宽束考夫曼离子源的原理及其使用

宽束考夫曼离子源被广泛地应用于薄膜工艺刻蚀、镀膜、注入诸领域。近20年来考夫曼离子源在我国得到了迅速的发展。至此已有必要提出正确的使用方法。以纠正一些错误的用法。本文给出一些基本概念以利于如何正确选择工作参数以及维修。     

美国科罗拉多州立大学的宽束离子源研究概况

科罗拉多州立大学在宽束离子源研究方面处于美国前列.它有两个研究小组在做这方面的工作.一个在机械系,由P·J·威尔伯教授领导,主要从事空间推进用离子源研究,同时也进行部分工业应用研究.另一个     

离子束镀膜聚焦栅

为了提高溅射沉积的速率,减小溅射弥散,节省昂贵靶材的使用,同时也为了降低对沉积薄膜的污染,有必要使用高束流密度的聚焦离子束。通常聚焦束采用向心盘栅把多个最佳聚焦的子束叠加在位于靶中心的焦点上。本文发展了一种不同能量要求下选择最佳屏极孔孔径、变孔径的导流系数匹配法。使用该法在实验中取得以下结果:8cm离子源产生160mA束流,采用聚焦离子光学系统在离源20cm的焦距处取得能量2000eV,最大束流密度28mA/cm~2的离子束流,束斑小于5cm,钨的典型沉积率为47A°min。     

电子束离子束技术的工业应用

电子束或离子束是一束电子或离子从发射源（电子枪或离子源）流动到汇聚点，早在20年代后期到30年代初期已应用于电子管和加速器。当时电子束或离子束加偶然将管内或加速器内的零件烧熔。被认为是事故。直到50年代德国试制成功一台1kw的电子束焊接机，才认识到利用电子束的热能可以作为新的加工工艺应用于工业。由于核能、宇航和电子工业的迅速发展，需要新的材料和新的加工工艺，电子束熔炼、蒸发、打孔、剥蚀、热处理及曝光等相继问世，并逐步发展为成熟的生产工艺。电子束的另一用途是经加速后可作为辐射源，产生电子束线或轰击金属靶（…     

伪火花放电的机理及其应用

伪火花放电(Pseudospark)是在低气压(10～100Pa)下的一种轴向对称的放电现象。它的潜在应用价值非常大,而且范围极广。例如:用它来做高压大功率、高速触发开关;用于产生高强度、高度收缩的电了束与离子束;作为脉冲X射线源等等。这里介绍这种放电的基本特点以及一些研究结果。     

用于脉冲功率技术中的离子束断路开关

介绍用于真空储能装置中的离子束断路开关——IBOS。它是利用高速低密离子束代替低密中速等离子体融蚀断路开关“等离子体”而形成的,从而获得了更短的开断时间(<4ns)。     

质子交换膜燃料电池三维性能数值仿真

采用CFDResearchCorporation(CFDRC)Ver .2 0 0 3软件进行模型的建立及数值求解。比较了不同流道设计对电池性能的影响。结果发现 :在低操作电压下 ,气体补充速度比反应速度慢 ,容易产生浓度极化 ;栅状流道的气体分布非常不均匀 ,也会有传质极限的现象发生。蛇行流道的气体分布较均匀 ,传质也较好 ,性能比栅状流道好     

JM-400型静电脉冲加速器简介

我厂1981年7月研制成功的JM-400型静电脉冲加速器是一种小型加速器,可作活化分析,研究中子飞行时间及辐照用的中子源。它可应用于国防、工业、农业、科研和教育等领域。本设备采用卧式结构,其能量可调范围宽,能提供直流束流和脉冲束流,具有结构紧凑,运行稳定可靠,维护方便等特点,达到了国内先进水平。它的主要技术性能是: 1.直流最高工作电压为400千伏,最大工作电流为4毫安,电压稳定度4小时内不劣于1%,直流电压从200千伏到401千伏连续可调。2.工作电压为200～300千伏时,直流态(或脉冲态)氢离子束流不小于1毫安(即不装磁分析器),靶流斑点直径在10毫米以下。3.高频离子源: 脉冲频率:为单次,10～10000次/秒连续可调。脉冲宽度:10～10000微秒连续可调。     

我国“电子束、离子束、光子束”技术的最新进展

前言由中国电子学会生产技术学会”三束”专业委员会,半导体集成技术学会超微细加工及“三束”学组联合召开的第三届全国电子束、离子束、光子束(简称“三束”)学术年会于1984年11月2—5日在北京香山召开。来自全国各地的高等院校、科研单位、工厂共98个单位,258名代表参加了会议。本届主办单位为中国科学院电工研究所。     

中子管离子源高压脉冲电源

介绍了一种基于脉冲频率调制(Pulse Frequency Modulation,简称PFM)技术的数控高压脉冲电源.它利用PFM调制电路对输出电压进行调整和稳压,由单片机控制输出电压的脉宽,具有功耗低,体积小,重量轻,绝缘性能好等特点,而且输出高压在1.5～2.5kV连续可调.对具有高可靠性的过流保护电路进行了设计研究,在保证安全性的同时,满足了中子管性能检测系统中对离子源的供电需求.     

对流强度对极板固化的影响研究

对流对极板固化的影响体现在极板中 3PbO·PbSO₄·H₂O(3BS)向 4PbO·PbSO₄(4BS)转化程度。对流强度可以用风速来表征。3BS 向 4BS 转化为吸热反应,故对流强度高时,对流导热迅速,有利于极板铅膏中 3BS 向 4BS 转化。红丹的加入使得正极板铅膏与板栅的结合程度增强。用扫描电镜(SEM)观察去除铅膏的正、负板栅,发现仅有正板栅表面附着部分铅膏。同时,对流强度大的环境下固化后的正板栅表面附着的铅膏外观结构更加致密均匀,因此可以认为对流强度大的环境更有利 4PbO·PbSO₄ 晶体的产生。相同对流强度条件下,负板中 3BS 向 4BS 的转化程度低于正极板中的 3BS 向 4BS 转化程度。此外,4BS 含量高的正极板经内化成后更有利于电池循环寿命的提升。     

氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响

将碳基材料应用于太阳电池半导体器件的研究已经在国内外得到重视和开展。采用离子束溅射反应沉积技术,在p型绒面硅和p型硅基片上沉积出用于制备太阳电池的氮化碳薄膜(a-C:N)。ID/IG比率,ISi/IG比率是研究氮化碳薄膜微结构的重要拉曼参数,对这些参数随氮离子束能量的变化进行了研究。能量散射光谱(EDS)和透射电子显微镜(TEM)测试显示随氮离子束能量增大,薄膜中氮原子含量下降,团簇尺寸大幅下降,非晶网络中团簇分布也趋于均匀。用真空热蒸镀工艺在氮化碳/硅异质结的氮化碳薄膜表面镀上一层半透明的铝薄膜,测得AM1.5标准光照下的开路电压随氮离子束能量的增加而增大。     

超音速透平叶栅造型设计及分析

采用非均匀有理B样条(NURBS)技术和特征线成型技术,对超音速透平叶栅型线设计方法进行了研究,利用C++语言和MFC编程技术开发了设计软件;利用所开发软件进行了某参数下的超音速叶栅设计,并结合计算流体动力学(CFD)技术,进行了超音速叶栅的变工况性能分析。研究结果表明:开发的软件能够有效地应用于超音速透平叶栅的型线设计,对汽轮机低压末级叶片的型线设计开发具有一定的工程应用价值。     

脉冲电弧离子源镀膜均匀性的研究

镀膜均匀性是脉冲真空电弧离子源应用需要解决的一个重要问题。本文首先分析了在脉冲真空电弧离子镀膜过程中 ,采用不同阴极尺寸、不同辅助阳极尺寸引起所镀膜层透过率曲线的改变 ,进而讨论了脉冲真空电弧离子源电极几何尺寸对膜厚均匀性的影响。在基片下加一个圆筒形负电位电极 ,实现了脉冲真空电弧离子源镀膜的均匀性。实验结果表明 ,采用这一技术 ,在 70mm范围内 ,基片透过率的相对变化可达到± 6.8%范围内     

试论铅蓄电池板栅设计与制造结构优缺点

板栅是蓄电池的核心部件,对于电池的最终寿命起着重要作用.现在蓄电池生产已经将减轻板栅重量,提高活性物质利用率,提高电池比能量发挥到了极限.采用连续板栅生产工艺大大降低了生产成本,改善了极板的均匀性,也可以满足于小型,更轻量级的要求电池板栅必需具有足够的机械性能.由于板栅的质量约占整个铅酸蓄电池质量的1/4,减轻板栅重量,采用轻型板栅,可以明显提高铅酸蓄电池的质量比能量.综合性考虑板栅设计;板栅制造方法并将所有这些因素作为有机整体是比较科学的方法.本文试从电池的生产、技术与经济等几方面对板栅结构进行了比较.     

电工电能信息

高分辨率聚焦离子束光刻技术据美刊《真空科学技术》1991年9卷第5期报道,日本NEC公司研制成功一种高分辨率的聚焦离子束光刻技术。这种光刻技术是采用260keV的铍离子源,经精细的聚焦后,可在正感光胶和负感光胶上制作出0.1μm线宽的电路图形,并且已成功地制     

化学电源设计(六)

5 铅酸蓄电池的设计(续) 5.2 某些部件在设计与计算上的若干问题 5.2.1 极板与板栅的计算 5.2.1.1 计算推导过程: 正极板栅与活性物质重量的计算: 设:σ为极板厚度(mm) b/a=c为极板宽与高之比     

МП型洗涤栅除尘器的改进及其效果

МП型除尘器由分离罐和洗涤栅组成。大连第二发电厂高压锅炉的МП型洗涤栅除尘器有关参数如下:锅炉编号№5,6 №7炉型МП-170 321-230/100洗涤栅高×宽(毫米) 2100×1300 2420×1150分离罐内径(毫米) 2500 3010     

SiC MOSFET开关特性及多等级栅电压驱动电路

针对新型宽禁带功率半导体器件碳化硅(SiC)金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET),为了充分发挥其在高功率密度和高效率应用场合中的高速及低功耗特性,分析了SiC MOSFET的开关特性,提出了一种基于复杂可编程逻辑器件(CPLD)的新型多等级栅电压驱动电路(MGD)。在SiC MOSFET开关不同阶段,通过调整栅极驱动电压以改善其开关特性。与传统驱动电路(CGD)相比,提出的MGD在相同门极驱动电阻与栅源极电容前提下,能有效提高开关速度,降低电压电流尖峰、降低开关损耗。最后通过双脉冲实验,分析了栅极驱动电阻,栅源极电容对开关特性的影响,验证了MGD在改善开关特性方面具有明显的优越性。     

牵引型蓄电池负板栅的筋条设计

板栅是极板的骨架,它有两种主要作用。一是极板活性物质的载体。二是在活性物质中起传导电流和使电流分布均匀的作用。因为铅蓄电池的充放电主要靠板栅来完成的。因此,板栅的形状、外型尺寸,结构