He-Ne拍波激光干涉仪的研究

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频HeNe激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度(室外不低于1×10-7)和强的抗干扰性,拍波频率约为750MHz,拍波长约为400mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明,该装置的节点定位精度小于0.05mm,尾数测量部分分辨率为0.08μm,整个测量系统可在20m范围内进行精度为±50μm+1.5×10-6·L(L为被测长度,单位为m)的测量。     

双频激光干涉式大尺寸轴径测量仪的研究

采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位吸附在被测工件直径两端点上的两个磁性定位块上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪直接测量出这两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径大小.试验表明,该方法测量精度较高,测量系统的相对误差小于5×10-8.     

激光多普勒技术测量大尺寸直径的研究

介绍了激光多普勒技术用于大尺寸直径测量的原理 ,并据此设计了新型差动激光多普勒大尺寸直径测量系统。采用差动型光学系统并使用声光调制器对测量光束进行调制 ,提高了系统的测量精度。高频信号和低频信号分开处理 ,消除了信号的相互干扰。实验结果反映了系统良好的线性度。线性回归的相关系数达到 0 .9999,相对测量精度为 3× 10 - 4 。     

波长扫描干涉法动态测量特性的研究

对用于距离绝对测量的波长扫描干涉法的动态测量特性进行了分析。研究结果表明这种方法特别适用于缓变距离的测量或长期监测,而对于较快速变化的距离测量,本文给出了其运动速度的限制,对于波长扫描干涉法的实际应用具有重要的意义。     

大频差双腔双频Nd∶YAG激光器合成波绝对距离干涉测量系统设计

为了实现高精度绝对距离测量,提出了双腔双频Nd∶YAG激光器（TCDFL）合成波绝对距离干涉测量方案。以正交解调Pound-Drever-Hall稳频的大频差TCDFL作光源,采用马赫-曾德尔干涉仪结构,设计了双频激光合成波绝对距离外差干涉测量系统,获得了两路同频外差干涉信号,对其进行比相测量,得到合成波干涉条纹的小数级次;对被测距离进行粗测,可唯一确定合成波干涉条纹的整数级次,从而实现绝对距离测量。建立了频差为24 GHz的二极管泵浦1064 nm正交线偏振TCDFL合成波长标定与绝对距离干涉测量实验系统,实验结果表明：空气中的合成波长标定值为12.4614 mm,其标准差为0.13μm;当被测绝对距离为900 mm时,其重复测量平均值为899.3851 mm,标准差和测量不确定度分别为1.36μm和4.08μm。该实验研究为今后研究开发超精密绝对距离干涉测量仪奠定了坚实基础。     

多波长激光绝对距离干涉计量术的原理与发展

绝对距离干涉计量术是60年代后期兴起的一种以多波长激光为基础的无导轨大长度测量技术.本文在详细介绍该技术原理的基础上,回顾了该技术的历史,分析了该技术的发展现状,展望了该技术今后的发展趋势和可能的发展方向.     

高精度滚轮法大直径测量系统的数据采集和控制

为了提高滚轮法测量大直径的精度,需要对影响测量精度的误差因素进行修正,同时提高系统构成的灵活性,降低成本.本文介绍了一种基于虚拟仪器的多传感器数据采集控制系统,用来完成滚轮法大直径测量系统的数据采集和控制.实践证明,对于大型复杂测量系统虚拟仪器与传统系统构成方法相比较,具有明显的优越性.     

点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究

为了提高双光纤点衍射干涉仪的检测精度,需要对干涉仪装置中两个波前参考源(WRS)的系统误差进行标定。设计了波前参考源的标定过程及标定算法,通过沿被检光学系统光轴四次旋转90°求出波前参考源的沿轴旋转非对称误差,沿倾斜轴四次旋转90°求出波前参考源的沿倾斜轴旋转非对称误差,然后利用两者之差采用最小二乘法求出波前参考源的旋转对称误差,将对称误差和非对称误差相累加求出波前参考源的系统误差。采用计算机模拟了标定算法的整个流程,当波前参考源沿光轴和倾斜轴旋转的旋转公差在±1°范围内时,采用36项泽尼克多项式进行标定的测试误差均方根值小于0.01nm,在标定精度允许的范围内。通过模拟验证了标定算法的正确性并给出波前参考源的旋转公差范围。     

利用双光栅实时测量大视角入射激光波长的方法

本文探讨了利用双光栅实时测量大视角入射激光波和方位的理论依据，并进行了误差分析；尝试了利和双光栅实时测量大视角入射激光波长和方位的方法；预见到双光栅是实时测量大视角，宽频带，脉冲激光波长的有效元件。     

无导轨激光干涉仪：大尺寸测量领域的奇葩

激光技术的快速发展为大尺寸精密测量开拓了崭新的领域。近20年来，出现了多种无导轨大尺寸测量方法，其中，受到广泛关注的无导轨激光干涉仪是近年来发展很快的一种先进测量方法。     

在3．39μm波段甲烷吸收特性的测量与应用研究

报道了甲烷气体在３．３９μｍ波段吸收特性的研究结果，及其在３．３９μｍ波段多波长干涉测量中的应用。通过改变甲烷吸收室的充气参数，使激光器工作在双等光强工作点，并完成了绝对距离的干涉测量。     

一种新颖的三角波扫频式微波干涉仪及信号处理方法研究

分析了一种三角波扫频式微波干涉仪的工作原理,并依据其原理设计了一种8mm微波干涉仪系统来测量等离子体电子密度。讨论了这种微波干涉仪系统的信号处理依据及其实现方法,并分析了其相位测量理论误差。为了验证该微波干涉仪的测量结果可靠性,采用与矢量网络分析仪测量开关移相器的测试结果比较、对日光灯的脉动等离子体测试结果与国外数据比对等不同的方法,证明了三角波扫频式微波干涉仪系统设计思想正确、测量数据可靠、测量精度高。     

测量He－Ne激光3．39μm光束发散角的偏光干涉法

介绍测量３．３９μｍ光束发散角的偏光干涉方法的原理和装置特点、测量精度等问题．     

一种关于大位移激光三角法测量参数标定方法的研究

本文介绍了怎样用逼近法来标定激光三角法测大位移中的参数，逼近法是基于最小二乘法原理，标定参 数精确性高．