硅片的上层硅作为压阻薄膜,因此各管芯的薄膜厚度有良好的一致性。传统的背面体硅腐蚀方法未被采用,因为碱性溶液腐蚀体硅会在<111>面自停止,形成57.4°的斜坡,从而增大管芯面积,取而代之的是ICP深硅刻蚀。片上集成两个PN结,结区面积呈比例,可以实现温度检测功能。测试表明在-40-100℃之间都有良好的线性度,PN结的离子注入工艺与压阻注入工艺完全兼容,减少了工艺成本。     

用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器

根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器加压测试。用双波长方法解调干涉信号,用阵列波导光栅(AWG)复用传感器,从而实现对口腔义齿下方组织压力的分布式测量。测量结果表明,当义齿加载0～0.6MPa压力时,系统的相对反射率比值/压力可达0.020 1/MPa,测量结果具有良好的线性度,测量系统的复用能力强,且复用传感器之间没有串扰,适用于义齿对口腔下方组织压力的分布式测量。