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固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作。为了保证校准数据的准确可靠性,需对该套装置的不确定度进行分析与评定。 相似文献
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Lan Zhao Yongjun Cheng Wenjun Sun Yongjun Wang Lian Chen Xuemin Sheng Ruifang Zhang Meiru Guo Yanwu Li 《Mapan》2018,33(2):91-97
The leak rate of spacecraft port must meet certain standards during the opening and closing processes. The port quick leak detector can be used to on-line measure leak rates of spacecraft port. In this work, a new calibration apparatus is designed and investigated. It can work at different temperatures with different gases in a wide leak rate range. This apparatus consists of the standard leak rate system, calibration system, temperature control system, gas supply and pumping system, which is designed on the basis of direct comparison calibration method and pressure-rising method with a constant volume, and the leak rates are provided by the standard leak rate system. The calibration range of the calibration apparatus is from 2 × 10 –6 to 2 × 10 –2 Pa m3/s. Its combined standard uncertainty is about 4.7%, and its calibration temperature is from ? 50 to 20 °C. Within the above leak rate and temperature ranges, the correction factor of the port quick leak detector is about 0.88–1.09. 相似文献
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为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响,通过理论研究,设计了现场真空漏孔校准装置,可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运,装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置由抽气系统、校准室系统、真空漏孔连接系统、流量输出系统、充气系统、定容室与压力测量系统及烘烤系统等7个部分组成,复合了定容法及固定流导法两种校准方法,预计真空漏孔校准范围为5×10-10~5×10-5 Pa?m3/s,合成标准不确定度为10%。 相似文献
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正压漏孔校准装置优化设计 总被引:1,自引:0,他引:1
针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限.采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02 K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度.在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1 mm的精密细活塞及适用的动密封结构.可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量级.通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率. 相似文献
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针对被校漏孔接头种类繁多,接头漏气难以避免且其值测量不方便的问题。采用两种方式进行修正:一方面利用进退活塞得到两个修正的体积系数,推导出接头漏气和漏孔漏率引起的差压变化之比的测试方法,用以修正接头漏气的影响;另一方面通过粘滞流公式推导出微小压力差下气体漏率与压力差近似成正比。通过调整校准室的压力,利用差分的原理减少漏气对校准结果的影响。两种修正方式的采取,解决了常规漏孔接头漏气难以原位测量或减小到可以忽略的问题,降低了对被校漏孔接头的要求,提升了体积补偿法的测量准确度和工作效率,同时将校准下限延伸到10-7Pa·m3/s。 相似文献