电子光学的新进展（1991—1993）

低压扫描电镜(LVSEM)的工作电压一般认为是在0.75到3～5kV范围内.其主要优点为:可以减少试样的荷电,直接观察非导体试样而不用涂覆,并减少图形的假象;穿透深度浅,提高图象的衬度和立体感;改进信号噪声比;对于半导体、塑料、高分子的生物试样还可以减少试样的辐射损伤.因此低压扫描电镜成为具有特色的电镜分析工具.近年来国外正在兴起低压     

扫描电镜的最新发展——低电压扫描电镜（LVSEM）和扫描低能电镜（SLEEM）

本文从仪器和电子光学的观点评述了在扫描电镜上的装备场发射枪以后,向低电压扫描电镜和扫描低能电镜发展中的一些重要问题。讨论了低能和极低能时二次电子和背散射电子的特性,低电压扫描电镜作扫描低能电镜能量段的划分,实现低电压扫描电镜和扫抵低能电镜的困难,以及利用阻场透镜的解决办法。讨论了低能情形下信号的探测,杂散电磁场的影响的估计和仪器的分辨率。     

DXS—3型扫描电镜的电子光学系统设计

一、概述扫描电子显微镜是一种大型精密电子光学仪器,具有分辨本领高,图像立体感强,能对各种信息进行综合分析等优点,在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物等领域得到了广泛的应用。 DXS-3型扫描电镜分辨本领为60A,需要有优良电子光学系统。我们考虑电子光学系统总缩小倍数为5000倍左右,并要求探针电流大于10~(-12)A。我们采用锥形栅极的常规钨阴极电子枪和四极透镜系统。聚光镜系统由一个双间隙、单线包聚光镜和一个单间隙、单线包聚光镜组成。物镜采用常规针孔物镜。二、磁透镜的设计磁透镜是电子光学系统的关键部件,它的设计特别是物镜的设计对分辨本领起着     

扫描电镜的试样制备方法及应用

扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题 ,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法 ,制备方法不正确就会出现一些假象。本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素 ,例如加速电压、镀膜厚度、试样尺寸及固定方法等 ,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用。镀膜是解决非导电试样荷电现象的主要方法 ,也可以提高图像质量 ,但往往产生假象 ,对场发射扫描电镜试样要特别注意镀膜材料和镀膜厚度。镀膜材料要根据试样材料和放大倍率选择 ,在一万倍以下观察图像时 ,可以蒸镀金膜 ,用场发射SEM观察高倍图像时 ,应…     

一种新型场发射枪静电透镜特性

本文给出一种双曲场单电位低球差场发射枪静电透镜的结构及计算结果,它将有助于改进和提高场发射枪的电子光学性能。     

TEM场发射枪通信控制技术研究

研究了200kV场发射枪透射电子显微镜（TEM）场发射枪的通信控制原理。上位机PLC采用ModBus协议与下位机200kV场发射枪通信控制板通信,下位机场发射枪通信控制板与电子枪被控对象采用三务总线形式的I^2C协议,基于两种不同协议之间的通信控制,设计了两种协议之间的转换控制模块,实现了上位机PLC和下位机200kV场发射枪电源之间的数据可靠通信,给出了对200kV场发射枪透射电子显微镜场发射枪电源通信控制的软硬件设计。     

高性能阴极荧光分析系统及其在氮化物半导体材料中的应用

本文介绍了一套高性能的阴极荧光（Cathodolumineseence简称CL）分析系统，该系统由一台场发射扫描电镜（FEI公司的Quatan 200F）和高性能阴极荧光谱仪（Catan公司的Mono Cl3＋和液氮冷台）组成。由于使用了场发射环境扫描电镜，不仅能获得高空间分辨的形象像，而且对观察试样无需进行任何预处理（包括绝缘样品甚至含水样品），这无疑为真实的显微分析提供了强有力的手段。     

SEM电子光学光路自动设计初探

SEM电子光学系统的自动设计需要在未知磁透镜系统中追踪实际电子轨迹,根据象评介方法进行平衡和修正,最终输出各个设计参量。由于计算量巨大,目前还无法实现。但它又是电镜设计者所迫切需要的,因为它能使系统设计达到最优状态,并可提高设计效率。为了调和矛盾,我们设想将自动设计分为磁透镜的CAD和电子光学光路的自动设计。在光路自动设计时不再对磁透镜进行优选。同时由于SEM实际电子轨迹能较好地满足傍轴要求,故可采用几何电子光学和三级象差理论计算,使问题大为简化。我们看到,光路自动设计一开始就陷入矛盾,因为象差系数和光路设置互为前提,而这一循环过程是否收敛直接关系到自动设计的成败。本文除了给出各子程序的计算方法外,还着重分析系统的误差状况。     

电子显微镜的现状与展望

本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望，透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，１２０ｋＶ，１００ｋＶ分析电镜，场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等，透射电镜将又一次面临新的重大突破，扫描电子显微镜方面主要有：分析扫描电镜和Ｘ射线能谱仪，Ｘ射线波谱仪和电子探针仪，场发射枪扫描电镜和     

场发射枪电子光学特性的数值模拟

本文利用改进的电荷密度法（ＣＤＭ）和更接于实际阴极工作模型来模拟场发射枪的电子光这性质，文中提出了一种专门的六点求积公式用它可以精确地计算场发射体表面附近的电位；同时采用了阴极工作在部份空间电荷限制下的球面二极管模型，计算结果证明，这种方法对场发射枪电子光学性质的研究有实际的应用价值。     

场发射环境扫描电镜上阴极荧光谱仪在锆石研究中的应用

锆石等测年矿物的阴极荧光Cathodoluminescence（CL）图像分析是矿物微区成分分析和U-（Th）-Pb年龄测定及其地质意义讨论的必要的前期工作。本文介绍了一套高性能阴极荧光分析系统，它由一台先进的场发射环境扫描电镜（FEI公司的Quanta 200F）和高性能阴极荧光谱仪（Gatan公司的Mono CL3＋）组成的。由于这套系统使用了场发射环境扫描电镜（ESEM），这种扫描电镜采用了场发射技术使成像的分辨率有了质的提高；     

含1.2%铝TRIP钢中残留奥氏体的EBSD研究

残留奥氏体的含量、颗粒尺寸与分布及其稳定性是相变诱导塑性（TRIP）钢获得优良使用性能的关键。马钢试制成功含1.2%铝的TRIP-600钢板,作者用场发射枪扫描电镜EBSD技术对该TRIP钢的残留奥氏体形态、分布与体积分数进行了实验研究。结果表明：实验钢中的奥氏体主要呈细小颗粒状、尺寸在几微米以下,弥散分布于铁素体晶界和晶粒内。EBSD与X-射线衍射测得实验钢板半厚度区的奥氏体体积分数分别为2%和11.4%。本文讨论了EBSD技术测定TRIP钢奥氏体分数引入误差的主要因素。采集图像的步长、试样分析区的选取及试样制备技术等是影响实验结果的重要因素。     

高分辨扫描电子显微学

目前的扫描电镜可以分为三类，即热发射电子枪扫描电镜，场发射电子枪扫描电镜［１］，场发射电子枪低像差物镜扫描电镜。扫描电镜分辨率的限制，从仪器方面来说主要来自两个方面：１．电子源的亮度和能量分散；２．物镜的球差系数和色差系数。场发射电子枪的应用对消除第...     

场发射环境扫描电镜下有机物形貌和成份特征的研究

本文利用场发射环境扫描电镜（FEI公司的Quanta 200F）对胜利油田油井中“果冻”状有机堵塞物的特征进行了电镜分析。在不同环境扫描电镜样品室气氛条件下对样品形貌特征进行了观察，并用X射线能谱（EDAX）对其成份做了分析，为寻找排除油井中这类堵塞物的方法提供了重要依据。     

CS—Ⅰ型低温工作台

本文简单地介绍了CS—Ⅰ型电镜低温工作台的用途及技术规格。该系统可以使样品速冻,并在送样、制备及观察过程中保持真空和低温,最大程度地阻止样品形成冰晶,以便在电镜内观察到接近于自然状态的含水样品。CS—Ⅰ型低温工作台特别适宜于观察生物及其他的含水试样,可配于多种型号的扫描电镜。     

LS—1型扫描电镜拉伸台的研制

扫描电镜这种大型精密分析仪器。主要用于样品的形貌观察及作成份分析,目前我国的扫描电镜主要限于样品的静态特性的观察和分析。而材料科学研究的一个重要方面是对材料进行动态研究,这项工作在我国急需广泛开展,例如:在电镜内进行原材料的质量、构件的强度动态的力学试验;或观察研究材料的显微裂缝及超显微裂缝对强度的影响。利用电子显微镜的高分辨率及高放大倍数独特优点,加上材料力学的拉伸试验台。可以进行金属、非金属、陶瓷、生物、纺织纤维等材料的精密力学测试以及它们的工艺流程的动态监测。依据我们设计各种电镜试样台的经验,最近为KYKY-1000B型扫描电镜研制成     

用AMRAY—1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀…

本文通过离子溅 射镀膜和高真空蒸发镀两种方法，用金和钯铱合金做为蒸发源，对样品表面蒸镀导电层。然后用ＡＭＲＡＹ－１９１０ＦＥ场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过５万倍以上观察试样时，由于金镀层粒度太大，因此不能用来做为表面导电镀层。     

声发射扫描电镜进展及其物理基础

本文评述了场发射扫描电镜的进展及其食品技术的物理基础。基于同扫描电镜成像过程有关的物理概念出发，还推导了有关改进食品设计和功能所引用的计算公式。     

用单枪三束三彩色显象管电子枪试制的磁透镜实验管及其csy—A型实验仪

一、磁透镜实验仪的用途及其基本技术特性: 磁透镜是电子透镜中的一种,它与静电透镜一样,对电子都具有聚焦成象的性质。用本实验仪既可验证理论,使同学获得感性知识,进而加强理论和实践的结合,加深对基本概念的了介,同时又可以训练学生的实际操作能力。本实验仪主要作为《电子光学》课磁透镜章节的教学实验设备,同时也可以作为研究电子在电磁场中运动的有关课程的教学演示设备。     

S—570扫描电镜故障排除二例

本文总结了日立S-570扫描电镜颇为严重故障的检查与排除两例,它对于电镜使用人员和电镜维修工作者,将提供有益的帮助。