我国一台大型空间环模设备获得超高真空

我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9)     

对热真空环模试验设备设计中有关问题的讨论

热真空环模试验设备是专项设备,应用面相对比较窄,加上不同的被试件各自的特殊要求,因此在设计方面很难使用统一的标准。对热真空环模试验设备设计中的真空室与热沉最小尺寸确定和表面处理、冷管引入的真空密封结构、热沉的结构确定和设计计算、真空抽气主泵选择、加热形式的选择以及加热器的位置、制冷方式选择和温度循环设计、设备程序控制等有关问题,结合热真空试验技术特点提出见解,同时简介了所研制的热真空环模试验设备的简况。还对热真空环模试验设备的检测项目、检测方法进行了论述。     

中国真空获得设备的进展

扼要介绍了中国真空获得设备的发展情况。对低中真空获得设备、高真空获得设备、无油抽气手段等三方面的内容作了介绍与分析。     

油扩散泵的工况分析与结构设计

在泵口压强为１０－４～１０－３托时，油扩散泵的抽速明显下降，而扩散喷射泵（油增压泵）尚未有效地发挥作用，形成薄弱区段．因此研制在高压强端抽气能力较强的油扩散泵，将能弥补这段不足，从而为真空应用设备在高压区段大量排除气体，提供理想的抽气设备．     

空间环境模拟设备中大型深冷泵的设计

一、前言 空间环境模拟设备是在地面上模拟太空环境,例如真空、冷黑、太阳辐照、粒子辐照,微流星等,提供航天器发射前作检验试验,而真空环境又是各种环境的基础,它不仅影响热性能,而且对材料的蒸发、升华、老化、冷焊、干摩擦、发电现象起重要作用,目前,大型空间环境模拟设备直径达10米以上,容积在数百与数千立方米,并且在航天器热试验与检验试验时,在放出大量气体的同时,真空度不低于10-5托。因此,为了保证模拟的可靠性,必须配备大抽速的真空抽气系统。早期大型空间环模室采用几十台大型扩散泵联合抽气,其缺点是返油、污染大、功率消耗大,…     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

无油真空系统的探讨

在具有腐蚀和清洁的环境下，广泛使用油旋转泵存在某些缺点。在腐蚀环境中的各 种应用，腐蚀性蒸汽或磨损粒子会污染泵的润滑剂，缩短了泵的使用寿命，而在清洁环 境中的应用，润滑剂又反过来污染真空工艺过程。为了克服这些问题，开发了无油真空 系统。 本文对爪型泵同罗茨泵和叶片泵进行比较，表明爪型泵是无油系统的理想抽气设备。     

小型制冷机低温泵设计与研制

小型制冷机低温泵（以下简称低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型抽气设备，目前国外已大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜以及空间模拟和环境试验装置等方面得到了广泛的应用。本文简要介绍了这种泵的工作原理、典型结构、操作方法及主要参数和尺寸的设计计算并给出了抽气速率２００００升／秒低温泵的计算实例、技术特性及经济效果，实践结果表明，同获得相同抽气特性的油扩散泵相比，一年可节约电力 ３０多万度，水 １５０００米~3，最后对发展低温泵提出一些看法。     

三级罗茨泵直腰茧形转子型线的研究

三级高真空罗茨泵是一种新型罗茨泵，具有极限真空高、压缩比高的特点．在１０～１０－３Ｐａ范围抽速大，并获得无油真空。用于溅射、离子镀及真空沉积设备等抽气，优于扩散泵和分子泵。     

涡旋式无油真空泵抽气机理的研究

本文从涡旋式无油真空泵涡旋体型线的基本几何理论入手，对涡旋式无油泵的抽气机理进行了深入研究，在此基础上建立了涡旋式无油真空泵的主要性能参数的计算公式，并给出了涡旋式无油泵的计算实例，为涡旋式无油泵的设计计算提供了理论依据。     

叶片泵抽速计算及动力分析

近来，在真空和印剧等工业部门的一些特殊的工艺过程中，要求无油叶片泵作为抽气设备，以达到“清洁真空”的目的。相应叶片的材料多选为石墨，用户反映叶片寿命较低。本文给出了叶片动力分析方法，找到了影响叶片寿命的原因，并提出了改进措施。同时，本文也给出了叶片泵抽速计算通式。     

油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系

通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析，指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性，给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值，同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。     

高压氦风机的主要技术特点及运行情况

介绍了用于高压氦气试验回路的二级涡轮式氦气循环风机，由于采用了平衡结构、气动轴承、置入式电机、抽气冷却和交直流机组调速等手段，该风机具有轴向推力小、无油、无动密封、不引入其它介的南和调速方便等特点，本文将这些特点和高温气冷堆一回路氦气风机的技术要求作了比较。     

国产椰壳活性炭在低温低压下吸附等温线的测定

利用多孔材料在低温低压下能够吸附大量气体这一特点所进行的低温吸附抽气，是获得清洁无油真空的有效手段，吸附等温线是设计低温吸附抽气产品不可缺少的依据。本文建立了测定多孔物质在低温低下下吸附性能的实验装置，并在此装置上测定了ＧＨ－０，ＧＨ－１，ＧＨ－１６Ａ，Ｌ－５四种型号的国产优质活性炭的吸附等温线的性能数据，为低温吸附抽气产品提供了依据。     

TM—86F脉冲调制管的无油排气和无油机组的建立

前言 国防现代化和无线电工业的发展要求电子工业研制更多更好的电子器件。1973年在试制TM—86F脉冲调制管的过程中,为了改善该管的工作特性,提高质量,对该管的排气系统进行了技术改造。用无油抽气系统更换了原排气台上的油扩散泵抽气系统,经生产使用和对无油系统的不断改进,TM—86F脉冲调制管的无油排气,在不改变原有排气工艺规范的条件下,克服了烘壳除气、氧化物阴极分解时瞬时放气大等困难,收到了初步效果。下面将TM—86F脉冲调制管无油排气的情况和无油系统的建立介绍如下: 一、TM—86F脉冲调制管概述 TM—86F型管是海绵镍氧化物…     

举办致冷机低温泵学习班

随着表面科学,电子,半导体,镀膜等技术的发展,迫切需要具有清洁无油,耐腐蚀,工作压强范围广等特点的致冷机低温泵,目前国内已有研制,生产,应用此种设备。为推广其应用,中国真空学会真空获得技术专业委员会于十月下旬,在南京工学院电子工程系举办为时十六天的致冷机低温泵学习班,人数五十人左右,有理论讲授,讲座及实验,详细内容及报名具体办法详见报名通知单。讲授内容: 1.低温抽气的理论基础, 2.致冷机低温泵的抽气模式及参量分析, 3.致冷机低温泵的结构及设计,     

动态真空系统中气流状态的评价参数

在动态真空系统中,气体状态具有非均匀性及各向异性,此时若仍用压力等平衡态概念来描述气体状态,显然是不准确的。根据视角系数法的基本理论和计算结果,定义了真空系统中抽气性能评价多数,以及空间环模设备模拟宇宙空间分子沉的能力评价参数.通过对同心球系统中分子流场的具体分析,闸述了两个参数的物理意义。并用两个实例对α和β参数的应用作了更进一步的说明。     

大型空间环模试验设备研制

大型空间环模试验设备主要用于为卫星、飞船、探月飞行器的整星真空热试验与大尺寸天线真空低温环境下展开试验提供高真空、全吸收的冷黑背景及空间热辐射环境。该系统设计配备了外热流模拟测控系统、无油真空系统、真空罐、中央控制系统、热沉、氮系统等组成部分。本文概要介绍了本空间环模试验设备的主要性能指标、系统组成以及主要参数设计。     

环模容器真空度异常分析及其解决思路

环模设备是指完成卫星等航天器热平衡热真空试验的地面环境模拟设备,通常包括容器、热沉、真空系统、液氮系统等多个分系统。根据相关标准要求,容器内真空度只有优于1.3×10-3Pa时才能开展环模试验。本文列举了几例环模容器真空度不满足要求的典型情况,从容器本体、热沉、真空系统设备、法兰等几个方面开展了泄漏分析,并提供了解决思路。     

密封无油泵的抽气能力试验

SF_6混合气体在高压变电站、地下变电站、高压开关设备中有了许多重要的应用.对SF_6气体充放回收的研究已经势在必行。为了进行这项研究。研制了由膜式压缩机和波纹管密封无油泵组成的循环机组对SF_6、空气。氮气进行了抽气压缩试验。试验装置由钢瓶、压机、无油泵、各种阀门、真空测量仪表组成.严格按照特定的操作过程进行抽气压缩试验.对空气的试验表明;极限压力可达2700帕.其中压机预抽时间为156秒;第二次对氮气进行试验,达到2000帕的时间是18分27秒.其中包括预抽的156秒:第三次是对SF_6进行真空压缩回收,达到600帕的时间平均约为41分钟.经过对抽速曲线的分析发现:抽气时间几乎与气体的分子量成正比.对这种无油泵直接排大气的抽气性能作了比较.所获得的结果可以为抽重质量气体的应用设备提供必要的选用参数的估算根据.