PMMA微流控芯片微通道尺寸的检测

研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等。利用该系统测量的微通道几何尺寸(1~1 000 μm)与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好,最大测量误差为2 μm(半深宽度),分析了测量误差产生的原因。检测实验结果表明:该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、通用性好、应用简便,还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差。     

我国微纳几何量计量技术的研究进展

随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。     

GPS标准体系对轮廓测量仪器的影响

以表面轮廓测量技术的发展过程与前景为例,论述了产品几何量技术规范(GPS)标准体系对轮廓测量仪器生产企业的影响.文中从表面轮廓测量的评定方法、滤波技术,以及仪器的校准手段等几方面介绍了表面特征评定标准和表面轮廓测量仪器的发展.     

微机电系统静动态测试技术研究

在中国国家863高技术发展计划MEMS重大专项课题《MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统》资助下，研发微机电系统(Micro Electro Mechanical System , MEMS)动态特性三维测量技术与系统。对已有的微几何量、微材料力学性能和MEMS动态参数测试方法进行研讨。 几何尺寸和表面形貌轮廓的测量是MEMS测量的基础。二维微几何量检测采用普通光学显微镜和扫描电子显微镜。表面形貌测量大致可分为接触式测量和非接触式测量，机械触针式轮廓仪是典型的接触式测量仪器，非接触式测量大多采用光学技术，主要有光针式轮廓仪，采用光切、干涉、投影光栅和微视觉等测量方法。     

测量不确定度在几何量检测中的应用

几何量测量在各个领域,尤其是机械产品的研发、生产及制造中均广泛存在,对于制造与装配精度要求较高的测量,其测量结果及数据处理至关重要。本文主要针对测量不确定度在几何量检测中的应用进行阐述,首先对标准不确定度的A类及B类评定方法及流程进行介绍,然后通过实例说明在几何量检测中测量不确定度的分析和计算,旨在为提高几何量检测质量,更好地服务生产和生活提供参考和借鉴。     

天线罩几何参数测量仪研究

针对导弹天线罩这类薄壁复杂回转体测量的难题,提出了一种新的测量原理,研制了专门的天线罩几何参数测量仪,设计了测量的软、硬件系统.介绍了测量仪的工作原理、测量系统的构成以及误差评定和数据处理的方法,并给出了测量实践结果.测量仪使用结果表明,实现了对工件准确、快速、经济的自动测量,以及对测量结果的评定和可视化处理,取得了满意的效果.     

评定几何误差的软件开发与应用

本文介绍了评定几何误差的软件开发与应用。该软件比较系统和全面地采用计算机技术,对国家标准"产品几何量技术规范(GPS)"的几何误差检测作评定。检测原则全部使用测量坐标值原则,评定准则完全符合最小包容准则。最小包容的判断采用"遍历比较"的方法。     

5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展

介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法,以及评定标准的软件扩展和延伸.     

5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展

介绍双频激光干涉仪在几何测量中的测试和软件评定方法,以及评定标准的软件扩展和延伸。     

GPS黑箱模型及其应用方法研究

新一代产品几何技术规范(GPS)中所提出的测量不确定度评定的黑箱模型,为实现几何量测量不确定度的规范、快速评定提供了必要的理论基础。本文通过GPS黑箱模型与自动控制领域内黑箱模型的对比,深入阐述了GPS黑箱模型的概念、原理及运行方式,分析研究了GPS黑箱模型应用过程中的关键技术问题。并进一步以三坐标测量机测量圆度误差的测量不确定度概算为例,对黑箱模型的应用进行了实例分析。