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1.
本文报导了利用射频溅射技术成功地获得具有一维周期结构的a-Si/Mo多层膜。分析讨论了可控厚度多层膜的生长条件;利用X-ray衍射、SIMS、SEM、Raman等分析手段,对多层膜进行了结构分析;同时还研究了膜的热学性能,结果表明这种多层膜有很好的热稳定性。 相似文献
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在Si(100)衬底上用离子束溅射方法淀积Ni,Co,Ti薄膜,形成Co/Ni/Si,Ni/Co/Si和Co/Ni/Si等结构,通过氮气中快速热退火反应生成三元硅化物(CoxNil-x)Si2。用AES,XRD,RBS沟道谱,SEM及四探针等方法对(CoxNil-x)Si2薄膜的物理特性和电学特性进行了测试,在Si衬底上Co,Ni多层膜经快速热退火可形成高电导的(CoxNil-x)Si2薄膜,其电阻率在15~20μΩ·cm之间。Co/Ni/Ti/Si(100)多层结构固相反应可以得到外延(CoxNil-x)Si2薄膜。(CoxNil-x)Si2的晶格为CaF2立方结构,晶格常数介于CoSi2和NiSi2之间。通过热处理和选择腐蚀等工艺,可在有CMOS图形的衬底上形成自对准的三元硅化物源漏接触和栅极互连图形。 相似文献
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采用PECVD技术在P型硅衬底上制备了a-SiOx:H/a-SiOy:H多层薄膜,利用AES和TEM技术研究了这种薄膜微结构的退火行为,结果表明:a-SiOxL:H/a-SiOy:H多层薄膜经退火处理形成nc-Si/SiO2多层量子点复合膜,膜层具有清晰完整的结构界面,纳米硅嵌埋颗粒呈多晶结构,颗粒大小随退火温度升高而增大小随退火温度升高而增大,在一定的实验条件下,样品在650℃下退火可形成尺寸大 相似文献
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在Si(100)衬底上用离子束溅射方法淀积Ni,Co,Ti薄膜,形成Co/Ni/Si,Ni/Co/Si和Co/Ni/Si等结构,通过氮气中快速热退火反应生成三元硅化物(CoxNi1-x)Si2。用AES,XRD,RBS沟道谱,SEM及四探针等方法(CoxNi1-x)Si2薄膜的物理特性和电学特性进行了测试,在Si衬底上Co,Ni多层膜经快速热退火可形成高电导的(CoxNi1-x)Si2薄膜,其电阻 相似文献
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毛友德 《微电子学与计算机》1993,10(11):47-48,F003
利用直流辉光放电分解碳氢气体来淀积a-C:H膜,通过测量Al/a-C:H/SiMIS结构的高频C-V曲线讨论了a-C:H/Si界面的电子特性,结果表明a-C:H/Si膜有可能用作半导体器件的表面钝化膜。 相似文献
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实验研究了自对准结构的a-Si:H TFT的制备工艺,对其中关键的底部曝光和顶胶工艺进行了详细的研究和分析,对制备工艺和结构参数进行了合理的优化,成功地制备出自对准结构的a-Si:H TFT。对影响自对准结构a-Si:H TFT特性的主要因素进行了详细的分析,提出了一种新颖的双有源层结构的a-Si:H TFT,可以有效地改善a-Si:H TFT的开态特性,其通断电流比ION/IOFF〉10^5。 相似文献
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激光表面熔覆SiCp/Ni-Cr-B-Si-C涂层的组织演化及其相确定 总被引:3,自引:0,他引:3
运用激光熔覆技术在AISI1045钢表面制备了30vol-%SiCp/Ni-Cr-B-Si-C涂层。SEM和TEM观察分析表明:SiCp在熔覆过程中完全溶解;涂层结合区组织为共晶结构;涂层组织由初生石墨球G,分布在γ-Ni固溶体枝晶中的M23(C,B)6细小网状树枝晶以及少量Ni+Ni3(B,Si)层片状共晶组成;Si在Ni固溶体中的固溶度显著增大,高达14.41wt-%;M23(C,B)6含有高密度堆垛层错;Ni3(B,Si)相具有长周期结构。 相似文献
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a—Si:H TFT有源矩阵制造技术的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
对a:Si:H TFT有源矩阵的一些关键制造工艺进行研究。研究了Ta2O5/a-SiNx双绝缘层的制备技术,提出了一种新的双有源层结构a-Si:H TFT来降低背光源对器件特性的影响,研制的a-Si:H TFT有源矩阵实现了彩色视频信号的动态显示。 相似文献
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Si/Ag/Si和Si/Au/Si薄膜分形晶化的TEM和EDS研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文利用透射电镜(TEM)和X射线能谱(EDS)对a-Si:H/Ag/a-Si:H和a-Si:H/Au/a-Si:H薄膜的分形晶化行为进行了研究。结果表明薄膜的分形晶化强烈依赖于退火条件,分形的形成可用随机逐次触发形核和生长(RSNG)来加以解释。尽管膜内存在明显的互扩散,Si分形区厚度与均匀基体区厚度相近。但在a-Si:H/Ag/a:Si:H膜中存在部分较大的Ag晶粒凸出膜面。 相似文献
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nc—Si:H/c—Si量子点二极管中的共振隧穿特性分析 总被引:3,自引:2,他引:1
采用常规PECVD工艺,在N型单晶硅(c-Si)衬底上沉积薄层纳米Si(nc-Si)膜,并进而制备了ns-Si:H/c-Si量子点二极管。在10 ̄100K温度范围内实验研究了该结构的σ-V和I-V特性。结果指出,当反身偏压为-7 ̄-9V时,无论在σ-V还是在I-V特性曲线上都观测到了近乎等间距的量子化台阶,此起因于在nc-Si:H膜中具有无序排布且粒长大小不一的Si微晶粒子,由于微晶粒子中能级的量 相似文献
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本文提出了以各子电池的载波子输运方程为基础、用串联等效的方法模拟多结电池的J-V特性,并用该方法模拟分析了P/I界面态。P/I缓冲层带隙梯度对Glass/TCO/a-Si/a-Si/Al双结电池光电特性的影响,各子电池本征层为常数带隙的Glass/TCO/a-Si/a-SiGe/Al三结电池的光电特性及其所存在的优势。 相似文献
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用离子束辅助淀积多层薄膜技术合成Co—Si化合物薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文通过离子束辅助淀积与真空淀积多层膜技术相结合,淀积合成Co-Si薄膜,RBS和XRD分析表明:在无离子束轰击条件下利用电子束蒸镀Co/Si多层膜,得到的是由a-Co与非晶Si组成的薄膜,薄膜与Si(111)基底及多层膜各层之间没有明显的相互扩散,而用复合方法镀制的薄膜与Si基底以及各层之间都产生了混合和扩散,并已有Co2Si,CoSi相生成,750℃退火30分钟后,无轰击样品只在硅基底与薄膜界 相似文献
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田敬民 《固体电子学研究与进展》1996,16(3):284-288
采用静电喷雾高温分解工艺制备SnO2气敏膜,并与Si3N4-SiO2集成多层介质膜,用催化金属Pt作栅电极,制成新型的MSIS结构气敏电容。通过检测平带电压的变化,研究对H2和O2的气敏特性,分析其气敏机理并提出了检测的物理模型. 相似文献
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采用Ge/Ni/TiWN/Au多层金属化结构与n-GaAs的固-固相反应来获得理想的欧姆接触性能。经600℃热处理或获得7.3×10^-^7Ω.cm的最小接触电阻率,俄歇能谱分析表明TiWN与Au之间,以及它们与GaAs界面之间的互扩散较小,具有良好的热稳定性。 相似文献
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本文介绍了用于测量a-Si:H隙态密度的空间电荷限制电流(SCLC)法,并报道了采用此方法对PECVD方法制备的a—Si:H材料隙态密度的测量结果。对n+a—Si:H/a—Si1H/n+a—Si:H结构的样品,测量得到费米能级上0.16eV间的欧态密度分布为1015~1018(cm-3eV-1)。 相似文献