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利用商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线,配合无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,制造了一种热电堆型真空传感器,器件敏感部分尺寸为124um×100μm,由5层薄膜组成,最大厚度为3.2μm.采用一种简化方式对传感器建立有限元模型.新模型一方面忽略了气体对流和热辐射的传热作用,另一方面将各层介质和热电堆结构层分别进行了合并.模型具有简单的断面结构,网格划分容易,收敛速度快.运用ANSYS软件对模型进行了电一热、热一电耦合场分析,直接得到了1.5v加热电压驱动时不同压强下的热电堆输出电压,并与0.1~200Pa之间的测试结果进行比较,结果表明,采用简化建模方式的计算结果与测试结果之间的偏差小于6%. 相似文献
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为研究异型坯连铸结晶器内铸坯凝固和变形过程,采用ABAQUS软件建立了异型坯连铸结晶器和铸坯的二维瞬态热力耦合有限元模型,编制ABAQUS用户自定义子程序GAPCON实现结晶器内壁和铸坯之间的传热模拟.计算模型中考虑了铸坯的凝固和热变形、气隙对传热的影响以及铸坯与结晶器之间的接触应力.分别对2种不同水缝设计结晶器进行了数值模拟,数值分析结果表明,小孔水缝设计的结晶器温度峰值较低、热面温度分布更均匀,因而比大孔水缝设计结晶器具有更长的使用寿命和更优的铸坯质量,这一结论与现场试验结果一致. 相似文献
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李琼磊 《中国新技术新产品》2013,(2):135-136
隔膜泵动力端十字头在运动过程中,由于摩擦效应,滑板与导板之间会产生热量。为了得到滑板与导板之间的局部温升及应力分布情况,应用有限元软件ADINA的热力耦合算法对其运动进行分析,得到了滑板与导板接触面上的温度、应力分布云图及最高温度随时间变化曲线,为研究十字头滑板、导板材料表面损伤机制提供了依据,同时为隔膜泵中冷却润滑液用量的确定提供了依据。 相似文献
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Fe-Ti-C系燃烧合成反应的热力学分析 总被引:5,自引:0,他引:5
利用相图计算技术(CALPHAD)对Fe-Ti-C燃烧合成反应体系进行热力学分析,着重研究Fe含量和C/Ti原子比对体系绝热燃烧温度Tad和平衡相组成的影响.研究结果表明,Fe含量对 Fe-Ti-C三元系的平衡相组成影响不大,但对绝热燃烧温度的影响非常大.当保持C/Ti原子比接近1.0时,不管Fe含量如何变化;在298K下均会得到理想的平衡相组织TiC+Fe 随Fe含量增加,体系的绝热燃烧温度大致呈线性降低.Fe-Ti-C体系发生SHS反应的热力学条件之一(Tad>1800K)是Fe<55wt%.而 C/Ti原子比对绝热燃烧温度的影响比较小,但对平衡相组成影响非常大,主要表现在两个方面:①石墨相的析出温度不同.随C/Ti原子比降低,析出温度也随之降低.②在各温区石墨相的含量不同.当 C/Ti在1.0~1.4变化时,石墨相含量在低温区由1%提高到16%. 相似文献
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目的研究凹版印刷机热风干燥系统热能流向与品质,为烘干系统的设计与优化提供理论依据,提高干燥热效率,促进国内凹印机能量审计进一步发展。方法对凹印机烘干系统进行热力学分析,进行能耗计量。结果经计算,凹印机烘干系统的热效率只有9.21%,而62.29%高热量气体被直接排出系统,没有得到有效的利用。干燥介质在经过烘箱时,产生的不可逆损失为86.96%,而加热纸张的不可逆损失占到整个烘箱不可逆损失的24.21%。结论回收利用系统废气热量是提高凹印机烘干系统热效率最有效的途径;此外,降低热风与纸张的换热过程产生的不可逆能量损失也会直接提高凹印机烘干系统热能的品质。 相似文献
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ZnSe单晶CVT法生长与系统优化 总被引:1,自引:0,他引:1
采用热力学数值计算的方法, 分析了ZnSe-I2、H2、HCl和NH4Cl化学气相输运系统的特性. 对比计算结果表明, ZnSe-NH4Cl系统具有压力高、输运反应焓变适中的特点. NH3分解产生的H2起着调节输运组分H2Se分压的作用. 以ZnSe-I2输运系统中实际输运组分分压值为参考, 确定了ZnSe-NH4Cl系统中单晶生长工艺参数范围: 温度在1000℃左右, NH4Cl的浓度范围在0.5~1.0mg/mL之内. 采用该工艺生长了尺寸约为8mm×6mm×4mm的ZnSe单晶, 生长态(111)面摇摆曲线半峰宽为60.48’’, 蚀坑密度(EPD)为(4.5~5.0)×104/cm2. 相似文献
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M.D. Atrey 《低温学》1998,38(12):1199-1206
The present paper gives a thermodynamic analysis of the Collins helium liquefaction cycle with two reciprocating expanders. The results of the analysis make it clear that, for a given efficiency of expanders and effectiveness of heat exchangers, there exists an optimum mass flow fraction of total helium gas mass flow rate that should be diverted through the expanders for which liquid yield is maximum and net power input is minimum. The analysis quantitatively studies the effect of expander efficiency and heat exchanger effectiveness on the performance of the liquefier. It gives final steady state temperature distribution across the cycle, which is essential data for carrying out the preliminary design of various components in the cycle. 相似文献
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何婧 《制冷空调与电力机械》2009,30(4):22-24,21
根据独立新风系统的运行特性,对其各环节设备的运行情况和空气处理状态进行了热力学分析,提出了不同室外新风状态时系统节能运行的控制方式。 相似文献
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王成生 《制冷空调与电力机械》2005,26(2):50-52
制冷工质热物性的计算是数值模拟技术非常重要的一个环节,开展这一工作的研究且有重要的价值。本文在结合Martin-Hou方程的基础上提出了制冷工质热力性质的一种快速算法,经实例验证,该算法具有精度高、适应范围广、稳定性好等特点,可供制冷工质热物性算法设计的初学者作参考。 相似文献