固态压阻式压力传感器的计算机辅助分析与设计 一

本文从压阻效应理论、力学结构及有关微电子工艺理论等几个方面,总结了国内外单晶硅压阻式压力传感器技术的发展及其计算化辅助分析和设计工具的发展,提出了固态压阻式压力传感器计算机辅助分析和设计软件系统的体系结构,阐述了固态压阻式压力传感器的数值分析方法,传感器设计参数的容差分析与设计等方法,并讨论了有关设计问题。     

硅压阻式传感器智能数字补偿系统

为提高硅压阻式传感器在宽温区上的精度,利用传感器高精度智能修补芯片ZMD31050,开发出一套智能化数字补偿系统,将传感器及其外围器件抽象为数学多项式,通过多项式拟合来消除误差,介绍了该系统的硬件组成,通信协议和软件设计。实验结果表明,该系统数据传输稳定,生产效率高,可满足硅压阻式传感器小批量智能修补。     

一种双活塞光纤流体差压传感器及其强度补偿性能

本文对一种双活塞光纤流体差压传感器系统及其强度补偿性能进行了研究,首先提出了一种双活塞式的光纤差压传感器探头,基于该探头结构,设计了该光纤差压传感器的检测系统,并对传感器的强度补偿原理进行了分析.最后,对传感器进行了强度补偿实验,得到了不同光源功率时未进行强度补偿的输出电压及强度补偿后传感器的输出值,结果表明:当光源功率发生变化时,光电探测器的输出电压会随之发生较大的变化,最大输出值比最小输出值增大67％左右.经过强度补偿后,传感器左右两检测腔的输出值在检测压力不变的情况下维持在一个定值,不会因为光源功率的波动而发生变化.研究表明,传感器具有较好的强度补偿效果,能够满足检测要求.     

差压式流量传感器测量一般气体流量时的温度压力补偿方法

简要介绍使用差压式流量传感器进行一般气体流量测量时的温压补偿方法;指出了差压方式流量传感器测量一般气体的通用流量温压补偿公式,并写出了公式的推导过程;与线性流量传感器温压补偿方法进行对比,强调指出了采用差压式流量传感器时进行温压补偿的注意要点.对公用工程中的一般气体的流量计量工作有一定的指导作用.     

一种压阻传感器温度误差校正方法

对影响压阻式传感器性能的诸多因素进行了分析,对于压阻式加速度传感器的结构特性、工作原理进行了介绍。压阻式传感器是一种专用传感器信号处理器,它可以补偿温度误差和非线性误差,使传感器的精度达到0.5‰以内。阐述了压阻式传感器自补偿的原理,并通过公式逐步描述了其补偿的步骤和作用。通过实验结果可以看出,该传感器的非线性误差很小,性能优越,灵敏度较高。     

压阻式加速度传感器的补偿技术的研究

对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差,温度漂移和动态特性等进行了分析研究,给出了它们的补偿原理及其实现方法。     

近期报刊部分文章题录

传感器技术（双月刊）1999年第2期话说21世纪传感器技术的发展张光照等I生物传感器的发展与市场化姚赞等1光纤位移传感器进展及其应用赵勇等4探头参数对变面积电涡流传感器的影响及仿真研究何斌等7压阻式加速度计的阻尼分析陈丽洁等15电荷转移式原油含水率传感器的研究王?..     

一种差动压磁式扭矩传感器的研究与设计

为提高压磁式扭矩传感器的测试精度和灵敏度，设计了一种三磁极差动式压磁扭矩传感器。论述了这种传感器的工作原理并导出了其感应电压输出方程和电流灵敏度计算式。通过试验，分析了传感器励磁电流强度、频率以及测试磁隙等对其输出特性的影响，也证明了这种传感器比传统交叉铁心压磁式扭矩传感器有更高的测试精度和灵敏度。     

内部装有直流放大器的应变片力传感器

据西德《ATM》1971年7月号报导,国外生产了几种型号系列为719GV 和730GV 的应变片力传感器。这种719GV 和730GV 型应变片力传感器与目前一般电的力传感器的不同点在于:它不仅在壳体内装有测量元件,还装有一个集成直流电压放大器及其所属的稳压器。     

利用有限元法的陶瓷压阻式传感器仿真分析与优化

阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理.利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差;随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优化后陶瓷压阻式传感器的线性度提高0.23％,灵敏度提高20.5mV/MPa.这些分析为此类传感器的设计提供了理论依据.     

硅压力传感器的过载保护设计

通过测量硅膜片的结构设计和压力传感器外界保护结构设计,实现了压力传感器过载保护的目的。针对差压传感器表现为正负双腔和中心过载保护膜片联动保护的设计方案,即当过载压力达到超高差压之前,使高压侧膜片和基体贴合,低压侧膜片鼓出,阻止超高差压传入传感器内;对于表压和绝压传感器表现为测量端和过载保护膜片联动的设计方案,即当过载压力达到超高压之前,使测量端膜片和基体贴合,过载保护膜片鼓起,阻止超高压传入传感器内。     

盾构机的简易土压传感器检测装置

正土压平衡盾构机的土压传感器用于实时检测泥土仓压力值,盾构机操作人员根据土压传感器反馈的数据,采取相应措施调整士仓压力,直至达到设定范围内,使土压平衡得以实现,从而使地表沉降得到有效控制。施工中若出现个别土压传感器输出数据波动较大或数据变化无常等现象,就会使土压判断更为困难。本文介绍土压传感器结构原理,并介绍1种简易的土压传感器检测装置,用以分析土压传感器是否存在故障。     

多功能压阻式压力传感器的改进

本文提出了一种改进包括一个测量范围为１０ｋＰａ的差压传感器，一个测量范围为６ＭＰａ的静压传感器和一个用于智能差压变送器的温度传感器的压阻式多功能传感器性能的方法。可以使静压传感器的输出大于２５ｍＶ／Ｖ／６ＭＰａ，并且将差压对静压传感器的影响减小到小于０．３５ｍＶ／Ｖ／１０ｋＰａ，     

扩散硅压力传感器误差补偿方法的研究（一）

本文着重讨论了硅压阻式压力传感器在智能差压变送器中温度误差、静压误差的“软补偿”理论和实现方法,提出了表征传感器特性的“群特性”概念。介绍了利用常规仪器进行传感器特性鉴定测量的方法,简要介绍了智能差压变送器的硬件结构和软件系统。     

锅炉管道内压力,差压测量系统的研制

】介绍了由一只静压传感器和一只差压传感器构成的复合式传感器,并且把该传感器与ＭＣＳ－５１系列单片微型计算机通过一定的接口方式相联接,对锅炉管道内压力、差压进行巡回测量、记录。微型计算机对传感器输出信号进行处理。     

硅压阻压力传感器调理电路设计与验证

文中提出了一种硅压阻压力传感器的调理电路。首先,针对硅压阻压力传感器精度取决于激励源的特性,提出了一种高精度直流电压激励电路,该激励电路采用负反馈结构,且具有过流保护功能,当外部发生过流故障时,恒压源输出变为占空比可配置的PWM形式,有效提高了电路可靠性;其次,针对硅压阻压力传感器输出阻抗较大的问题,利用传感器全桥结构提出了“双上拉电阻”方案,在实现开路检测功能的同时,对硅压阻压力传感器输出误差影响可忽略不计,并设计了基于仪表运放的放大电路及滤波电路;最后,对该电路进行了测试验证,结果表明激励电压精度为0.2%,传感器输出调理精度为0.5%,满足压力高精度调理需求。     

悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究

针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题,提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理,然后对悬臂梁结构进行了建模仿真,同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数,最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台,对所加工的环形谐振腔进行性能测试,实验测得环形谐振腔的Q值为7.75×10~4,传感器的灵敏度为31 pm/k Pa,可以满足微压传感器高灵敏度的要求。     

图尔克推出用于检测碳纤维增强聚合物的感应传感器

图尔克推出用于检测碳纤维增强聚合物的感应传感器,丰富了其产品组合. 图尔克研发出用于检测碳纤维的感应式传感器!该系列传感器既可以检测碳纤维,也可以检测碳纤维增强聚合物的压制件. 它基于uprox技术的进一步发展,具有非常大的检测距离,以及高度的安装灵活性,适用于如汽车、风力发电机、运动器材的制造商及其供应商.     

正方形膜片微压传感器设计分析及各向异性腐蚀技术

本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构,分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微压传感器的灵敏度作了分析,与同尺寸的圆形膜片比较其灵敏度提高了20%。最后较详细的讨论了微压传感器研制中关键问题——各向异性腐蚀技术。     

定量输送机装载系统研究

介绍了以MCS-51单片机为控制核心，以压磁传感器为称重传感器的机电自动控制系统，设计了质量测量电路、A／D转换电路、键盘及显示电路、单片机及其扩展电路的硬件设计和软件开发。系统不但能自动完成定量装载，而且还可以对装载量进行显示、设定，对装载过程进行动态检测。