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目前,洁净室要达到3级洁净度(含尘浓度在3粒/升以下)已不是困难的事,比这等级更高的洁净室,在国内外亦有出现。对这种高洁净度洁净室如何进行评定,本文提出初步看法供讨论。当然其基本原则对于其他级别洁净室也是适用的。在评定洁净室达到什么级别的时候,必须从三方面考虑: 1.粒子计数器的检测容量——也就是平时所说的采样量——够不够; 2.测定次数或点数够不够; 3.对测定数据的评定标准。下面分析讨论。 1.关于粒子计数器的最小检测容量实践已经发现,大检测容量的计数器和小检测容量的计数器,在测定高洁净度(3级以上)时有较大差别。最近外国文献也 相似文献
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本文以理论公式为基础,分析计算了层流洁净室中亚微米粒子非等动力采样所产生的相对误差值;通过在洁净风洞中的实验研究,得出了非等动力采样所引起的误差,指出对层注以洁净室检测应遵守等动力原则。 相似文献
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本文根据实验理论研究,对层流洁净室空气洁净度的检测要否遵循等动力采样原则进行了探讨。给出了由于非等动力采样引起的误差值.指出对洁净室检测应等动力采样. 相似文献
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一、概述尘埃粒子计数器作为洁净环境洁净度的主要测量仪器,特别是大流量粒子计数器到目前为止国内尚无产品,前几年国内主要引进的是美国生产的Royco245和Royco247型。随着计算机的发展,微处理机已应用到粒子计数器上来,出现了Hiac/Royco4101型和Hiac/Royco4102型粒子计数系统,从而逐渐取代了原来的Royco245和Ro- 相似文献
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集成电路正在从大规模集成电路(LSI)发展到集成度更高的超大规模集成电路(超LSI)上来,尘埃问题是这些半导体制造工厂的最大问题之一。在超LSI的制造过程中,提出了以0.1微米尘埃为对象的要求洁净度更高的洁净室。为适应这种要求,近年来研制了对0.1~0.17微米尘埃具有99.99%以上捕集效率的高效空气过滤器和0.1微米垂直层流10级模型洁净室。一、0.1微米尘埃粒子的计数(略) 二、捕集0.1微米尘埃用高效空气过滤器 相似文献
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本文讨论了联邦标准209B关于洁净室空气洁净度分类的修订案之论据。该修订案是由环境科学学会第50委员会召开的一系列会议酝酿形成的。主要建议的变更是: 1.增加1级和10级; 2.两个新增加的级别,在适当调整所要求的浓度的情况下,可以以0.1、0.2、0.3和0.5μm粒径的粒子标定;而100级可以以0.2、0.3和0.5μm直径的粒子标定; 3.其他级(如50级)认为是合适的; 4.取样点数有不同的规定;流型特征以单向流和非单向流区分,而不是层流和紊流; 5.基于测量误差,规定了最小取样体积; 6.规定了初始和定期的检测; 7.检测要求粒子计数; 8.粒子计数器要求定期地校正; 9.如果同时有下列两种情况,则认为净化区域满足该级别范围,即:每个位置的平均粒子数满足该级别范围;这些平均粒子数的平均值大大低于该级别极限,即总平均值肯定会低于该级别极限(95%可信度)。下面讨论这些建议变更的理由和论据。 相似文献
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“10级”洁净室是美国研究成功而最近建成的房间,对于0.5微米及0.5微米以上的粒子每立方英尺不超过10颗;对于1.0微米及1.0微米以上的粒子不超过1颗。这个新的等级已建议增加到美国联邦标准中去,该级是现在能达到的最好的空气洁净状态。 100级洁净室目前在电子工业中使用最多(也有一些在10,000级房间中设置100级洁净工作台的)。要保持100级状态,必须使房间获得“层流”空气,通过供应不变的 相似文献
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不同洁净度房间的气流流型 总被引:1,自引:0,他引:1
在洁净度高于1000级的房间,一般采用层流送风,以便通过垂直送风将尘埃粒子自上而下地排出。而对于10000级和100000级的洁净室,则往往采用乱流混合送风,这时,室内的尘粒并未排除,而只是分布均匀一些。 相似文献
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崔维龙 《建筑热能通风空调》1990,(1)
在洁净度≤1000级的房间,一般采用层流送风,以便通过垂直送风将尘埃粒子自上而下地予以排出。而对于10000级和100000级的洁净室,则往往采用紊流混合送风。这时,室内的尘粒并未排除。而只是分布均匀一些。 相似文献
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《Planning》2014,(6)
目的:探讨层流手术室应用空气净化技术的临床效果观察。方法:分析两间面积为30m2的层流手术室净化情况,依据手术室空气净化方法不同进行临床随机分组,分为动态空气净化组和静态空气净化组,分别在不同时间点进行采样。结果:两组在层流开启30min后、患者进入时采样的菌落数无统计学差异(P>0.05),动态空气净化组在医护人员进入时、麻醉摆放体位时、手术开始铺巾时、手术进行中、拉动输液滑轨采样的菌落数均优于静态空气净化组,P<0.05,差异均有统计学意义。结论:层流手术室空气动态净化可以明显的提高空气净化质量。 相似文献
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将大气恒流采样器、膜盒压力表和皂膜流量计按一定顺序接好,固定采样管,装入规定质量的吸附剂,施加适当压力至膜盒压力表、皂膜流量计显示值满足GB50325—2010规定的当流量为0.51。/min时,阻力在5~10kPa之间的要求,防止采样过程中穿透现象的发生。经试验室试验验证及实际工程检测中的应用,各项指标均符合GB50325—2010的要求,对民用建筑工程室内环境中TVOC的检测准确性有较大的提高。 相似文献
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在测定除尘器管道中的含尘量和鉴定污染源的排放量时,通常采用的方法需预先测出各采样点的气体流速、温度、含湿量等,计算采样流量,然后进行采样,才能得出结果。所用的仪器结构比较复杂,操作冗繁,并需要经过专门培训人员操作,才能得到较好的结果,本文提出的无动力等速尘粒采样器,利用风速本身的动力实现等速采样,不 相似文献