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磁控溅射法制备NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了NiCr/NiSi薄膜热电偶制作方法与过程。与多孤离子镀法相比,采用磁控溅射法镀制的热电偶薄膜成分与靶材接近,膜层致密均匀、平整光滑,临界厚度薄。对研制的NiCr/NiSi薄膜热电偶进行了静态标定与动态标定,薄膜热电偶的灵敏度为40.1μV/℃,线性误差不大于0.75%,时间常数小于0.35ms.最后将薄膜热电偶温度传感器用于化爆材料模拟切削试验。 相似文献
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采用比较法对铝合金LF5—康铜和铝合金6063T6—康铜进行了热电偶单接点快速温度标定实验,获得了这两种铝合金材料的理想温度标定曲线。 相似文献
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新型薄膜式热电偶切削温度测量传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
研制了一种集成在刀头内的新型薄膜式热电偶。在切削的同时,能快速直接地测量切削温度。镀膜工艺采用了先进的磁控溅射和离子镀技术,成功地解决了绝缘、镀膜牢固性等问题。该热电偶测温接点位于刀尖,响应迅速,时间常数约为0.8ms;并且在0~600℃的测温范围内具有良好的线性和热稳定性。详细论述了传感器的结构设计、薄膜热电偶的制作、静态标定、动态标定以及检测电路。当应用于现场切削试验时,传感器能快速响应瞬态切削温度。 相似文献
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针对正常工况下的内燃机活塞表面温度变化迅速的情况,研制了一种便于安装的薄膜热电偶测温螺钉传感器。采用直流脉冲磁控溅射的方法将Ni Cr/Ni Si热电偶薄膜直接溅射沉积在与内燃机活塞同种材料的测温螺钉的端部,热电偶薄膜和测温螺钉之间采用相同的磁控溅射方法制备Al2O3绝缘薄膜,采用自行研制的薄膜热电偶静、动态标定系统对所研制的测温螺钉进行标定,结果表明所研制的测温螺钉传感器在50~400℃范围内具有良好的线性和热稳定性,其塞贝克系数为41.9μV/K,最大线性误差不超过0.9%。热接点厚度仅为2μm,其响应时间为47.5μs。可以满足曲轴转速为1 800 r/min的内燃机活塞表面瞬态温度测试的需求,为内燃机结构的优化改进,新产品的开发提供了有力的保障,为新型传感器技术的进步做出了有益的尝试。 相似文献
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具有快速响应特性的薄膜热电偶非常适用于测量瞬变温度,其动态特性理论分析一直都是研究的重点和难点。以流体为被测对象,提出了以对流换热为边界条件的薄膜热电偶一维非稳态传热模型,并依据此模型模拟Cu/CuNi薄膜热电偶阶跃温度响应,同时利用迅速投掷法对用磁控溅射法制备的热结点厚度为1μm的Cu/CuNi薄膜热电偶进行动态标定。模拟和实验结果都表明薄膜热电偶阶跃响应近似于一阶系统,可以用时间常数来反映动态特性,理论和实测的时间常数分别为4.28ms和7.89ms。从结果可以看出,理论值接近实验值,从而验证了该模型的合理性,为进一步提高薄膜热电偶的动态特性提供了理论基础。 相似文献
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热电偶是一种普遍使用的测温传感器。由于它结构简单,几何尺寸很小,测量精度高,测试又很方便,所以在机床行业中常用于机床温度场、热源、切削温度的测定。 对于精密机床试验来说,其测温精度有一定要求。因此,在利用热电偶(如铜-康铜热电偶)进行测温时,首先要对热电偶进行标定,画出热电势-温度对应关系的定标曲线。然后才把热电偶粘贴在机床上的被测温度点。当机床运转一段时间后,就能测到因温度上升而产生的热电势值,再查定标曲线,读得所对应的温度值。可见定标曲线是否正确将直接影响着测温精度。 常用热电偶定标,就是利用一只标准水银计作… 相似文献
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难切削材料的切削温度试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在钛合金等难切削材料车削和拉削加工过程中,对切削温度进行试验研究有着十分重要的意义。本文介绍了进行车削和模拟拉削时,测定变形区平均切削温度的自然热电偶法,并介绍了消除附加电动势的方法和热电偶电动势的标定装置,给出了各种刀具材料和工件材料组合的温差电动势标定曲线。本文就切削用量(v、s、t)、工件材料和刀具材料对平均切削温度的影响进行了试验研究,并对结果作了分析,这将有助于正确选择合理的切削条件和刀具材料。 相似文献
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根据热电偶理论利用计算机检测技术提出了一种不需要刀具材料接长棒或补偿电路,而利用切削过程形成的温度梯度,不需进行冷端补偿的测量切削温度的新方法,还提出了与该理论一致的自然热电偶快速标定方法。并根据原理设计了实验系统。通过与常规刀具材料接长棒补偿测温实验比较,得出该方法快捷可靠,可以代替常规实验。 相似文献
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卢大千 《工业仪表与自动化装置》1979,(4)
XC系列配热电偶的仪表起始点都从0℃开始。一般连续加热的设备低温段都不用或不常用。在弧长110mm的刻度盘上,刻度很窄,不能反应微小变化,给操作者读数和要求较高条件的调节带来一定困难。为提高仪表灵敏度,在测温所需范围内,把刻度展宽,我们做了如下实验: 热电偶的分度值及配套仪表的示值是在热电偶冷端温度为O℃时标定的。使用中为补偿热电偶冷端温度变化带来的误差,可采用冷端补偿法。如附图所示,图中R_1R_2R_G为锰铜丝电阻,Rw为铜电阻,设电桥在0℃时平衡。R_1·R_G=R_2·Rw(O℃)如Rw与热电偶冷端置于同一环境中,利用Rw随温度升高而增大在 相似文献
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针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在0- 600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0.8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。 相似文献
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温度传感器的非线性、AD转换器的非线性和电路工作环境的变化,都会给温度带来的严重的误差.文中介绍了一种温度巡检仪的设计方法,利用标准电阻校正法实现了对热电阻的自校正,利用标准信号源实现了对热电偶的非线性标定,通过软硬件结合方式,消除或减弱了测温过程中多个方面的影响因素,实现了对温度的高精度测量. 相似文献
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