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给出了几种不同条件下四极质谱计临近上限时的特性。通过对实验结果的分析研究,提出了在不影响四极质谱计其它性能的情况下提高四极质谱计线性上限的方法。 相似文献
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一、引言目前,四极质谱计已广泛地用于真空系统内残余气体分析。原则上,任何一种已校准的质谱计都能用来进行真空系统内气体组分的定量分析。这种校准通常包括两个方面:图形系数和灵敏度的校准。关键的问题是要取得图形系数的好的重复性。到目前为止,有关用四极质谱计作定量分析的报道是不多的,有关图形系数重现性的报道更为少见。根据工作原理和结构,四极质谱计的质量岐视比其它质谱计,如回旋质谱计、磁偏转质谱计更为严重。因此,四极质谱计的图形系数是和其它质谱计不同的。造成图形系数变化的原因除了离子源工作条件外,主要是边缘场和分析场的质量岐视。 相似文献
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四极质谱计定量分析的研究 总被引:3,自引:1,他引:3
一般认为,用作真空残气分析的四极质谱计是很难进行定量分析的。通过对四极质谱计测量过程的理论分析,指出了用四极质谱计获得可靠的定量结果的条件及由此产生的分析方法和限制因素。重点分析了四极质谱计的稳定性、线性、灵敏度、分辨本领。同时指出了实现四极质谱计定量分析可能的努力方向。 相似文献
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为了满足对四极质谱计定量分析的需求,建立了一台四极质谱计校准与应用研究系统。该系统可用于四极质谱计分压强灵敏度及图样系数的校准和四极质谱计稳定性的研究,并可用作演示系统。为实现在各种应用条件下的分析应用,本系统采用四种进样系统,把四极质谱分析器与被测系统连接起来,即超高真空条件下直接进样、10~(-2)~10~2Pa压强分析时的分子流动态进样、高压强下直到大气压的毛细管进样以及微量气体分析时的静态或准静态进样系统。 相似文献
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通过对质谱计校准的分析,指出了超高真空范围校准质谱计存在的困难。详细介绍了可用于质谱计校准的同位素法,并将其用于四极质谱计的灵敏度因子校准。校准范围在用动态法校准的基础上提高了近三个数量级。实验结果证实:在轻质量范围(超高真空常见气氛的质量范围)内,四极质谱计的质量歧视效应不妨碍同位素校准法的应用。 相似文献
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一、引言四极质谱计具有分辨本领高、灵敏度高、快速测量和操作方便等特点,因此它在真空测量中得到广泛应用。尤其在近几年中,为了满足超高真空测量的要求,出现了一批小尺寸探头的四极质谱计。这些四极杆长一般都小于10厘米,并把探头作成裸规型式,便于真空的原位置测量。 相似文献
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针对四极质谱计国产化需求,研制QMS101型四极质谱计。该质谱计物理部分为90°离轴结构,采用轴向敞开式EI型离子源,四极杆长度203.2 mm,场半径4.157 mm,配备了法拉第板和微通道板型电子倍增器(MCP)两种检测器,其中电子倍增器90°离轴安装。QMS101四极质谱计质量检测范围1~1 040 amu,偏转电极工作下法拉第板和MCP均检测正常。四极滤质器出口到MCP表面的离子运动轨迹模拟和MCP增益衰减实验表明,MCP应用于四极质谱计应对离子聚焦和收集面积进行匹配。QMS101物理部分可作为一种通用型四极质谱计分析器,配备不同射频电源可覆盖大多数四极质谱计应用需求。 相似文献
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杨姜 《真空科学与技术学报》1983,(4)
由中国真空学会质谱分析检漏专业委员会主持的第二届质谱分析技术专业会议,于1983年4月11日至19日在江苏省常熟市举行。参加此次会议的代表共48个单位90名。会议收到学术报告33篇、综述报告8篇。其内容以四极质谱分析技术为主,包括小型四极质谱计的研究,适用于低真空的四极质谱计的研究,以及这种质谱计在电子材料、电真空器件、激光器件、真空工艺和表面处理等方面的 相似文献
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随着四极质谱计的广泛应用,人们对四极质谱计定最测最的要求日益迫切。但是,由于这种仪器质量歧视效应比较显著,边缘场、污染对离子谱和灵敏度影响比较大,这就给四极质谱计定量分析带来很大困难。尤其在真空测量中,为了进行分压强测量,不仅需要制定各种气体的离子谱,而且还必需对质谱计进行各种气体的灵敏度的绝对校准。 相似文献
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本文以BEPC储存环上使用的四极质谱计为例,说明工作一段时间后清洗质谱管的必要性。文中讨论了清洗方法的细节,并用残余气体分析质谱图说明了清洗的效果。它对四极质谱计的用户如何保养仪器有重要的参考价值。 相似文献
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真空镀膜、半导体加工等真空工艺气氛的原位监测对产品质量至关重要。由于一般质谱计测量上限的限制,较高压力下的工艺气氛的气体分析只能通过取样的方法来实现。四极分析器中离子与分子间的碰撞散射是导致四极质谱计在高压力下测量非线性的主要原因。为此,以碰撞散射为基本假设,推导出四极质谱计测量分压力的普遍公式。提出了四极质谱计在较高压力测量的两步校准法,通过与全压力规的配合,解决了四极质谱计在较高压力非线性条件下测量的实用问题。实验结果表明:可将四极质谱计的测量上限从10~(-2)Pa左右提高一个多数量级。 相似文献
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随着我国彩色显象管工业的逐步发展,用户对彩色显象管的性能和使用寿命提出了更高的要求。管内的真空环境对器件的质量和寿命有着至关重大的影响,利用四极质谱计对管内残气做定量分析,已逐渐成为彩色显象管生产中提高产品质量,寻找不良品原因,改革工艺等不可缺少的重要的手段。本文对定量分析中的计算公式加以说明,对影响四极质谱计定量分析准确性的几个重要因素进行探讨,介绍了四极质谱计在14”彩色显象管残气动态定量分析中的应用。 相似文献
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在质谱分析技术中,四极质谱计很有前途。但在长期使用中,四极探头的污染可导致仪器灵敏度下降和离子谱的显著变化,这就限制了仪器的应用。对于一个污染严重的四极探头,目前还只能用机械研磨的方法来清洗,这给使用者带来很大困难。因此,研究形成污染的主要因素并寻找较易解决污染的方法是十分必要的。本实验在一个有油真空系统中,观察四极质谱计对氧的灵敏度和离子谱的变化。实验结果表明:在有油情况下,氧可以加速离子源的污染。从污染件的俄歇分析看出,污染物由碳、硅、氧等组成,它可能为二甲基硅氧烷烃环多聚体(Me_2SiO)_n 交织成网状结构形成块状 相似文献
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四极质谱计用于等离子体诊断时常常面临质谱计工作上限问题和四极质谱计离子源所产生的本底组分分压强导致测量结果有较大误差的问题,为使四极质谱分析能作为等离子体诊断的常规手段,必须拓展四极质谱计量量上限和分析离子源产生的附加本底的特点并加以扣除,确保作为等离子诊断时的测量精度。 相似文献
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东方晓 《真空科学与技术学报》1985,(3)
南京分析仪器厂与南京工学院联合研制的SZ-002型四极质谱计于1985年2月9日在南京正式通过鉴定。 SZ-002型四极质谱计为中等质量数范围的物质及成分分析仪器。广泛用于电子集成电路制造、冶金、化工、环保、核能利用、航天等领域。 SZ-002型四极质谱计具有以独特模式工作的高效离子源,提高了灵敏度和分辨率;采用了新型全密封式离子收集极插头座,成功地解决了难以解决的防潮和漏电问题。此外,仪 相似文献