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一种基于相位光栅干涉微位移传感器的研制 总被引:2,自引:0,他引:2
高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一.文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器.该传感器采用平行簧片实现精密直线运动,相位透射型正弦衍射光栅作为计量光栅实现高精密的位移测量.文中分析了其测量原理、光学原理、干涉条纹的光电接收以及辨向、细分.理论分析和实验应用结果表明该传感器垂直分辨率可达到nm级,测量量程为2 mm,可以用于微纳米表面形貌和轮廓的测量. 相似文献
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一种新型滚动轴承表面形貌测量仪 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种新型的滚动轴承表面形貌测量仪,它采用一种全新的能越过陡峭表面的二维位移传感器和垂直扫描三维工作台组成一个闭环控制系统,将传统的触针移动扫描方式改变为工作台移动扫描方式。在测量工件时,二维位移传感器的测量杠杆总是不断地回到平衡位置,因此即使增大量程,由杠杆转动所引起的测量非线性误差也非常小。该仪器不仅可进行二维轮廓测量,还可进行三维形貌测量,具有大量程、高精度、小测量力和更多测量参数等特点。 相似文献
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COMPACT PHASE GRATING INTERFERENCE SENSOR FOR MICRO-DISPLACEMENT 总被引:1,自引:0,他引:1
XIAO Gang XIE Tiebang WANG Xuanze School of Mechanical Science Engineering Huazhong University of Science Technology Wuhan China 《机械工程学报(英文版)》2006,19(1):131-133
On the basis of existing techniques, a compact micro-displacement sensor of phase grating interference (PGI) is described, which adopts cylindrical hologram diffraction grating as the calibration standard. The optical principle of the sensor is explained, and the relation between the grating motion displacement and the phase shift of interference stripes is deduced. The improvement of the integral structure and the method of photoelectric signal processing are described in detail. With the software system based on the virtual instrument development platform Labwindows/CVI and other hardwares such as the precision displacement worktable, the surfaces of typical parts are measured and the characterization results are given. The sensor has wide measuring range and high resolution, its sensitivity and resolution being independent of the wavelength of the incident light. The vertical measuring range is 0-6 mm, and the vertical resolution is 0.005 μm. The experimental results show that the sensor can be used to measure and characterize the surface topography parameters of the plane and curved surface. 相似文献
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光针式三维表面形貌测量仪的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
研制了一种基于动态聚焦探测法的新型光针式三维表面形貌测量仪,该仪器可实现表面三维形貌的快速、无损、非接触测量。介绍了该仪器的测量原理、仪器结构、伺服机构的设计并给出了实测结果。仪器垂直测量范围为500μm;垂直方向测量精度可达0·5μm,分辨率为0·01μm。 相似文献
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介绍了基于象散法的激光自动聚焦原理,论证了利用该原理在金属表面微位移测量技术中的应用,可通过对自动聚焦伺服系统各信号的控制来进行表面形貌的测量.研究并开发了一台基于已有光驱激光头及其伺服电路的经济型三坐标测量仪,使用步进电机带动丝杠传动实现X、Y轴的进给,通过改变步进电机驱动器细分数改变进给步长,读取聚焦良好时音圈电机的加载电压作为该点的Z坐标值. 相似文献
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该测量仪在测量过程中以保持杠杆处于平衡位置为前提,X-Y向、Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器,X-Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位.本文论述了仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理. 相似文献
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该轮廓测量仪的开发是根据了Michelson干涉测量原理,工作台以正交衍射光栅为位移标准器,采用直线电机和压电陶瓷(PZT)进行快速粗定位和精确定位的两级定位过程,重点介绍了仪器的测量原理及光路系统.以及对电机及压电陶瓷的驱动和对干涉信号的处理。 相似文献
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触针式三维粗糙度测量仪的开发及应用 总被引:4,自引:0,他引:4
基于表面微观形貌三维分析的完整性,介绍了一种新开发的触针式三维粗糙度测量仪。该测量仪可对表面各种功能属性、纹理结构、表面重要缺陷等进行量化描述,并通过对气缸套内表面珩磨平台网纹角度、分布、有效沟槽等的检测,验证了三维图像对实现表面个性化功能属性描述的重要意义,给人们认识和研究微观形貌提供了帮助。 相似文献
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本文介绍一种新型的表面粗糙度测量仪,该具有精度高,便于携带,适应面广等特点。本文分析了该测量仪的测量原理,同时给出了该测量仪的电路结构,工作过程和技术指标。 相似文献
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介绍了机械类课程立体化素材库的架构,利用Solid Works建立了零件部件的三维模型,使用VisualBasic软件设计了素材库的使用界面,开发了三维立体化素材库,可以很大程度地简化了教学过程和提高了教学质量。 相似文献
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高浓度煤泥在采用管道输送的过程中,由于本身的高聚合性、高内摩擦力等特殊性质很难对其进行均匀分流,以达到均匀给料的目的.本文详细介绍了针对煤泥等粘稠物料进行均匀分流的分流器的工作原理、设计思想、结构特点、工作过程及其应用领域,着重介绍了其通过改变活塞行程进行分流的工作特点.为今后高浓度粘稠物料管道分流设备的应用提供参考依据. 相似文献
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R. A. Astabatyan S. M. Lukyanov E. R. Markaryan V. A. Maslov Yu. E. Penionzhkevich R. V. Revenko V. I. Smirnov 《Instruments and Experimental Techniques》2010,53(4):484-489
A profilometer for diagnostics of secondary ion beams with Z ≥ 2 is described. Two methods of beam profile measurements are compared: a counting method, when pulses from each particle are registered, and a current method with channel-by-channel measurement of the integral current. The counting characteristics and the lifetimes of the profilometer for these methods of beam profile measurements are compared. 相似文献