软X射线多层膜元件研究进展

对各国进行的软Ｘ射线多层膜研究所取得的最新成果给出了比较系统全面的评述，首次给出了文献报道的软Ｘ射线全波段的各种膜系实测正入射反射率的统计结果。     

软X射线多层膜光栅

详细介绍了软X射线多层膜光栅的国内外发展概况和广阔的应用领域，全面分析了它的制作工艺，并指出制作多层膜光栅的关键技术及解决方案。     

小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构

通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10％。     

软X射线波段的光学薄膜

由于正入射X光光学发展的迫切需要及超精细拋光与超薄多层膜制备技术的成就,适用于软X射线波段的光学薄膜已获得飞速发展并趋于成熟、走向市场。这一波段的光学薄膜具有十分重要面广阔的应用前景,它已成为整个光学薄膜领域中一个令人瞩目的新分支。本文介绍了这些光学薄膜的成膜与监控工艺及对其特性的测试技术,并对我国在这方面的工作进展作一个概要的回顾与展望。     

软X射线高反射率多层膜反射镜

日本松下技术研究所用准分子激光CVD工艺技术实现软X射线聚光用高反射率多层膜反射镜,这种反射镜是在硅基板上由钨(W)和硅(Si)交互沉积的多层膜(W/Si)构成椭圆柱面反射镜(尺寸:55×55mm~2,短半径60mm),(图1).多层膜的各层,在基板纵剖面内的膜厚是不同的.该椭圆形反射镜能把点光源发出的软X射线聚成光束.所发出的两条光线能聚焦成一点.     

X射线多层反射膜

评述X射线多层反射膜原理、现状和问题。讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜。     

用多层X射线光学建立软X射线辐射的单色偏振束

髟多层反射光学建立了准单色偏振软Ｘ射线辐射的脉冲周期激光等郭体源，进行了多层反射镜反射系 和偏振特性的计算。实验结果与计算和会。     

正入射软X射线显微成像研究

正入射软Ｘ射线显微成像研究陈星旦曹健林王占山缪同群翁志成（中国科学院长春光学精密机械研究所，长春１３００２２）项目批准号：６９０８８００８在国内率先研究了正入射Ｘ射线显微成像技术，并获得了优于１μｍ分辨率的正入射Ｘ射线显微成像系统，达到国际同等水平。...     

C/Al软X射线多层膜反射镜

在λ=285nm波长处,选择了一种新的多层膜材料对C／Al。与Mo／Si,C／Si软X射线多层膜相比,正入射C／Al多层膜在150nm附近有很低的二级衍射峰。用磁控溅射法制备了C／Al软X射线多层膜样品,并用X射线小角衍射法对其结构进行了测试。     

常用间隔层材料软X射线多层膜的设计

为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软X射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了软X射线波段内的具有高反射率的膜系。结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在12.44nm是首选膜系外(除4.36nm外),其它波长都有较高的反射率;U作为吸收层材料,在相当大的波段范围内,与其它间隔层材料配对的多层膜也具有较高的反射率。这对多层膜膜系的材料选择有一定的指导意义。     

软X射线多缝干涉实验研究

采用菲涅耳波带板作为色散元件，小孔压缩线宽的方法，在合肥国家同步辐射实验室在水窗波段完成了一个多缝干涉实验，观察到清晰的干涉条纹。     

长波长软X射线多层膜的设计与制备

“长波长软X射线多层膜的设计与制备”这篇论文介绍了用离子束溅射法制备长波长软X射线多层膜的研究工作,并报道了一种新的材料组合C/Si用于28.4nm(43. 65eV)和30.4nm(40.78 eV)波段的多层膜反射镜,并且用离子束溅射装置制备了正入 射条件下的C/Si多层膜反射镜.同时,用软X射线反射计测量了样品的反射率,从实验结果看出,制备的多层膜样品在28.4nm和30.4nm波段附近的实测正入射反射率分别达到11.4%和14.3%,实验指标达到了国内领先水平,并接近了国际水平.     

不连续金属薄膜对短波长软X射线多层膜反射特性的影响

讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型，具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系，修正了文献中的评估方法，并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软Ｘ射线多层膜光学特性分析模型     

常用材料软X射线多层膜的全波段设计

利用薄膜光学理论及材料在软X射线波段的原子散射因子,设计了大批量的软X射线多层膜的计算程序,对常用材料的膜系配对进行了优化设计,给出的结果对软X 射线整个波段内的多层膜膜系的选择有一定的指导意义。     

桌面软X射线激光器

测量了用６－１５Ｊ钕玻璃激光横向泵浦的１８．２ｎｍ小型软Ｘ射线激光器的增益，在此系统中用固体材料壁代替原磁场来限制等离子体，等离子体通过绝热膨胀和中Ｚ离子的辐射来冷却。还设计了一种新的预期能获务交高稳定增益的双靶系统，在此系统中将采用一种新技术对准过程中的小增益。     

用多层膜测试结构证实软X射线显微术分辨率达20nm

用软X射线显微镜证实在2.07nm波长达到20nm空间分辨率,软X射线显微镜据菲涅耳波带片透镜和部分相干照明制成,通过溅射涂多层膜膜和透射电子显微术薄化技术形成的纳米结构测试花样提供清晰实验结果。     

软X射线多层膜反射镜界面粗糙度的一种估算方法

介绍了D.G.Sterns的散射方法,用它来描述单个非理想粗糙界面的散射,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用D.G.Sterns方法的数学模型来描述软X射线短波段区域(1～10 nm)多层膜界面粗糙度.在这个理论的框架下,对我们所研制的波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.粗糙度估算结果与小角X射线衍射的测定结果相一致.(PE13)     

X射线,软X射线和极紫外光学仪器的新概念和应用

本文回顾了目前用于极紫外、软X射线和X射线光学仪器的几项技术的研究进展情况。这些新概念的应用包括:高能等离子体的诊断、多电荷离子束和物质(原子、分子、离子、微结构、表面、固体)相互作用的光谱测量研究和生物医学X射线显微术等。各组件的