压阻式压力传感器的温度特性研究

本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的.     

压阻式压力传感器的温度特性研究

本文针对压阻式压力传感器的温度特性,提出了对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移的补偿方法:在传感器芯片上加做温敏电阻和加热电阻对其零位温度漂移和灵敏度温度漂移进行补偿,并通过试验证明这种方法是非常有效的.     

一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法

针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法.该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补偿.通过对传感器进行实验标定和误差分析,并与常用的单一温升样本采集并进行数字补偿的方法进行对比,结果表...     

压阻式压力传感器及其应用电路设计

介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路，并给出了一个应用示例加以说明。     

X型横向压阻式硅压力传感器

本文介绍一种新型压力传感器的基本结构、特性参数，提供了三种简单的温度补偿线路，以扩宽传感器的工作温度范围．最后还介绍了一种波传感器的应用实例。     

箔式镱应力传感器的动态压阻特性研究

利用空气炮对研制的箔式镱应力传感器的动态压阻特性进行了校准,给出了传感器响应的校准拟合直线方程和线性误差,表明该传感器具有量程范围宽、频响高、线性度较高、温度系数小等特点,可广泛应用于强冲击荷载下混凝土或岩石等介质中的应力测试.     

小量程高灵敏度压阻式表压压力传感器的设计北大核心CSCD

针对飞机供氧、液压、环控和燃油等系统故障预测与健康管理(PHM)对小量程压力传感器的重大需求,设计了一种新型梁膜复合结构微电子机械系统(MEMS)压阻式压力传感器,该研究通过小量程、高灵敏度的压力传感器力学机理分析和力学仿真建模,提出一种具有弧形膜和米字梁复合型结构,采用弧形硅杯支撑,通过结构和尺寸的优化设计以及压敏电阻位置的确定,在-2~12 KPa的量程内具有较高的灵敏度和线性度。利用ANSYS软件仿真分析得到设计的压力传感器灵敏度为21.801 mV/KPa,非线性度为0.02%。然后基于MEMS加工工艺设计了SOI表压压力传感器的工艺流程。     

压阻变换压力传感器的性能预测模型

热、压环境下压阻变换压力传感器的性能可以通过有限元方法预测．这里研究了简化的1／8模型，模型考虑了二氧化硅和氮化硅生成过程及堆阳极键合和胶粘结合过程．结果发现有限元预测结果和实验数据具有可比性．范例研究表明，硼硅堆导致产生一定的非线性，但它隔离了硬环氧树脂的非线性．在包装过程中最好使用柔性环氧黏合或软黏胶性结合．黏合材料的黏弹性和黏塑性将会导致传感器输出的滞后和漂移误差．然而，在相对稳定的环境下。软黏合剂对传感器的影响可以忽略．此外，详细的设计和过程信息有助于提高模型的适用性．     

一种高量程压阻式加速度计的静态测试方法

介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性。设计了和种新结构，上面带有压敏电阻，用该方法测量到的静态特性和理论结果比较，两者基本一致，芯片的静态输出特性在测量限20000g(g为重力加速度）内呈直线，非线性为1%左右，合于平板型高量程压阻式加速度传感器芯片封装前进行抽样检测。     

基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器

利用单晶硅的压阻效应原理,采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器.该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构,产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验.证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点,可以广泛用于石油、冶金、化工、航空、航天、武器装备等领域压力的测量和控制.     

用于力和振动测量的压阻式厚膜传感器

用于力和振动测量的压阻式厚膜传感器Ｄ·Ｃｒｅｓｃｉｎｉ等１．简介传感器是任一测量和控制系统中的重要组成部分。当前对传感器的需求日趋广泛，而且突出反映在对应用于计算机控制系统的具有稳定、可靠特点的集成传感器的需求上。在种类繁多的传感器技术中，厚膜技术（...     

霍尔式位移传感器的温度特性

本文研究了霍尔式位移传感器的温度特性，在理论分析的基础上设计了温度补偿电路和相应的软件补偿程序，使温度误差小于０．１％Ｃ＾－１。误差分析的结果与温度实验相吻合，证明了方法的可行性。     

压阻式加速度传感器的智能化补偿

对MAX1457压阻式加速度传感器的智能化补偿方法作了介绍。针对MAX1457的特性，开发了补偿硬件和软件。该系统的开发和使用，使得MAX1457对压阻式传感器的非线性误差和温度误差大大提高和简化。     

碳纳米管压力传感器研究进展

碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一.本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压力传感器进行了比较.     

压力传感器动态特性实验研究

通过对压力传感器循环寿命试验前后动态特性的测试和分析,用实验方法研究了压力传感器动态特性变化。结果表明,循环寿命试验前后,压力传感器的静态特性基本保持不变,而动态特性却发生了较大变化。因此,对用于动态压力测试的传感器进行定期动态特性校准非常必要;对用于高频、高周次动态压力测试的传感器,在实际使用前进行循环老化试验可以提高动态压力测量结果的准确性。     

基于质心识别对阵列式触觉系统的压力和温度信息研究

机器人触觉是机器人在非视觉传感器领域里获取环境信息的重要知觉形式,本文利用硅压阻式压力传感器组成阵列式触觉系统,将采集到的压力和温度信息组成灰度图像,经过对图像的预处理、区域分割、质心识别后,判断出物体的滑移情况,并将结果利用图像形象化的显示出来.实验结果表明,该方法可以快速有效的对物体滑移做出判断,并且可以直观的显示出物体表面温度分布情况.     

用MAX1457实现对硅压阻式加速度计的温度补偿

本文介绍了传感器信号处理器MAX1457的主要功能及其用于对硅压阻式加速度计进行温度补偿的系统组成、补偿方法等。并通过实际补偿结果表明．利用MAX1457对硅压阻式加速度计进行热零点漂移补偿和热灵敏度漂移补偿．有效提高了压阻式加速度计的温度稳定性。     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。     

侧壁压阻式力传感器的研制与标定

在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀（DRIE）工艺相结合制作检测梁侧壁压阻,改善了侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题.最后通过压电叠堆驱动平台结合精密电子秤对压阻传感器进行了标定.测试表明,这种微力传感器加工技术可以很好地与其他工艺相兼容,力传感器的灵敏度优于72V/N,分辨率优于3μN.