MEMS压力传感器原理及其应用

MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议。     

数字式负荷传感器测量不确定度分析

数字传感器是在模拟传感器的基础上,通过数字模块将模拟信号转换成数字信号,然后由计算机显示出来。数字应变传感器可进行拉力、压力、扭矩等力学量的测量,测量精度优于±0.05%F.S。文章具体以压式数字负荷传感器为例,对其测量不确定度进行了分析。     

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格...     

压力传感器管腔效应问题研究

本文针对压力传感器管腔效应问题,详细的阐述了传感器管腔效应分析与计算方法,管腔固有频率的计算方法,以及提高带管腔式传感器动态性能的措施.利用正弦压力校准系统,对带管腔式传感器的动态性能进行了大量的实验研究,给出了含管腔式压力传感器的管道密封方法.为提高动态压力的测量精度提供了最佳设计和使用方法.     

喷油嘴偶件配合精度的自动测量方法

本文介绍了利用压力位移气动传感方法和扩散硅压力传感器组成的发动机喷油嘴测量系统，能实现喷油嘴偶件的自动测量，克服了目前使用的浮标式气动量仪测量速度慢及显示结果不是明显等缺点。     

合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展

综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况.合金敏感薄膜电阻在应变压?技 力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求.     

差压式气动传感器稳定性研究

深入研究差压式气动传感器的原理和特性,设计一套实验装置。通过实验分析确定出影响差压式气动传感器稳定性的主要因素,如气源压力波动、空气质量不稳定性、电气误差和非线性误差等;并采取适宜的措施,减少不稳定因素的影响量。研制出一种新型差压式气动传感器;利用误差修正技术对其系统误差予以修正,不仅提高了传感器的灵敏度,拓宽了测量范围,而且有效提高了气动传感器测量准确度。     

一种基于光纤F-P腔的石墨烯谐振式压力传感器

谐振式传感器具有良好的重复性、分辨率和稳定性,全光纤谐振式微型传感器则集合了微纳结构与光纤传感特性两者的优点。石墨烯作为近年来发现的一种新型材料,具有良好的热学和力学特性,可以作为谐振式传感器中的敏感元件。本文提出了一种基于光纤F-P结构的石墨烯谐振式压力传感器,其兼具微机械传感器和光纤谐振器的优点,具有较高的谐振频率,在测量压力的实验中展现出良好的性能,压力灵敏度最高可达2. 93Hz/Pa,具有重要的应用价值。     

一种基于应变测量的放入式电子测压器设计

目的：设计一种新型的放入式电子测压器。方法：直接利用测压器的外壳来作为应变式压力传感器，代替了压电式压力传感器，结果：给出了这种传感器的灵敏度和动态响应频率。结论：这种基于应变测量的放入式测压器具有结构紧凑，成本低的优点。     

谐振筒式液体密度传感器的设计

短筒谐振式密度传感器是以短筒谐振管为核心,基于正反馈原理,由激振元件、拾振元件、谐振子和放大电路组成的高品质闭环谐振系统．采用有限元法分析方法,研究计算了圆筒谐振子的静力学特性和模态响应等动力学特性;设计了短筒谐振管传感器和闭环振荡电路及单片机信号处理系统;分析了温度、压力、黏度等因素对测量结果的影响,对传感器进行了标定,并采用温度补偿方法提高了传感器的测量精度．实验表明20℃时传感器测量结果的不确定度为0.96kg／m3．圆筒谐振燃油密度传感器测量精度达到0.4kg,m3．     

应变仪的购置

0引言应变仪是测量结构及材料在荷载作用下变形的应力分析仪器。如果配相应的传感器,如力传感器、压力传感器、位移传感器、加速度传感器等,它可测量力、压力、扭距、位移、振幅等物理量或物理量的变化过程,是工程测量和实验室应力分析的可靠工具,因此广泛应用于航空航天、国防科技、科研生产、在线测量、教学分析、交通工具、土木工     

关于空气流量计的一些常见故障

<正>一、空气流量计基本结构及性能特点空气计量传感器按测量空气流量的方法可以分为两种:一是直接测量方法传感器——空气流量计。二是间接测量方法传感器——进气歧管压力传感器。直接测量方法传感器按其测量信号转化形式不同又可分为三种。1.机械式空气流量计,即可动叶片式空气流量计。其特点是将燃油     

基于STM32的足底压力测量系统

人体的足底压力研究在临床医学和康复治疗方面具有重要意义。在该背景下,本文以运动人体为对象,依托人体运动时的压力特点制作了鞋垫式足底压力采集模块,该模块能够根据人体运动习惯进行压力采集。在此基础上,采用STM32微处理器、足底压力传感器、信号调理模块,无线通信模块等装置设计了足底压力测量系统。整个测量系统,能够实现对足底压力的自动采集、处理和传输,同时对足底压力信息的实时显示和存储。可为足底压力测量和分析提供进一步的参考。     

光纤在土木工程中的应用

本文介绍了光纤传感器在土木工程应力场、应变场或速度场、温度场测试中的应用情况。介绍了分布式光纤压力传感器，变形测量传感器，光弹式压力传感器和光纤阵列传感方式及其在土木工程的应力、应变及速度测试当中的应用。以及在结构主动抗震的人工神经网络系统中的应用。及其发现前景的展望。     

压力式气浮测力传感器静特性研究

为了避免多维力测量过程中的耦合现象,提出了一种气浮测力的方法。研究建立了压力式气浮测力传感器的特性方程,研制了一种压力式气浮测力传感器静特性实验装置,对理论研究的结果进行了实验验证。实验结果表明,气腔内气体绝对压力Pd在0.5~3.5kg/cm²范围时,气浮测力传感器的线性度为0.8%,回程误差为0.02%,重复性误差为0.1%。     

紧凑式低温热交换器实验台测量系统

介绍了自行研制的紧凑式低温热交换器实验台的实时测量系统,包括温度、压力、流量测量三个方面.该系统基于计算机和力控组态软件,选用合适的传感器,采用A/D采集模块实现紧凑式低温热交换器实验台测试装置数据的实时显示和记录.测量系统具有操作简便、运行可靠等优点.用户界面具有强大的报表功能.该系统实现了低温测量和电量测量的有机结合,其经验可用于指导低温系统测量的数据采集.     

薄膜应变计概述

一前言电阻应变片(计)广泛应用于应变测量和压力传感器与加速度传感器等方面。20世纪60年代以前,测量应变都是使用金属丝式或箔式应变片。60年代发展了半导体体型应变片,提高了灵敏度。60年代后期,又发展了Si扩散工艺的应变计传感器,克服了半导体体型应变计稳定性差、一致性不好,难以小型化等缺点。丝箔式及半导体体型应变计已在国内广泛使用,而Si扩散应变计传感器也已有许多单位研制生产,正在逐步推广使用。本文所介绍的薄膜式应变计,是一种在60年代才为人所注意,70年代才走向实用阶段的新型应变计,近2—3年国外已开始有最优越的高稳定性能的产品问世。     

热容式热流密度传感器的研制及应用

为获取爆炸场热流密度及爆炸热源温度、热阻等数据,基于热容式热流密度传感器的测量原理,研究传感器的制作工艺,分析影响该传感器测量不确定度的因素。结合被测对象的作用特征,通过传感器结构优化设计提高传感器强度、量程及响应速度,控制传感器测量不确定度并使之满足项目要求。研制的传感器在密闭爆炸场、火箭发动机尾焰热流密度测量等领域展开应用。使用不同热阻的热容式热流密度传感器同时测量,联立方程可求解出爆炸场热源温度、内阻等关键参数。研究传感器具有具备响应速度快、测量上限高、成本低廉、易于安装等特点,适用于爆炸场热流密度测量。获取的数据可为弹药设计及毁伤威力评估提供数据支持。     

一种冲击波压力传感器的准静态校准神经网络模型

由冲击波压力传感器准静态校准原理,间接比对式校准的精度取决于重锤的落高与压力拟合模型的精度,本文采用RBF神经网络建立了以落高为输入量、冲击波压力峰值为输出量的神经网络模型。选用典型标准压力传感器,在7~30 MPa量程范围开展校准实验;通过对测试样本进行分析,结果表明:该神经网络模型预测的最大相对误差不超过0.04%,比多项式拟合模型和指数拟合模型高一个数量级。落高与压力拟合模型引入的不确定度是构成冲击波压力传感器动态测量不确定度的一个重要分量,通过建立高精度的重锤落高与冲击波压力峰值神经网络拟合模型,为进一步提高冲击波压力传感器的测量精度奠定了基础。     

PVDF传感器在爆炸近区超压测量中的应用研究

凝聚相炸药爆炸产生强冲击波、电磁脉冲和光热效应,爆炸近区测试环境非常复杂,常规压阻式硅压力传感器难于满足测试要求。为准确测量装药近区爆炸参数给工程防护结构的爆炸毁伤评估提供参考依据,基于PVDF压电薄膜制作压力传感器,采用分离式霍普金森压杆（SHPB）对自制传感器进行标定;进行TNT化爆试验对自制PVDF传感器测试效果进行考核,并提取试验结果与AutoDyn软件计算结果进行比较。对比表明,测量值与计算值偏差小于10%,爆炸近区超压的试验测量可采用防干扰处理后的PVDF压电传感器解决。