日本超高真空技术概况

日本超高真空油扩散泵及冷阴极钛泵已有系列,超高真空蒸发设备亦有商品出售,其它如热阴极针蒸发离子泵及冷凝泵等均处于试验研究阶段。日本真空技术株式会社(以下简称为日本真空)在超高真空的生产研究方面在日本可居首位,该公司除了研究改进现有些户的超高真空设备外,其它的各种超高真空的获得方法及测量均在进行试验。日本电子株式会社,神港精机株式会社,和岛津制作所等,虽然亦生产了超高真空油扩散泵及超高真空蒸发设备,但所见到的产品不多,而且在研究方面花的力量亦是不大。日本电气试验所在超高真空方面主要是围绕电子零件的蒸发来进行,…     

日本一般真空获得设备概况

日本生产真空获得设备的工厂主要有:日本真空技术株式会社、大阪真空株式会社。神港精机株式会社、岛津制作所、德田制作所及东京真空机械株式会社等,而这些工厂除了生产真空获得设备外,其它如真空冶金、真空蒸发、真空冷冻干燥、真空浸渍设备以及各种真空测试仪表等亦均有生产。在上述这些工厂中,其中以岛津规模较大。全厂约5,000人左右,设备比较齐全,厂房条件亦较好,从毛坯到加工装配都在厂内完成,但是该厂在真空设备方面只是占全厂生产的一部份,而且花的力量亦不大。其他各生产工厂均属于中小型企业,取工人数均在500人以下,少则是100人左…     

罗茨泵

一、罗茨泵 罗茨泵(也称为罗茨鼓风机)在真空工艺过程中广泛地被应用。罗茨泵同前级泵 (滑阀泵、水环泵及其它)组合,能使工作压强范围进入中真空(1托至 10-3托),如果两级罗茨泵串联,甚至可以进入高真空。罗茨泵的工作原理允许制成容量很大的抽气设备(100000米3/小时以上)。例如,在相同的工作压力范围内与水蒸汽喷射泵比较,常常是经济的。罗茨泵(见图1)是属于容积泵,在泵壳里,两个形状对称的转子(2)以相反方向而旋转。两个转子的截面积近似八字形且由齿轮驱动而同步回转,因此,经过机壳内壁(3)运动时彼此不接触。转子与机壳及转子之间的间隙有…     

机械增压泵

前言 最近真空工业有了惊人的发展。随着真空设备的日益大型化和复杂化,自然就要求抽气量很大而抽气性能稳定的真空泵。为适应这些要求,最近在西德和美国,为了进行金属的真空铸造有熔炼,而制成了机械增压真空泵,但在日本,从1957神港精机株式会社制成了第一台泵以来,主要应用在真空冶金设备,真空乾燥设备以及真空浸渍设备等抽气系统方面,获得了好评。 机械增压泵虽然在原则上不能从大气压开始运转,但由于采用抽气量较小的前级泵(辅助泵),所以用较小的驱动功率,就能在10-4～100的宽度压强范围内,获得稳定的抽气性能,仝时不使用工作液,所以泵的…     

高压差工作用气冷式罗茨真空泵设计及其性能

在大型汽轮机转子真空动平衡机室设计中选用了气冷式罗茨真空泵作为其主泵以大大加快抽空速度。气冷式罗茨真空泵由于其特殊结构，在携带一泵外冷却器后，可在极高的压差下连续工作而不会超温。这种泵还具备无油压缩的优点，可防止油蒸汽对被抽气体的污染，可广泛应用于各种真空作业上。本文介绍了这种泵的设计及其性能。     

罗茨真空泵最大压缩比和排气效率

近年来罗茨真空泵在真空技术中[1]日益得到重用。它的主要应用范围是在中真空区域。罗茨真空泵弥补了在这一个压强范围内原有真空泵的缺陷,即在这一个压强范围内回转式油封真空泵的抽气速率下降很快,但另一方面在这一个压强范围内扩散泵却又达不到它的最高抽气速率。自然,除此之外罗茨真空泵还用在“粗”真空的某些方面;主要是应用来减少大量的预真空抽气装置。在这种情况下,采用罗茨家真空泵抽气装置要比使用极其庞大的机械　转真空泵经济得多。对于某些在真空中进行的工艺来说,采用这样一个庞大的预真空装置是不必要的。所以用于生产优质…     

罗茨真空泵试验方法的研究

罗茨泵的抽气速率和极限压力是泵的主要性能,但它在很大程度上要依赖于前级泵的型式和性能,因此它并不是罗茨泵本身特有的性能。能代表罗茨泵特征性能,而又与前级泵无关的是零流量压缩比、最大允许压差与溢流阀压差、漏率和噪声,它们与罗茨泵的真空状态、抽气性能和运行质量有着极其密切的关系。文中对特征性能的试验方法和装置进行了分析和研究,提出了有异于国内外现行标准的,更精粹、独特的见解。     

基于无纸记录仪的变压器变压法真空干燥状态监控系统

基于PLC或"PLC+上位机"电力变压器变压法真空干燥状态监控系统,硬件系统相对复杂,需要A/D转换和人机界面组态。监控系统改用"PLC+无纸记录仪",硬件系统大大简化,无需计算机、A/D转换和人机界面组态;在干燥系统罗茨泵的两端并联一旁路阀,降低了罗茨泵的故障率,干燥周期缩短10%~30%,能耗降低1O%~25%,综合生产能力提高15%~25%。     

油封罗茨泵作粗真空泵的试验

按罗茨原理工作的变容泵目前国内主要应用在两个领域:一是入口压强 760托,出口压强0.1～2公斤/厘米2做罗茨鼓风机使用;二是在入口压强为10～10-2托范围内与前级泵配合做机械增压泵使用;除此而外罗茨泵还有第三个重要的应用,即通过水封或油封,使罗茨泵直接对大气排气在入口压强为400托以上的粗真空区域工作。在这个范围内与目前广泛应用的水环泵相比罗茨泵的突出优点是能源消耗少,据法国《hibon》公司介绍用罗茨泵取代水环泵可以节电35%,我国沈阳造纸机械修造厂试制的ZBK—13型水封罗茨泵用于造纸机脱水也取得节电25%的效果。鉴于国内这方…     

我国一台大型空间环模设备获得超高真空

我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9)     

电子束熔炼、焊接、加工、蒸镀与区域熔炼等装置

这次去日本主要参观了日本真空技术株式会社(以下简称日本真空)及日本电子株式会社(以下简称日本电子)两家电子束装置的设计制造工厂,也参观了几家这类装置的使用厂与研究所。 目前在日本已将电子束应用于熔炼、焊接、精密加工、金属蒸发、区域提纯、电子显微镜与电子衍射仪等设备、仪器上。对长聚焦电子束的结构有些研究,似乎积累一些设计与制造的经验及数据。从电子束的设计、结构与应用方面来看,日本电子似乎较为专业化、产品种类较多,但日本真空,对电子束的设计应用也进行了一些工作,能做各种冶炼、焊接、区域熔炼与蒸发镀膜等装置。我…     

K-150 K-200扩散泵的设计改进

我厂革命职工,遵照伟大领袖毛主席关于“人类总得不断的总结经验,有所发现,有所发明,有所创造,有所前进。”的教导,在过去生产扩散泵的基础上,改进设计试制出两个规格的新型结构的扩散泵。下面简略介绍泵的性能及结构等特点: 一、泵的性能特点 此型泵在不多增加外形尺寸情况下,抽速性能提高近50%,抽速范围增宽1.5数量级,参看图(三)抽速曲线。最大排气压强提高67～133%,达到极限真空的抽气时间缩短,且极限真空较高,其它性能指标与老型泵相比都有所改善。比抽速达6.5～7升/秒/厘米2,最大抽气量提高1.87～2倍。使用泵油为国产KS-3扩散泵油,加…     

北京真维嘉真空技术发展有限公司简介

正北京真维嘉真空技术发展有限公司(原北京真维嘉真空设备有限公司)是设计、生产制造真空设备及经营销售国内外名优真空机械设备的有限责任公司。公司设计生产的主导产品及经营销售的真空系列产品如下:1.阀门系列:新式真空电、气、手动球阀、隔膜阀、蝶阀、挡板阀、插板阀,真空调节阀、微调阀、电磁截止、充气阀、气动放气阀、针阀。2.泵系列:2X型旋片泵,ZJ型罗茨真空泵,H型滑阀泵,水环泵,WY往复泵,分子泵,离心水泵,     

北京真维嘉真空技术发展有限公司简介

正北京真维嘉真空技术发展有限公司(原北京真维嘉真空设备有限公司)是设计、生产制造真空设备及经营销售国内外名优真空机械设备的有限责任公司。公司设计生产的主导产品及经营销售的真空系列产品如下:1.阀门系列:新式真空电、气、手动球阀、隔膜阀、蝶阀、挡板阀、插板阀,真空调节阀、微调阀、电磁截止、充气阀、气动放气阀、针阀。2.泵系列:2X型旋片泵,ZJ型罗茨真空泵,H型滑阀泵,水环泵,WY往复泵,分子泵,离心水泵,     

杭氧配鞍钢“一万”制氧机氩塔试车成功

<正>鞍钢为了炼钢需要,对引进10000米~3/时制氧机配置杭氧制氩装置进行提氩。经鞍钢氧气厂和杭州制氧机厂的二年努力,于1983年9月25日至10月4日进行了连续运转调试(其中因故中断调试2天),获得成功。10月8日鞍钢氧气厂和杭氧厂签署了“试车纪要”,双方认为:杭氧厂制造的120标米~3/时成套制氩装置配在日本神钢产的10000标米~3/时制氧机是能够连续稳定生产的。氩气产量、纯度能够达到设计指标,即液态精氩(折气态)产量120标米~3/时,纯度99.99%Ar。供氩压力能够达到设计指标,即30~150公斤/厘米~2。对液氩泵等关键零部件使用寿命尚待进一步考验。     

超纯多晶和单晶制备

在制备超纯多晶和单晶制备过程中,应用真空技术和真空设备甚多,因此我国在安排参观日程时也列入制备超纯多晶和单晶有失真空设备生产使用的工厂。前后参观了: 1.小松电子三岛工场,看了用SiH4方法制备多晶硅和用浮悬熔炉制备单晶; 2.国际电气株式会社看到了浮悬区熔妒、单晶提升炉、扩散炉等; 3.神港精机工厂,看到了扩散炉。现就看到的,听到的简要汇报如下:(一)由硅烷制备高纯 硅及其单晶 在日本用由硅烷制备超纯硅,仅有小松电子金属株式会社一家。该厂于1958年研究用此法制备超纯硅,1960年开始小量生产,1961年建成现在车间。目前能供应纯度…     

特种合金生产过程中VIDP炉真空系统分析及优化应用

结合特种合金实际生产过程,从设备配置、抽空能力等方面对德国ALD公司VIDP炉真空系统进行分析,并给出了若干优化应用措施。提出将罗茨泵的启停间隙控制在120～180 s;低真空系统两套并联泵组的模式开关开启阈值分别设定为1 000 Pa和2 500 Pa;根据特种合金易挥发的特性,给出罗茨泵各部位维修保养周期（3～12个月不等）,以及合金熔炼过程中充氩破空的具体操作流程;最后针对VIDP-300型炉的真空系统提出提升抽空能力的改造建议。     

大型蒸汽喷射泵在铬铁生产中的应用

吉林铁合金厂6000千伏安真空电阻炉,用真空固态脱碳法生产微碳铬铁,原来采用罗茨真空泵机组作为真空抽气机组,由于被抽炉气含有比较大量的金属粉尘,虽然在除尘上采取了一些措施,但是没有彻底消除粉尘对泵组的影响,致使机械泵组经常损坏,维修量大,因此决定改用蒸汽喷射泵作为抽气机组。一九七三年请西安重型机械研究所设计并由兰州曙光机械厂制造厂制造了一台容量为1乇300公斤/时蒸汽喷射泵。一九七六年七月安装竣工,并且一次试车成功投入生产。经过一年来生产实践证明,这台泵的设计、制造和安装是成功的,用于真空微碳铬铁生产是合适的。 设…     

日本DVO—02—3型平仓振捣机

我局于七九年五月引进日本DVO—02—3型大坝混凝土平仓振捣机一台(如图示)并在大坝施工中试用。该机由日本大阪市管机械工业株式会社于七八年制造的,采用日立建机株式会社的UHOZ型全液压反铲改装而成。这台平仓振捣机的传动特点是用一台ISUZU C330型柴油机驱动一台双连齿轮油泵构成了全液压传动方式,装有三台     

空冷型涡轮分子泵的研制

本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型空冷涡轮分子泵的特点是： （１）不需水冷，所以安装和操作简单，而且可靠。 （２）润滑油的寿命长，超过一年。 （３）与溅射离子泵和冷凝泵等其他超高真空泵相比，运转和维护费用最低。 该新系列的研制是把日本岛津多年经验的飞机用高速转动机器和各种真空机器的设计、制造技术为基础而实现的。同时还研制了具有不同特点的控制回路和保护回路的泵用高频电源。因为涡轮分子泵既适用于无油反复抽降，也适用于长时间超高真空抽气，所以可望广泛应用．目前研制的空冷涡轮分子泵有抽速 ２２０升／秒、４５０升／秒和１４５０升／秒三种规格。