微机电系统中微电机的发展趋暖

文章介绍了微机电系统中的关键执行部件-超微电机，包括静电型微电机、电磁型微电机、鞭毛电机、超声波微电机等。分析了其原理、分类及各自的特点，概述了超微电机的研制发展过程，综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。     

世界微电机的市场现状与发展

随着工业自动化、办公自动化和家居自动化的不断发展以及汽车、空调、通信终端设备、VCD、玩具等产量的不断提高,微电机的市场容量正以惊人的速度增长。据日本《电波新闻》报道,1997年世界微电机的销量比上年提高10～11％,今年仍将保持5％以上的增长率。 汽车电机是微电机的重要市场之一。一般汽车需用微电机约15台,而豪华车则需40～60台。随着汽车自动化程度的进一步提高,所需微电机也愈来愈多。1997年汽车领域的微电机销量比上年增长8.2％,达到10多亿台,其中日本需4.39亿台。预计今年汽车微电机的世界市场将微增2.1％。     

前程似锦的微电机市场

微电机形成专业化的生产体系,在世界上大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着基础研究的深化和新工艺、新材料的出现,越来越多的新型微电机被开发     

稀土永磁材料在微电机中的应用

简单分析永磁材料与永磁微电机的关系，详细地介绍稀土永磁材料在永磁微电机中的一些应用。     

世界微电机市场适度增长

随着工业自动化、办公自动化的不断发展以及汽车、空调、通信终端设备、ＶＣＤ、自动玩具产量的不断提高，全球微电机的市场正稳步增长。据报道，１９９７年世界微电机的产销量均比上年提高１０～１１％，今年仍将保持５％以上的增长率。汽车领域是微电机的重要市场之一，...     

基于微机械工艺的平面微电机的研究

为提高微电机的输出力矩，增加微电机散热能力和电流密度，提高电机工作效率，设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转子对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定子为平面线圈，是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式，线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动，通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。     

微电子机械系统中的超微电机

介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。     

微电机用联轴器的改进设计及分析

在小功率齿轮传动装置的设计中，微电机用的联轴器是一个重要部件。在以往设计、使用的联轴器的基础上，本文介绍了微电机用联轴器的特点及要求，给出了几种常用类型的联轴器，并介绍了对弹性十字盘联轴器的改进设计，最后对一些主要问题进行了深入的分析。     

惯性冲击式压电微电机的研究

惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程,提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比,对微电机模型进行了动力学分析,设计了相关的驱动电源并进行了实验。经验证,设计的微电机工作性能稳定,最大运动速度为150μm/s。     

细胞结构分析用的生物学微腔激光器

近年来，研究人员已将微生物学和微制造技术结合，形成微电机系统（ＭＥＭＳ）用于临床诊断、生化探测和生物细胞监示。微电机系统在分子和细胞生物学基础研究，并最终在保健基础研究上有广泛影响。便宜而优质的保健需求大大推动了这些系统的发展，这是医学、材料科学、工...     

基于电磁微电机的密码锁控制系统研制

文章介绍了一种基于微电子机械系统技术制作的电磁微电机的密码锁控制系统。系统以AVR单片机为核心,驱动两个直径为6.9mm的电磁微电机,通过连接的键盘输入密码后,单片机驱动微电机解锁。     

微电机的实用化

圣地亚国立研究所的科学家们,进行了硅微电机带动外齿轮传动的研究。硅微电机可以经济的大量投入生产。 使用一般的硅微电机通过齿轮传动来输出动力,作为动力源的可行性。用直径50μm的齿轮与硅微电机组合,产生0.5μW的动力输出,它将来可用于汽车和军用的高性能陀螺仪。 用3个微电机带动比人头发丝直径还小的齿轮,就能产生足够的动力带动30倍大小齿轮。这个传动系统的制作方法与其它复杂方法不同,全部部件都是用微电子产业的硅材料和光刻技术制作。微电机的构造技术是以加里福利亚大学开发的研究成果为基础,用多晶硅为材料由3个部分构成。     

三种弯曲旋转超声电机的原理及研究

介绍了三种不同结构的弯曲振动模态超声微电机。详细讨论了它们共同的驱动原理，分别介绍了压电片夹心式和压电管式电机的结构特点及性能测试。在此基础上，研制了一种更易实现微型化的压电柱式超声微电机，并介绍了它的极化原理及结构。文章对弯曲振动模态超声电机的设计具有指导意义，对其深入研究具有参考价值。     

微电机和微动力MEMS

微执行器是微电子机械系统是一个重要的分支，本文了微执行器中的微电机，微发电机和微涡轮发动机。     

微特电机

0212572微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取[刊]/杨俊杰//功能材料与器件学报.—2002,8(1).—87～91(C)为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型。通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数。仿真     

电磁型微电机定子绕组的研制

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线圈绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为３μｍ，微电机直径为２ｍ，最大工作电流１２０ｍＡ，电阻值在２４－２５Ω之间。输出力矩为１．５μＮＭ，转子转速每分钟可达５００转。     

增强聚苯硫醚及其在微电机换向器上的应用

一、前言直流有刷微电机是国防尖端及家用电器中必不可少的电子元件,而换向器(图1)又是直流有刷微电机的重要部件之一,其质量之好坏将直接影响着电机的性能和可靠性。长期以来,国内微电机塑料换向器,绝大部分是采用酚醛玻璃纤维增强塑料(АГ—4)模压成型。该工艺生产效率低,劳动强度大,玻璃纤维碎屑污染严重,材料贮存期短(3～6个月),常因材料过期,使制得的换向器质量不稳定。为了克服上述弊病,我们从79年开始探索用热塑性工程塑料聚苯硫醚注塑成型微电机换向器。试验证     

嵌入式电磁型微电机定子绕组的研制

阐述了采用ＮｉＦｅ 合金作为微电机定子绕组的铁芯材料,完成了电磁型微电机从非嵌入式向常规的嵌入式定子绕组的转变,无论是从定性分析还是从最后的测量结果都证明在相同的条件下,嵌入式电磁型微电机定子绕组的输出力矩要大大高于非嵌入式定子绕组的输出力矩,由原来的１－５μＮｍ 提高到４μＮｍ 。     

光的微电机系统在光通信网的应用

先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波长路由器、在光交叉连接和在光交换设备中的广泛应用。     

微电机市场需求殷切价格走势趋稳

全球市场对微电机产品的殷切需求,促使亚洲微电机制造厂商提高生产能力,增大生产数量。剧烈的竞争迫使日本、韩国和中国台湾纷纷将生产移到海外。为了降低生产成本,各个厂家积极向生产自动化投资。在世界微电机市场上,日本仍是主要供应国,并继续保持着全球研究开发中心的地位。当前,研究开发的主要趋势是研制袖珍式、低噪声、大转矩、低功耗、高精度和低成本的产品。今年的产品价格走势预计将趋稳。