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同轴式高分辨率激光轮廓仪 总被引:11,自引:0,他引:11
本文着重介绍了一种新式高分辨率激光轮廓仪的原理、结构。此仪器测量表面微观形貌时,在高度方向的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于1,并且在测量结果的形状误差方面明显优于国外研究成果。使它达到如此高分辨率的关键在于从光学结构上保证了优良的抗振动干扰性能,即使试件受外界振动干扰幅度达70纳米时,仍能正常进行亚纳米级分辨率的测量。 相似文献
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触针式轮廓仪的测针形状及其检定 总被引:5,自引:0,他引:5
触针式轮廓仪是机械加工企业和计量检定单位应用针描法测量工件表面粗糙程度的一种常用仪器。触针式轮廓仪的工作原理是 :当驱动器带动传感器沿工件被测表面作匀速运动时 ,传感器的测针随工件表面的微观起伏作上下运动 ,测针的运动经传感器转换为电信号的变化 ,电信号的变化量再经后期电路的处理和计算 ,得到工件表面粗糙度参数值。 1 测针针尖形状对测量结果的影响由触针式轮廓仪的工作原理可以看出 ,触针式轮廓仪传感器上的测针是仪器直接接触工件表面、采集工件轮廓信息的重要部件 ,测针的形状和尺寸将直接影响到工件表面粗糙度的测… 相似文献
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光学表面粗糙度研究的进展与方向(续) 总被引:5,自引:2,他引:5
在评述了研究表面粗糙度的重要性和紧迫性基础上,阐述了有关光学表面粗糙度概念的某些在介绍国外几家公司出售的几种典型表面粗糙度测试仪器技术特性的明了国内外这一领域研究的发展方向。最后概略地介绍了关于这一课题我们将要开展的部分工作。 相似文献
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光学表面粗糙度研究的进展与方向 总被引:11,自引:2,他引:11
在评述了研究表面粗糙度的重要性和紧迫性基础上,阐述了有关光学表面粗糙度概念的某些问题。在介绍国外几家公司出售的几种典型表面粗糙度测试仪器技术特性的同时,指明了国内外这一领域研究的发展方向。最后概略地介绍了关于这一课题我们将要开展的部分工作。 相似文献
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介绍了一种新颖的非球面轮廓仪的测量原理和测量试验,它通过测量非球面与某一参考球面之间的偏离量来唯一确定非球面的面形误差,通过调整测量臂长以及回转轴线与光轴之间的夹角实现对不同非球面的测量。系统主要由高精度两维转台,高刚度测量臂,四自由度微调系统和高精度扫描测量传感器组成,并分别在VC++6.0与MATLAB平台上开发了测控软件以及数据处理软件。该测量方法的优点是测量所需传感器量程小,测量运动为一个简单的回转运动;缺点是测量调整自由度多,校准困难。建立了测量系统的数学模型,通过测量数据与名义面形之间的非线性优化,在获得面形误差的同时获得了非球面面形参数误差。通过测量多条截线实现了对非球面面形的全口径检测。最后对直径200 mm,顶点曲率半径1 400 mm的凹形抛物面镜进行了测量,结果表明,系统重复精度优于0.8 μm,精度优于1 μm。 相似文献
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同步控制技术在现代工业生产中的广泛应用使其越来越受重视。介绍了变频调速同步和电轴同步两种交流同步控制技术,对其工作原理和特点分别进行了分析,并对两种方案进行比较,总结了各自适合应用的场合。 相似文献
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针对不同型式梁式结构的特点,介绍了两种梁式结构的的装配制造工艺方法,并比较了两种工艺的优、缺点,具有很强的实用性,为梁式结构的制作提供了参考与借鉴。 相似文献
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激光双焦干涉表面微观轮廓仪在测量原理上首次实现完全共路干涉和无需参考面的突破,为在加工现场对超光滑表面的实时检测提供了可能。本文论述了一种产品化的双焦干涉平面微观轮廓仪的测试原理和控制过程,着重介绍其软件的功能结构和关键算法,最后给出了和进口Wyko轮廓仪比对的结果。 相似文献
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Krauss-Maffei塑料技术公司对KM 160/380 CX Hybrid型注射成型机设计出电动与液压两种混合式注射工艺。该公司在德国慕尼黑(MUnchm)工厂内的1台注射成型机上采用了电动与液压两种混合式注射工艺。全液压封闭装置的特征是,采用两板式设计方案,使用无拉杆或液压活塞,其结构长度短小, 相似文献